평판형 투명 기판의 양면 평행도 측정 = Measurement of Parallelism between the Planar Surfaces of Transparent Substrate

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

We applied three different optical methods to check the parallelism between the two surfaces of a transparent substrate. The first method is based on geometrical optics. A laser beam is incident on the substrate, and the deviation of the reflected beams, caused by the wedge, is measured. In the second method, a laser beam is focused to the sample, producing an interference pattern between the two reflected divergent light waves. The center of the fringe pattern rotates with the sample rotation if any non-zero wedge angle is present. In the last method, we observe the Fizeau fringes or the Haidinger fringes from the reflection of an extended monochromatic source. Comparing the three methods, we conclude that the last method provides a quick, simple and accurate estimation of the wedge angle of a transparent substrate.

국문 초록 (Abstract)

우리는 기판형태의 투명한 광학매질의 양면 평행도를 세 가지 광학적 실험 방법을 통해 평가해보았다. 첫 번째 방법은 기학광학을 이용한 방법으로 비스듬히 시료에 입사한 빔이 시료의 앞, 뒷면에 의해 반사되어 나온 두 빔 사이의 거리를 측정하여 기울어진 각도를 측정하는 것이며, 두번째 방법으로는 시료 근처에서 초점을 맺는 광원을 이용하여, 시료 양면에서 반사된 발사하는 두 빛의 간섭무늬를 이용하는 것이다. 만약 시료의 양면이 기울어져 있다면, 시료를 회전시킴에 따라 간섭무늬의 중심도 회전하고, 이때 회전하는 원의 반경을 측정하여 기울어진 각도를 알 수 있었다. 마지막 방법은 단색광을 이용하여 시료로부터 만들어지는 하이딩거 무늬와 피조 무늬를 관측하는 것이다. 우리는 기판형태의 투명한 광학매질의 평행도를 평가하는 방법으로 위 세 가지 방법 중 마지막 방법이 가장 간편하며, 넓은 시료에 대해 정확하고 빠른 평가를 내릴 수 있는 것으로 결론지었다.

참고문헌 (Reference)

1 J. H. Wasilik, 10 : 2107-, 1971

2 P. Gallagher, 10 : 1971

3 I. H. Malitson, 55 : 1205-, 1965

4 E. Hecht, "Principles of Optics, 4-th ed, Chap. 9" Addison- Wesley 2002

5 M. V. Mantravadi, "Optical Shop Testing, 3-rd ed Chap. 1" Hoboken 2007