- 1. 서론
- 2. 초정밀 6자유도 스테이지의 구조
- 3. 초정밀 스테이지의 동역학적인 모델링
- 4. 스테이지의 초정밀 구동을 위한 모델기반 제어기의 설계
- 5. 초정밀 스테이지의 위치이송 성능평가
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2010
Korean
555
SCOPUS,KCI등재
학술저널
59-66(8쪽)
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