Ion Beam Mixing에 의한 Co / Si계의 상 형성 및 전이에 관한 연구

국문 초록 (Abstract)

본 연구에서는 Co/Si계에 대한 이온선 혼합실험을 온도와 이온선량을 변수로 하여 실시하였고, Co/Si계에 대한 상형성 과정을 금속/Si계에 대한 이온선 혼합시의 비정질상 및 결정상 형성예측 모델(ADF Model)과 초기 결정상 예측 모델(PDF Model)을 이용하여 해석하였다. 이온선 혼합은 80 KeV 가속기를 이용하여 상온~400℃의 온도 범위에서 1.0×10^(15)Ar^+㎠~2.0×10^(16)Ar^+/㎠의 이온선량을 변화시키면서 실험하였으며 상 분석은 투과전자현미경(TEM)과 X선 회절 분석을 이용하였다. Co/Si계에서 이온선 혼합시 형성되는 초기 결정상은 Co₂Si이며 이온선량의 증가에 따라 CoSi로 상전이 하였다. 이러한 실험 결과는 비정질상 및 결정상 형성 예측 모델(ADF model)과 초기 결정상 예측 모델(PDF model)의 예측 결과와 매우 잘 일치하고 있다. 이상의 연구 결과로부터 ADF 모델과 PDF 모델을 이용하여 박막에서 형성되는 상을 보다 정확히 예측할 수 있음을 알 수 있었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In present study, ion beam mixing was carried out at various temperatures with different doses in Co/Si system and the phase evolution induced by ion beam mixing was interpreted with amorphization determination factor(ADF) model and phase determination factor(PDF) model. Ion beam mixing was performed in R.T.~400℃ range using 80KeV accelerator with 1.0×10^(15)Ar^+/㎠~2.0×10^(16)Ar^+/㎠ and the phase characterization was analyzed by transmission electron microscopy and glancing incidence X-ray diffraction. The first phase during ion beam mixing was Co₂Si in Co/Si system and it transformed to CoSi with increasing ion dose. These experimental results fairly well corresponded to the predictions of ADF and PDF models. In conclusion, it can be well applied of ADF and PDF models to predict amorphization reaction and first phase formation in binary thin films.

목차 (Table of Contents)

• 요약
  
• Abstract
  
• 1. 서론
  
• 2. 실험방법
  
• 3. 실험결과 및 고찰
  
• 4. 결론
  
• 참고문헌