國立大學團地內の福利厚生施設の整備水準と計劃に關する硏究 : 김종석

김종석 東京工業大學 1996 해외박사

복리후생시설은 대학단지내에 있어서 학생과 교직원의 생활을 유지함과 동 시에 대학의 복리후생시설에 관한 체계적인 연구는 없었으며 본 논문은 대학 단지에 있어서의 기초적인 자료를 제시한 것이다. 대학단지의 복리후생시설에 대하여 면적기준이란는 관점으로부터 충실도,정 비격차와 단지특성과의 관계를 거시적으로 분석하여 정비의 방향성을 제시함 과 동시에 미시적인 건물로서의 대학회관의 현황으로부터, 금후의 건축구성을 제시하고, 복리후생시설의 최적배치계획을 위한 모델을 제시하는 것을 목적으 로한다. 제1장 서론에서는 연구의 배경으로서 대학단지에 있어서의 복리후생시설정 비에 관한 역사적인 흐름을 개관하고, 교육, 연구활동을 유지하는 역할의 중 요성을 확인함과 동시에 본 논문의 목적을 설명하고 있다. 더욱이 기왕연구 와의 관련으로부터 연구의 의의, 연구에 사용한 방법과 본 연구 구성을 총괄 적으로 논하고 있다. 제2장부터 제5장까지를 본문으로 하고 복리후생시설에 대해서 제2장, 제3장에서는 기준면적 및 정비격차와의 관계로부터 양적인 정 비를 검토하고 제4장에서는 질적인 정비로서 대학회관의 건축적 구성의 분석 을 행하고, 제5장에서는 복리후생시설의 최적배치계획의 모델을 제안하고 있 다. 제2장 건축기준면적에 대한 충족상황에 대하여 단지의 학부구성, 단지간의 분담, 복리후생시설의 건축복합현황, 대학회관의 설치현황등의 정비에 관한 제요인과의 관계로부터 분석했다. 제3장 복리후생시설의 정비격차와 대학단지특성에서는 경제학분야등에서의 격차척도에 관한 연구성과를 토대로, 학생일인당에 착안해서 국립대학단지에 있어서의 복리후생시설의 정비격차의 현황을 검토했다. 제4장 대학회관의 기능과 건축적구성계획에서는 금후의 복리후생시설의 질 적 정비에서 중심이 되는 대학회관을 대상으로 면적과 기능의 관점으로부터 건축적구성을 분석했다. Positron annihilation is useful as a probe in the study of electronic structure in a wide range of condensed matter systems. Positron lifetimes often hold key information about the presence of defect electronic states. Al though the experimental data may contain information about the presence of defects in solids, the analysis of that information in terms of local defect structure may be difficult. Many of these problems of data analysis could be resolved with theoretical calculations of the expected positron lifetimes for the bulk materials and associated defects. Until now, most of theoretical calculations of the positron lifetimes in defect crystals have been based on parameterized fits to experimental data. In systems such as these where the experimental characterization is incomplete or uncertain, parameter-free tools are essential. A first-principles method for the self-consistent calculation of the positron states in many electron systems has been developed, but some important features have not been fully implemented. In this work, density functional calculations are carried out for positron bound states by using the self-interaction corrected, local spin density approximation of density functional theory and by using the linear combinations of atomic Gaussian orbitals to the point cluster in the embedded-cluster method for crystals. Positron lifetimes are calculated for the halide and alkali atomic systems (H-:e+, F-:e+, Cl-:e+, Li:e+, and Na:e+) for several bound states. These calculations provide the reference for the lifetime shift by including crystal field in alkali halides (LiF, NaF, LiCl, and NaCl). Finally, the well-documented crystal system can be applied into the positron bound states in defect centers (F,:e+) in the alkali halides listed above, and the local features of the positron bound states can be analyzed from relationships between the annihilation rates and the lattice constants for alkali fluorides (LiF, NaF) and the corresponding alkali chlorides (LiCl, NaCl).

