Mesh-type PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si박막의 특성 및 레이저 결정화

한상용,최재식,김용수,박성계,노재상,김형준,Han Sang-Yong,Choi Jae-Sik,Kim Yong-Su,Park Sung-Gye,Ro Jae-Sang,Kim Hyoung-June 한국전기화학회 2000 한국전기화학회지 Vol.3 No.1

It is increasingly necessary to use poly-Si n's as high resolution and integration of Tn for LCD. Excimer Laser Crystallization (ELC) of a-Si is mainly used as a low temperature process. But the ELC method for the fabrication of poly-Si has the eruption problems associated with hydrogen in the a-Si film. So we need a dehydro-genation process additionally. Hydrogen in a-Si film can degrade the quality of poly-Si film and electrical properties of device due to the hydrogen eruption and voids which occur during the excimer laser annealing. In this study, we propose mesh-type PECVD as the a-Si film deposition method for achieving the low concentration hydrogen. Mesh-type PECVD was found to reduce the hydrogen content substantially. We could obtain a as-deposited a-Si film with hydrogen contents less than $1\%$ at $300^{\circ}C$. We also investigated the behavior by XeCl excimer laser annealing of a-Si fabricated by mesh-type PECVB. As a result, we were able to confirm the broad process window in contrast to the narrow process range typically obtained in ELC. Hydrogen eruption was not observed in poly-Si films after ELC These results suggests that mesh-type PECVD is a viable method to achieve the low hydrogen content a-Si and improve the process windows for ELC. poly-Si TR는 LCD의 고해상도화, 고집적화에 따라 그 요구가 점점 필요해지고 있다. 그러나 poly-Si의 제조를 위해 주로 사용하는 레이저 결정화 방법은 박막 내에 함유된 수소 때문에 별도의 탈수소 공정을 행하는 실정이다. 막내의 수소는 결정화 시 eruption과 void등의 생성으로 poly Si의 막 특성뿐 아니라 소자 특성에도 나쁜 영향을 미치게 된다. 본 연구에서는 전술한 문제점을 제어하기 위해 mesh-type PECVD를 제안하고 저수소화 박막 증착에 관한 연구를 수행하였다. 증착된 비정질 Si 박막은 $300^{\circ}C$ 이하의 온도에서도 $1 at\%$ 이하의 낮은 수소 함유량을 가진 것으로 조사되었다. mesh에 의한 이런 결과는 막내에 함유되는 수소를 효과적으로 제어하고 별도의 탈수소 공정을 배제하여 공정 감소의 효과를 갖는 장점이 있다. 또한 제조된 비정질 Si을 이용하여 XeCl 레이저 결정화하여 그 거동을 조사하였는데 일반적인 거동과 달리 매우 넓은 공정 영역을 갖고 있는 것을 확인할 수 있었다 또한, 수소에 의한 표면 거칠기 문제는 발견되지 않았으며 비교적 조대하고 균일한 결정립 분포를 하는 것으로 조사되었다 본 결과는 레이저 결정화 공정의 안정성에 기여하고 소자 특성 향상에도 기여할 것으로 기대된다

Partitioning and Constraints Generation for the Timing Consistency in the Hierarchical Design Method

한상용,Han, Sang-Yong Korea Information Processing Society 2000 정보처리논문지 Vol.7 No.1

VLSI의 집적도가 계속 증가되고 있어 복잡한 칩 설계를 위해서는 설계의 계층성 이용이 매우 중요하다. 계층설계는 대규모의 설계 데이터를 기능의 계층성을 이용하여 분할 설계하기 때문에 오랫동안 이용되어 왔다. 그러나, 계층 설계에서는 분할 설게후 다시 통합하기 때문에 원래의 설계 데이터와 분할${\cdot}$통합한 설계 데이터 사이에 타이밍 분석 결과의 차이가 발생할 수 있고 이는 칩 개발 시간을 지연시키는 주요 요인이 된다. 본 논문에서는 계층설계에서 타이밍 문제를 공식화하였고, 타이밍 분석시 림ㅅ설계와 차이가 나는 원인들을 분석하였다. 일관된 타이밍 분석이란 개념을 정의하였고 일관성유지를 위한 분할 기법을 제안하였으며, 제안한 알고리즘을 구현하여 기존의 설계툴에 접목하여 일관성 향상을 얻었다. The advancements in technology which have lead to higher and higher levels of integration have required advancements in the methods used in designing VLSI chip. A key to enable a complicated chip design is the use of hierarchy in the design process. Hierarchy organizes the function of a large number of transistors ito a particular, easy-to-manage function. For these reasons, hierarchy has been used in the design process of digital functions for many years. However, there exists differences in a design analysis phase, especially in timing analysis, due to multiple views for the same design. In timing analysis of the hierarchical design, every path is analyzed within partitioned modules independently and the global timing analysis is applied to the whole design considering each module as a single timing component. Therefore, timing results of the hierarchical design could not be same as those of non-hierarchical flat design. In this paper, we formulate the timing problem in the hierarchical design and analyze the possible source of timing differences. We define a new terminology of "consistent result" between different views for the same design. We also propose a new partitioning algorithm to obtain the consistent results. This algorithm helps to enhance the design cycle time.

