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국문 초록 (Abstract)

본 논문에서는 short-channel intrinsic-body SDG SOI MOSFET의 문턱전압 도출을 위한 간단한 해석적 모델을 제시하였다. Intrinsic silicon 채널 영역 및 gate oxide 내에서의 2차원 Laplace 방정식을 반복법(iteratio...

본 논문에서는 short-channel intrinsic-body SDG SOI MOSFET의 문턱전압 도출을 위한 간단한 해석적 모델을 제시하였다. Intrinsic silicon 채널 영역 및 gate oxide 내에서의 2차원 Laplace 방정식을 반복법(iteration method)으로 풀어 각 영역 내에서의 전위 분포를 채널에 수직한 방향의 좌표에 대해 4차 및 5차 다항식으로 표현하였으며 이로부터 표면전위를 도출하였다. 표면전위의 최소치가 0이 되는 게이트 전압을 문턱전압으로 제안하여 closed-form의 문턱전압 식을 도출하였다. 도출된 문턱전압 표현식을 모의 실험한 결과, 소자의 parameter와 가해진 bias 전압에 대한 정확한 의존성을 확인할 수 있었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this paper, a simple analytical model for deriving the threshold voltage of a short-channel intrinsic-body SDG SOI MOSFET is suggested. Using the iteration method, both Laplace equations in intrinsic silicon body and gate oxide are solved two-dimensionally. Obtained potential distributions in both regions are expressed in terms of fourth and fifth-order of the coordinate perpendicular to the silicon channel direction. Making use of them, the surface potential is obtained to derive the threshold voltage in a closed-form. Simulation results show the fairly accurate dependencies of the threshold voltage on the various device parameters and applied bias voltages.

목차 (Table of Contents)

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Intrinsic SOI MOSFET의 문턱 전압 모델
Ⅲ. 모의 실험 결과 및 검토

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Intrinsic SOI MOSFET의 문턱 전압 모델
Ⅲ. 모의 실험 결과 및 검토
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (Reference)

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