植物のための窒素酸化物の取り外しの效果に關する硏究

차희운 東京工業大學 2005 해외박사

질소산화물(NO_(X))은 대기환경중에서 적절한 농도레벨의 달성이 곤란한 물질이다. 질소산화물과 부유물질상 물질과 같은, 대기농도가 높은 농도를 유지하거나 증가에 의해, 도로주변이나 도심지역에서의 환경오염은 그리 개선되지않아, 대도시에서는 수많은 지역이 환경기준을 달성하지 못하는 것이 현재의 상태이다. 그 개선수단의 한가지로서 식물에 의한 대기오염제거효과가 기대되어져, 도시역에 있어서의 녹화의 촉진이 대두되어, 건축물에 있어서도 벽면녹화, 옥상녹화등의 필요성, 중요성이 받아들여지고있다. 건물주변의 식재에는 열, 바람, 음등과같은 대기환경부하저감에 기여하는 효과가 크고, 특히 직사광선의 차단에 의한 외벽으로부터의 열부하저감에 효과가 있어, 자연에너지이용의 관점에서 주목받고있으나 그중에서도 건축식재를 대기오염물질제거에 유효하게 이용하는것이 기대되어지고있다. 본연구에서는 식물을 이용하여, 식물의 질소간화물 흡수/흡착효과의 챔버/필드실험을 실행하여, 그 결과를 도시환경에서의 식물의 대기정화효과에 적영시켜, 대기환경에서의 식물잎표면의NO_(X) 흡착량의 측정을 식물의 종류/계절별로 검토하여, 도시환경에서의 식물의 질소산화물 제거효과를 평가하는것을 목적으로 한다. 본 논문의 각장의 주요내용은 다음과 같다. 제1장에서는 연구의 목적, 배경과 본 논문의 구성에 대해 기술하였다. 제2장에서는 질소산화물에 대해서의 대기오염의 현재상태와 질소산화물의 제거 메카니즘으로서,질소산화물 제거기술에 대해서 기술하였다. 질소산화물제거기술에 대해서 정리하여, 식물에 의한NO_(X) 제거 메카니즘에 대한 기존의 연구에 대한 문제점을 검토하였다. 그 결과, 식물에 의한 질소산화물의 제거효과의 연구에 있어서 수착효과에 대한 흡수와 흡착의 영향을 실험적으로 검토하는 필요성에 대해 서술하였다. 제3장에서는 대기환경으로부터의NO_(X)제거수단의 한 방법으로서 식물에 의한NO_(X)수착효과를 평가하기위해 개발한 챔버를 포함한 측정시스템을 개발하였다. 챔버의 농도감쇠법을 이용하여 건재의NO_(X)흡착과 식물의NO_(X)수착효과의 비교실험 및 식물의 수착특성을 파악하기위해 실험을 행하였다. 그리고 식물의NO_(X)흡착효과를 파악하기위해 실험을 행하였다. 제4장에서는 비에의한 세척실험을 바탕으로 제안한 비의 세척효과와 비에의해 세척되는NO_(X)량에 관한 산정식에 대해 논하였다. 그리고, 강우데이터를 이용하여 비에의한 세척효과를 평가하여 비가NO_(X)흡착량에 미치는 영향을 파악하였다. 제5장에서는 식물의 종류에의한 개체의 차이 및 계절이 잎표면적에의 흡착에 미치는 영향에 대해서 검증하였다. 마지막으로 동경시내를 대상으로한 2개의 구내의 식물조사를 행하여, 잎표면에의 흡착량을 그 지역의 잎면적에 적용하여NO_(X)제거량을 추정하였다. 식물의 가슴높이 직경으로 임면적을 개산, 추정하는 모델식을 이용하여, 네리마구, 신주쿠구에 있는 직경 30 cm 이상의 수목의 총잎면적을 시산하여, 이 잎면적에서 제거되어지는NO_(X)량을 동경도의 제거량에 환산한 결과, 동경도의NO_(X)배출총량의 2.1-2.2%, 자동차NO_(X)배출총량의 3.3-3.4%가 제거되어지는 것으로 나타났다.

