버퍼층 및 열처리 효과가 CoFe/Cu 다층박막의 자기저항에 미치는 영향 = Effects of Buffer Layer and Annealing Temperature on Magnetoresistance in CoFe/Cu Multilayer

국문 초록 (Abstract)

DC magnetron sputtering방법에 의해 Corning glass기판 위에 ?? 형태로 다층박막을 제작하여 버퍼층 종류(Fe, Cu, Cr, Ta)와 두께, 비자성층인 Cu두께 변화에 관한 자기저항비의존성을 조사하였다. 또한 이들 시료에 대하여 열처리를 행한 후 열처리가 이 시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 영향을 조사하였다. Fe버퍼층의 두께가 60Å일 때 극대 자기저항비가 14%인 자기저항이 관찰되었고 Fe버퍼층과 Cr버퍼층을 갖는 시료를 비교한 경우 자기저항비는 그다지 차이가 없으나 Fe버퍼층이 있는 경우에 더 큰 포화자기장 및 자기 이력현상을 나타내었다. 250℃까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 결정립을 갖게 하여 자기저항비는 증가하였으나 그 이상의 온도에서는 계면 혼합 및 계면 확산에 의한 감소를 나타내었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Giant magnetoresistance (GMR) and magnetic properties of CoFe/Cu multilayers prepared by dcmagnetron sputtering has been studied. We investigated the effect of Fe buffer layer thickness, different buffer layers, and annealing condition on GMR. For the 60Å Fe buffer layer thickness, maximum MR ratio 14% was found. When we have used different buffer layers, multilayers with Cr and Fe buffer show similar GMR magnitude, but multilayers with an Fe buffer have much higher saturation fields and hysteresis. The study of the dependence of the MR behaviors on annealing temperature, the MR ratio was increased to 250℃, but reduced at the temperature higher than 300℃ because of the interfacial diffuse.