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서울 : 성균관대학교 대학원, 1999
학위논문(석사) -- 성균관대학교 대학원 , 재료공학과 전자재료전공 , 1999
1999
한국어
530.48 판사항(4)
서울
Study on the Growth Characteristics of Thick SiO₂Film Using HMDS
68 p. : 삽도 ; 26cm.
참고문헌 : p.64-66
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