패키지 기판의 지름 $100{\mu}m$ 이하 미세 드릴 구멍의 경우 습식 디스미어 공정만으로는 구멍 내부의 스미어를 효과적으로 제거할 수 없다. 본 연구에서는 습식 디스미어 공정의 이전 단계에...
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유선중 (삼성전기) ; Ryu, Sun-Joong
2009
Korean
KCI등재,SCOPUS,ESCI
학술저널
337-345(9쪽)
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다운로드국문 초록 (Abstract)
패키지 기판의 지름 $100{\mu}m$ 이하 미세 드릴 구멍의 경우 습식 디스미어 공정만으로는 구멍 내부의 스미어를 효과적으로 제거할 수 없다. 본 연구에서는 습식 디스미어 공정의 이전 단계에...
패키지 기판의 지름 $100{\mu}m$ 이하 미세 드릴 구멍의 경우 습식 디스미어 공정만으로는 구멍 내부의 스미어를 효과적으로 제거할 수 없다. 본 연구에서는 습식 디스미어 공정의 이전 단계에서 대기압 플라즈마를 처리하여 소수성의 기판 표면을 친수성으로 개질하고자 하였다. 대기압 플라즈마 공정은 리모트 DBD 방식의 전극을 이용하여 패키지 제조 공정에 적합한 인라인 형태의 장비로 구성되었다. 대기압 플라즈마를 처리한 결과 접촉각 기준으로 $71^{\circ}$의 소수성 절연 필름 표면이 $30^{\circ}$ 정도의 친수성 표면으로 개질되었다. 대기압 플라즈마 처리 유무에 따른 습식 디스미어 공정의 특성을 평가하기 위하여 절연 필름의 두께, 드릴 구멍 지름, 표면 조도의 변화를 측정하였는데, 대기압 플라즈마 처리 시 기판 전면에서 공정 특성의 균일도가 향상되는 것을 확인하였다. 또한 대기압 플라즈마 처리 유무에 따른 드릴 구멍의 SEM 사진 분석 결과 대기압 플라즈마 처리 시 구멍 내부의 스미어가 효과적으로 제거됨을 실험적으로 확인하였다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
When the drill hole diameter for the package substrate is under $100{\mu}m$, the smear in the drill hole cannot be eliminated by wet desmear process only. We intended to change the substrate's hydrophobic characteristics to hydrophilic characteristics...
When the drill hole diameter for the package substrate is under $100{\mu}m$, the smear in the drill hole cannot be eliminated by wet desmear process only. We intended to change the substrate's hydrophobic characteristics to hydrophilic characteristics by adapting the atmospheric pressure plasma prior to the wet desmear process. Atmospheric pressure plasma process was made as the inline type equipment which is adequate for the package substrate's manufacturing process and remote DBD type electrodes were used for the equipment. As the result of atmospheric pressure plasma processing, the contact angle of the substrate was enhanced from 71 degree to 30 degree. Dielectric film thickness, drill hole diameter and surface roughness were measured to evaluated the characteristics of the wet desmear process in case of plasma processing and in case of none. By the measurement, it was analyzed that the process uniformity within the whole panel was largely enhanced. Also, it was verified that the smear in the drill hole was eliminated efficiently which was analyzed by the SEM image of the drill hole.
참고문헌 (Reference)
1 L. Yang, 25 : 91-, 2002
2 S. Luo, 26 : 345-, 2003
3 M. C. Kima, 174 : 839-, 2003
4 D. Linaschke, 37 : 979-, 2009
5 G.-K. Kim, 대한전자공학회 45 : 333-, 2008
6 T. Yamamoto, 31 : 494-, 1995
7 이종수, "상압 플라즈마를 이용한 Polystyrene (PS)의 표면개질" 한국진공학회 18 (18): 1-8, 2009
8 엄환섭, "대기압 플라즈마와 응용" 한국진공학회 15 (15): 117-138, 2006
9 이기석, "대기압 플라즈마 설비 개발 및 Flip Chip BGA 제조공정 적용" 한국반도체디스플레이기술학회 8 (8): 15-21, 2009
10 이찬주, "대기압 Ar/O2 플라즈마 표면처리된 자동차용 냉연강판의 표면특성 및 접착특성평가" 대한기계학회 32 (32): 354-361, 2008
1 L. Yang, 25 : 91-, 2002
2 S. Luo, 26 : 345-, 2003
3 M. C. Kima, 174 : 839-, 2003
4 D. Linaschke, 37 : 979-, 2009
5 G.-K. Kim, 대한전자공학회 45 : 333-, 2008
6 T. Yamamoto, 31 : 494-, 1995
7 이종수, "상압 플라즈마를 이용한 Polystyrene (PS)의 표면개질" 한국진공학회 18 (18): 1-8, 2009
8 엄환섭, "대기압 플라즈마와 응용" 한국진공학회 15 (15): 117-138, 2006
9 이기석, "대기압 플라즈마 설비 개발 및 Flip Chip BGA 제조공정 적용" 한국반도체디스플레이기술학회 8 (8): 15-21, 2009
10 이찬주, "대기압 Ar/O2 플라즈마 표면처리된 자동차용 냉연강판의 표면특성 및 접착특성평가" 대한기계학회 32 (32): 354-361, 2008
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학술지 이력
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2022 | 평가예정 | 계속평가 신청대상 (등재유지) | |
2017-01-01 | 평가 | 우수등재학술지 선정 (계속평가) | |
2014-06-16 | 학술지명변경 | 한글명 : Applied Science and Convergence Technology -> 한국진공학회지 | |
2014-02-06 | 학술지명변경 | 한글명 : ASCT -> Applied Science and Convergence Technology | |
2014-02-05 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국진공학회지 -> ASCT외국어명 : Journal of the Koren Vacuum Society -> Applied Science and Convergence Technology | |
2014-01-01 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국진공학회지 -> Applied Science and Convergence Technology | |
2013-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2005-05-23 | 학술지명변경 | 외국어명 : Journal of the Koren Cacuum Society -> Journal of the Koren Vacuum Society | |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
2004-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.12 | 0.12 | 0.15 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.13 | 0.1 | 0.328 | 0.03 |