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Dispositif coaxial d'excitation micro-ondes pour l'ionisation de vapeur pulverisee par magnetron
Boisse-Laporte, C.; Leroy, O.; de Poucques, L.; Teule-Gay, L.; Hagelaar, J. H. A.; Kouassi, N.; Pagnon, D.; Gousset, G.; Alves, L.; Leprince, P. Sfv; 1999 2002 p.272-283
Les plasmas multi-dipolaires: principe et performances
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Modelisation d'une decharge magnetron de dans l'argon par un modele fluide
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Mihaila, I.; Popa, G.; Anita, V.; Costin, C.; Sirghi, L.; Turcu, I. Sfv; 1999 2002 p.316-325
Effet de la pression dans les magnetrons RF: Application au depot de couches minces CN~x
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Depot d'oxyde d'irridium par pulverisation cathodique magnetron
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Etude par xps de couches de zrn deposees par pulverisation reactive magnetron
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