セメント水和物の炭酸化反應と硬化體組織の變化

김상규 東京工業大學 1994 해외박사

본 연구는 대학생의 일반운동능력의 인자구조를 검토함에 있어서 직교인자해와 사 교인자해 어느쪽이 보다 적절한 방법인가, 또 그 인자구조에 있어서의 성차는 어떠한 특징을 지니고 있는가를 검토하고, 추출, 해석된 인자의 실태를 명확히 하기 위해 인 자의 추정식을 결정하며, 남여별로 추정된 인자에 대해 일반운동 능력의 평가를 위한 테스트 베터리를 작성하고 평가척도를 구성할 목적으로 수행되었다. 이 목적을 달성 하기 위해 1930년대에서 1983년까지 행해진 운동능력의 인자구조, 인자구조의 성차, 테스트베터리에 관한 선행연구를 통해서 본 연구의 문제와 가설이 설정되었다. 이 가 설에 따라 신뢰성, 타당성,객관성 등을 고려하여 38항목의 테스트가 선택되었다. 그리 고 남자대학생 173명과 여자대학생 226명을 대상으로 테스트를 실시하여 구해진 성적 으로부터 신뢰도를 검토하여 인자분석을 위한 해석변량으로서 34항목이 결정되었다. 이러한 자료(34×34 항목으로 이루어지는 상관행렬)로 부터 상관행렬을 작성해서, 다 인자모델의 입장에서 이 상관행렬에 공통성의 추정치로서 SMC를 대각선요소에 대입하 여 주 인자해법, 알파인자해법, 캐노니칼인자해법을 적용해서 얻어진 회전전의 인자패 턴행렬에 Normal Varimax기준에 의한 직교다인자해와 Oblimin기준에 의한 사교다인자 해를 도출해서 인자를 추출했다. 추출된 인자의 해석방법은 각 인자에 유의한 인자부 하량을 나타내는 변량의 그 인자의 전분산에 대한 공헌도 등 3가지 관점을 고려했다. 인자구조의 성차의 검토는 인자해석의 용이성 등 5가지 관점에서 이루어졌고, 인자의 추정에는 완전추정법을 적용해서 추정식을 결정하고 남여에 공통으로 추출된 인자에 대해서는 인자추정의 정밀도는 나타내는 중상관계수, 실용성 등을 고려해서 테스트 베 터리가 작성되고 각 인자별로 5단계의 평가척도가 구성되었다.

Experimental study on the partial and total radiative widths of the broad 27-, 49-, and 97-keV neutron resonances of ^(19)F

이삼열 東京工業大學 1999 해외박사

중성자공명의 전방사폭은 중성자포획단면적을 얻기 위해서 필요하다. 따라서, 고속로의 중심특성에 큰 영향을 준다. 원자로 구조재료의 폭이 넓은 keV 중성자공명의 전방사폭은 중요하다.또한 공명의 부분방사폭은 공명준위연구에도 중요하다. 본 논문은 F-19의 원소에 대해, 에너지분해는 이 좋고, 검출효율이 높은 대형 HPGe 감마선 검출기를 이용해 폭이 넓은 27-, 49-, 및 97-keV중성자 공명의 부분방사폭및 전방사폭을 정밀도 높게 실험적으로 구했다. 이 논문은 다음의 5장으로 구성되어 있다. 1장서론: 본 연구의 배경, 의의, 및 목적에 대하여 논의하였다. 폭이 넓은 keV 중성자공명의 전방사폭은 지금까지의 데이터들의 신뢰성이 빈약하다. 그 원인은 산란 중성자들에 의한 영향이 크기 때문이다. 정확한 전방사폭을 측정하기 위해서는 이 산란 중성자의 영향을 줄여야할 필요성이 있다. 이 영향을 줄이는 유력한 방법으로 이산 감마선을 측정, 즉 부분방사선의 측정이 제안되었다. 이 부분방사폭은 공명준위연구에 중요하며, 중요한 공명의 전방사폭의 이론계산에 적용되어질수있다는 것을 기술하고 있다. 2장 실험과정: 본 실험은 고 에너지분해능 및 검출효율을 가지는 HPGe 감마선검출기를 이용했으며, 실험은 동경공업대학의 펠레트론 가속기로부터 얻어진 1.5nsec의 폭을 가진 양성자빔을 사용했다. 감마선 검출에 사용되어진 검출기의 응답함수, time-walk특성에 대하여, 2차원 데이터측정에 대하여 기술하고 있다. 3장 해석: 중성자 폭획으로부터 얻어진 각각의 데이터를 표시하고 있으며, 각 공명의 부분방사폭을 도출하는 방법에 대하여 기술하고 있으며, 보정과 오차에 대하여 기술하고 있다. 4장 결과 및 토의: 중성자 포획실험으로 얻어진 각공명의 부분방사폭을 표시했다. 가간 부분방사폭의 합으로 전방사폭을 얻었다. 과거의 측정결과와 비교를 하였다. 더욱이, 이번 결과의 신뢰성에 대하여 기술을 하였다. 먼저, 과거의 27-keV 공명의 부분 및 전방사폭의 측정결과는 이번의 결과와 오차범위안에서 일치하였다. 그러나, 49-keV와 97-keV 공명의 측정치는 이번의 측정치보다 몇배 큰값을 나타내었다. 또한, 산란 중성자의 영향이 적은 44-keV 공명의 전포획kernel 은 과거의 값과 이번값은 아주 잘 일치하였다. 이때까지 알려지지않은 3개의 준위에 대한 분기비에 대하여 기술했다. 5장 결론: 본 논문에서 얻어진 성과를 기술하였다.

