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§ ※ ☆ ★ ○ ● ◎ ◇ ◆ □ ■ △ ▽ → ← ↑ ↓ ↔ 〓 ◁ ◀ ▷ ▶ ♤ ♠ ♡ ♥ ♧ ♣ ⊙ ◈ ▣ ◐ ◑ ▒ ▤ ▥ ▨ ▧ ▦ ▩ ♨ ☏ ☎ ☜ ☞ † ‡ ↕ ↗ ↙ ↖ ↘ ♭ ♩ ♪ ♬ ㉿ ㈜ № ㏇ ™ ㏂ ㏘ ℡ ＃ ＆ ＊ ＠ ª º
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      Min-Max 알고리즘을 이용한 피에조 구동형 스테이지의 최적설계 및 성능평가

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 나노 위치결정용 2축 스테이지
      • 3. 최적설계
      • 4. 성능실험
      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 나노 위치결정용 2축 스테이지
      • 3. 최적설계
      • 4. 성능실험
      • 5. 결론
      • 참고문헌
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      참고문헌 (Reference)

      1 Ryu,J. W.,Gweon,D. G, "Optimal Design of a Flexure Hinge Based XY Wafer Stage" 21 : 18-28, 1997.

      2 Tlusty,J.,Smith,S, "Operation Planning Based on Cutting Process Model" 39 : 517-521, 1990.

      3 Choi,K.-B.,, "Kinematic Analysis and Optimal Design of 3-PPR Planar Parallel Manipulator" 17 (17): 528-537, 2003.

      4 A. A, "Flexural-hinge guided motion nanopositioner stage for precision machining" 25 : 77-81, 2001.

      5 Kang, "Development of 3-axis Fine Positioning Stage J. of KSPE" 21 : 147-154, 2004.

      6 Lobontiu,N.,Compliant Mechanisms, "Design of Flexure Hinges" CRC Press 2003.

      7 Rang,R.,Jouaneh,M, "Design and characterization of a low-profile micro-positioning stage" 18 : 20-29, 1996.

      8 Rong,Y, "Design and Analysis of Flexure-Hinge Mechanism Used in Micro-Positioning Stages" 68-2 : 979-986, 1994.

      1 Ryu,J. W.,Gweon,D. G, "Optimal Design of a Flexure Hinge Based XY Wafer Stage" 21 : 18-28, 1997.

      2 Tlusty,J.,Smith,S, "Operation Planning Based on Cutting Process Model" 39 : 517-521, 1990.

      3 Choi,K.-B.,, "Kinematic Analysis and Optimal Design of 3-PPR Planar Parallel Manipulator" 17 (17): 528-537, 2003.

      4 A. A, "Flexural-hinge guided motion nanopositioner stage for precision machining" 25 : 77-81, 2001.

      5 Kang, "Development of 3-axis Fine Positioning Stage J. of KSPE" 21 : 147-154, 2004.

      6 Lobontiu,N.,Compliant Mechanisms, "Design of Flexure Hinges" CRC Press 2003.

      7 Rang,R.,Jouaneh,M, "Design and characterization of a low-profile micro-positioning stage" 18 : 20-29, 1996.

      8 Rong,Y, "Design and Analysis of Flexure-Hinge Mechanism Used in Micro-Positioning Stages" 68-2 : 979-986, 1994.

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      2020-01-01 평가 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2008-06-23 학회명변경 영문명 : Korean Society Of Precision Engineering -> Korean Society for Precision Engineering KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2006-07-07 학술지명변경 외국어명 : 미등록 -> Journal of the Korean Society for Precision Engineering KCI등재
      2006-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2001-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      1998-07-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
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      2016 0.26 0.26 0.26
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      0.24 0.22 0.449 0.12
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