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    KCI등재

    Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave = 음향파의 위상 추정을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정

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    https://www.riss.kr/link?id=A76541310

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    목차 (Table of Contents)

    • Abstract
    • 1. Introduction
    • 2. Review of previous work
    • 3. Phase estimation of acoustic wave
    • 4. Experimental results
    • Abstract
    • 1. Introduction
    • 2. Review of previous work
    • 3. Phase estimation of acoustic wave
    • 4. Experimental results
    • 5. Conclusion
    • 참고문헌
    • 저자소개
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    2001-07-01 등재 등재학술지 선정(등재후보2차) KCI등재
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