秘密分散共有法および認證コ-ドに關する硏究

송유진 東京工業大學 1995 해외박사

본 연구는 대학생의 일반운동능력의 인자구조를 검토함에 있어서 직교인자해와 사 교인자해 어느쪽이 보다 적절한 방법인가, 또 그 인자구조에 있어서의 성차는 어떠한 특징을 지니고 있는가를 검토하고, 추출, 해석된 인자의 실태를 명확히 하기 위해 인 자의 추정식을 결정하며, 남여별로 추정된 인자에 대해 일반운동 능력의 평가를 위한 테스트 베터리를 작성하고 평가척도를 구성할 목적으로 수행되었다. 이 목적을 달성 하기 위해 1930년대에서 1983년까지 행해진 운동능력의 인자구조, 인자구조의 성차, 테스트베터리에 관한 선행연구를 통해서 본 연구의 문제와 가설이 설정되었다. 이 가 설에 따라 신뢰성, 타당성,객관성 등을 고려하여 38항목의 테스트가 선택되었다. 그리 고 남자대학생 173명과 여자대학생 226명을 대상으로 테스트를 실시하여 구해진 성적 으로부터 신뢰도를 검토하여 인자분석을 위한 해석변량으로서 34항목이 결정되었다. 이러한 자료(34×34 항목으로 이루어지는 상관행렬)로 부터 상관행렬을 작성해서, 다 인자모델의 입장에서 이 상관행렬에 공통성의 추정치로서 SMC를 대각선요소에 대입하 여 주 인자해법, 알파인자해법, 캐노니칼인자해법을 적용해서 얻어진 회전전의 인자패 턴행렬에 Normal Varimax기준에 의한 직교다인자해와 Oblimin기준에 의한 사교다인자 해를 도출해서 인자를 추출했다. 추출된 인자의 해석방법은 각 인자에 유의한 인자부 하량을 나타내는 변량의 그 인자의 전분산에 대한 공헌도 등 3가지 관점을 고려했다. 인자구조의 성차의 검토는 인자해석의 용이성 등 5가지 관점에서 이루어졌고, 인자의 추정에는 완전추정법을 적용해서 추정식을 결정하고 남여에 공통으로 추출된 인자에 대해서는 인자추정의 정밀도는 나타내는 중상관계수, 실용성 등을 고려해서 테스트 베 터리가 작성되고 각 인자별로 5단계의 평가척도가 구성되었다.

單分子膜の光變位電流測定と液晶配向制御に關する硏究

김우연 東京工業大學 1996 해외박사

단분자막의 다이나믹스 거동을 전기신호로서 검출하는 것은 유기 단분자를 전자소자로서 응용하려고 하는 관점에서 중요한 연구가 되고 있다. 본 연구에서는, 지질 분자막의 상전이에 따른 구조변화를 직접 이용한 액정분자의 배향을 제어하려고 하는 시도와, 지질분자막이 갖고 있는 상전이 온도를 명확히 하기 위하여 열자격 변위전류를 이용하여 지질분자막의 상전이온도를 보여 주었다. 또한, (Command surface) 코멘드 써페이스는 벌크상태에서 행해지고 있었다.금번 연구에는 단분자막 상태에서 행하는 것을 착안하여, 아조벤젠 단분자막 을 배향막으로 한 액정셀에 광을 조사하는 것에 따라 액정의 배향제어가 되는것을 보여주었다. 그리고, 수면상에 혼합 단분자막을 형성하여, 아조벤젠 분자를 광이성화시 켰다. 이 광이성화된 아조벤젠 분자가 액정분자에 자격전달이 이루어진 것을 단분자레벨에 있어서의 상태를 확인시켰다. 향후, 러빙하지 않는 액정배향막을 이용한 LCD 디스플레이에의 응용에 중요한 연구가 될 것 같다.

