- ABSTRACT
- 1. 서론
- 2. 절단경로의 오프셋
- 3. Sharp edge 구현을 위한 절단경로의 수정
- 4. 적층 기준형상 생성
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2001
Korean
550
학술저널
1047-1050(4쪽)
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MEMS actuator를 이용한 나노 레벨 웨이퍼 형상 측정