鋼構造部材の疲れきれつ發生壽命に關する硏究 : 장동일

장동일 東京工業大學 1976 해외박사

강구조물은 고강도 강재의 개발, 전자계산기에 의한 최적설계 및 과감한 용접 연결 의 채택 등으로 강철도 고량, 강해안 구조물의 피로거동에 대한 저항성을 약화시키는 결과를 가져오게 되었다. 그런데 피로거동의 해석과 피로수명의 추정에 있어서 전용되 고 있는 Miner의 직선피해법칙의 그 적용성이 문제로 되고 있다. 즉, 피로에의한 구 조부재의 파단을 기준으로 하면 H(고)-L(저) 하중 체계에서는 Σn/N<1. 0, 반대로 L(저 )-H(고) 하중체계에서는 Σn/N>1. 0의 경향이 뚜렷함을 여러 연구결과가 밟히고 있다. 이 현상의 원인은 직선피해 법칙은 변형에너지의 축척을 기반으로 한것에 착목하여 피로균열의 발생은 균열면의 형성으로 변형에너지가 발산되는 것에 대한 의견을 서술 하였다. 이것을 바로잡기 위해 피로균열의 길이 0. 5mm 를 발생 한계로 가정한 강구조 부재에 대한 회전휨 피로시험과 축방향 인장맥동 피로시험을 실시하였다. 강구조 부 재의 피로수명의 추정은 구조부재의 기하학적인 치수를 고려하여 결정된 치수의 피로 균열을 기준으로하는 피로균열 발생수명을 기준으로 직선피해법칙을 적용한 것이며, 오차를 줄이기 위한 방법으로 불규칙 현상인 하중체계를 적절하게 피로거동의 결과와 접근 될 수 있는 프로그램 하중체계를 작성한 체계 하중시험을 실시한 것을 결론으로 내놓았다.

Effect of Catalyst Stereospecificity on Microstructure of Polyoletins : 이동희

이동희 東京工業大學 1992 해외박사

현재 공업적으로 사용되고 있는 에틸렌과 프로필렌의 중합촉매는 고활성고입체규칙성을 나타내 기 위해 고체촉매제조시 및 중합시의 전자공여체를 필요로하고 매우 복잡한 계로 되어있다. 이들분의 개량 및 전자공여체화합물의촉매계 첨가는 올레핀중합의 중합메카니즘의 해명을 곤란케 하옌뼁П맙【��보다 단순화시킨 고입체 특이성 및 비입체특이성촉매를 사용하여고급 α-올레핀의 합, 스티렌과의 공중합, 페닐아세틸렌의 중합 및 1-헥센과프로필렌의 단시간중합을 행하여 생성틜抉선망� 성장거동등을 상세히조사함에 따라 중합 거동과 생성폴리머의 구조에 대한 입체특이성을 검토하였다. 또한 실리카의 표면수산기에 고정화담지한 티탄계 촉매를 제조하여프로필렌의 비이적 중합 및 에틸렌-프로필렌 공중합을 행하여 생성폴리머의미세구조와 반응메카니즘에 대해 상토하였다.

韓國人の日本語學習支援システムの開發とコミュニケ-ション能力の分析と評價

김시민 東京工業大學 1996 해외박사

제2언어학습자의 커뮤니케이션능력을 향상시키기 위해서는, 언어지식 그 자 체의 학습과 함께, 효과적으로 의사전달이 가능할 수 있도록 커뮤니케이션 방 략 (communication strategy)의 활용능력을 높혀야 한다. 그래서, 이 연구는 "한국인의 일본어학습 지원시스템의 개발과 커뮤니케이션 능력의 분석과 평가 "라는 논제로, 한국인의 일본어학습자를 대상으로 하여, 언어지식의 습득을 지원하는 시스템이 개발과, 커뮤니케이션 방략의 활용능력에 관한 기초연구를 한 것으로, 다음의 일곱장으로 구성되어 있다. 제1장에서는, 제2언어의 습득과정에 있어서의 커뮤니케이션 능력에 관한 선 행연구를 소개하고, 본연구의 목적과 의의를 밝혔다. 제2장에서는, 커뮤니케이션 능력에 있어서의 사회언어능력 향상을 목표로, 한국인으로서는 학습이 곤란한 모달리티 표현 (추량, 확신도 등의 애매한 표 현)을 교재 내용으로 하여, 멀티미디어와 하이퍼텍스트 개념을 도입하여 개발 한 "일본어의 모달리티 학습지원 시스템"에 관해 논했다. 이 시스템의 특징 은, 커뮤니케이션 능력을 양성하기 위해 제안된 커뮤니카티브 어프로치의 채 용, 영상/음성/문자가 동시에 표시되는 멀티미디어, 한일 양언어에 의한 문법 설명 및 대사의 실장, 학습자의 자유로운 학습내용의 선택과 학습순서의 자기 관리등이다. 제3장에서는, 커뮤니케이션 방략의 이용에 관한 기초연구를 위해, "일본어 학습자의 발화오용에 관한 특징"을 분석했다. 한국인의 일본어학습자 2명의 1년간의 발화기록을 데이터로 하여, 커뮤니케이션 방략의 관점에서 발화오용 을 분석하고, '습득한 언어지식의 영향', '용법의 오용' , '타언어로 전환과 주저' , 라고하는 3개이 오용패턴의 추출과, 각 오용의 시계열적 변용을 분석 한 결과, '습득한 언어지식의 영향'에 의한 오용과 '타언어로 전환과 주저'는 학습과 함께 줄어들며, '용법의 오용'은 일단 증가한 다음 감소하는 특징이 밝혀졌다. 제4장에서는, 제3장에서 분석한 발화오용에 대해, 어떤 방략을 쓴 결과로 생성된 오용인지를 분석하여, 결과로서의 오용과 원인으로서의 방략을 대응시 켰다.

Preparation of crystalline bismuth silicate films on silicon wafer by metal-organic chemical vapor deposition

김종희 東京工業大學 1994 해외박사

DRAM은 1970년대에 간단한 구조및 제법의 전하축적고체 메모리로서 등장한 그 집적도가증가일 로에 있으나, 현재까지의 고집적화의 개발방향이었던 capacitor막의 두께 또는 면적을조절하는 같瓦�도달해 있는 실정이다. 그러므로 새로운 개발방향으로서 고유전율을보이는 재료를 capacito사용하는 것이 제시되어 연구되어지고 있다. 현재 고유전율재료로서는 강유전체등 여러재료가 제있으나 제조공정중 의도하지 않는 실리콘기판의 산화에 의한 성장막과 기판사이에 SiO2막이 형성써 유전율이 저하하는큰 문제점이 있다. 또한수년전부터 강유전체를 이용한 비휘발성 메모리에 눙린�이루워지고 있으나 이연구도 위에서 언급한 것과 같은 문제가 대두되어 있다. 본 연구에서늡�문제의해결책으로서, 실리콘기판상에 이미 형성되어 있는 SiO2막을 다른 물질과 반응시켜서Si고유전율의 재료로 변화시키면 위에서 언급된 문제없이 고유전율 박막및 강유전체박막을 실리콘굴봉壤쳔낵�있다는 가정을 세웠다. 이러한 가정에 따라 SiO2와Bi2O3를 반응시켜 얻을수 있는 bisilicate가 성장박막으로 선택되었다. 본 연구에서얻어진 박막은 결정성의 bismuth silicate(BS)�RD에 의해서 확인되었으며,760도이하에서는 배향성(Preferred Orientation)의 박막이 형성되었뉘�BS막중,다결정의 박막은 Bi4Si3O12의 결정구조를 하고 있으나, 배향성의 박막은 X-ray polef의해서 조사해본 결과 3차원적으로 일정한 원자배열을 하고 있는 단결정임을확인하였으며, 또한 의 격자상수및 같정구조를 밝혀내었다. 증착시간에 따른BS막의 두께조절을 시도하였으며, 그 두꼭피�각시료의 capacitance변화를 관찰하였다. 또한 성장할 막에 열처리를 하여 BS막의 결정성및료의 capacitance변화를 관찰하였다. 그결과로서 BS막의 두께가 증가할수록 시료의 capacitance건臼느만� 기존의 SiO2막의90%가량이 BS막으로 변한 시료의 capacitance는 증착전의 시료보다 6즉, 유전율이35정도로 증가하였다. 결국, 실리콘기판상의 열산화 SiO2막을 비스무스와 산호의 혼와 반응시켜 형성된 bismuth silicate박막은 양호한 결정성을 보이며, 특정한 성장조건하에서는 박막이 성장하였다. 성장mechanism의 연구에 의해서 성장막의두께를 조절할수 있었으며, 박막의 성을 일정하게 유지하는 데 필요한 확산계수등여러변수를 구할수 있었다. 유전특성면에서는 원래어 있던 SiO2층보다 6배이상의높은 유전율을 보였다. 또한 단결정의 BS박막을 이용하여서는 FRAM강유전체박막성장의 buffer layer로서 사용가능함을 확인하였다. 본 연구에서는 현재까지의DRAM걀П맙【�큰 문제로 대두되고 있는 실리콘기판상에 고유전율 또는 강유전체박막을 성장시키는 방서 bismuth silicate박막의 성장을 제시하였다.