황련해독탕(黃連解毒湯)과 건강부자탕(乾薑附子湯)의 Cold Stress로 유발된 생쥐의 혈중(血中) 호르몬 농도변화에 대한 비교연구

한상용,강한주,최은식,이기남,이태희,김윤경,Han, Sang-Yong,Kang, Han-Ju,Choi, Eun-Sik,Lee, Ki-Nam,Lee, Tae-Hee,Kim, Yun-Kyung 대한한의학방제학회 2013 大韓韓醫學方劑學會誌 Vol.21 No.2

Objectives : The aim of this study was to evaluate the efficacy of Hwangnyeonhaedok-tang (HH) and Geongangbuja-tang (GB) on the plasma hormone level in mice exposed to cold stress. HH and GB are the representative prescriptions of cold and hot property, respectively. Methods : We established cold condition by confining ICR mice to a $4^{\circ}C$ cage for 24 hours, ICR mice were given a HH (100, 300, 1000 mg/kg) or GB (100, 300, 1000 mg/kg) extract orally twice a day for three consecutive days. From the second day, they were given cold stress ($4^{\circ}C$) for twenty four hours. To measure the plasma corticosterone, insulin, thyroxine, epinephrine and norepinephrine levels of mice, their blood samples were collected from cardiac puncture, immediately centrifuged at $4^{\circ}C$. The protein level of HSP70 and JNK was examined using western blot analysis in cortex and hypothalamus. Results : Oral administration of GB more significantly reduced plasma corticosterone level raised by cold stress than HH. Gardeniae Fructus (CJ), the constituent of HH, significantly increased the thyroxine level. Western blot analysis showed that cold stress-induced Heat shock protein 70 (HSP70) expression was increased by HH and GB, HH decreased JNK expression and GB increased JNK expression dose-depently in hypothalamus. Scutellariae Radix (HG), Zingiberis Rhizoma (GG) and Aconiti Tuber (BJ) decreased HSP70 in hypothalamus and GG, BJ decreased HSP70 in cortex as well. Conclusions : These results suggest Geongangbuja-tang (GB) is more effective for ameliorating the stress response caused by cold stress.

대러 자동차 및 부품 수출의 시베리아횡단철도 운송경로 전환에 대한 경제성 분석

한상용 ( Sang Yong Han ) 한국물류학회 2014 물류학회지 Vol.24 No.5

본 논문은 대러 자동차 및 부품 수출에 있어 기존 해상운송 구간에서 시베리아횡단철도 구간으로 운송경로 전환에 대한 경제성 분석을 통해 향후 정책방향을 제시하였다. 이를 위해 최근 러시아 자동차시장 현황 분석과 국내외 통계자료를 활용하여 2015~ 2030년 대러 자동차(신차와 중고차) 및 부품 수출 물동량을 예측하였고, 구간별 운송비 용 자료를 이용하여 기존 해상운송 구간에서 시베리아횡단철도 구간으로 운송경로 전환 에 대한 경제성을 분석하였다. 특히 해상 및 시베리아횡단철도 구간의 운송비용, 물동량 수요, 사회적 할인율 등 요인들의 변화에 따른 민감도분석을 통해 향후 정책방향을 도 출하였다. 분석결과, 러시아 우랄산맥 동부지역을 대상으로 한 자동차 수출의 경우 기존 해상운 송 구간에서 시베라이횡단철도 구간으로 운송경로를 전환하는 것이 경제성이 있으며, 향후 해당구간의 자동차 및 부품 물동량을 유치하기 위해서는 러시아 동부지역에 물류 거점을 확보하고 현지 파트너와 물류협력체계를 구축하는 것이 필요하다고 판단된다. The objective of this study is to analyze economic feasibility on modal shift from sea route to the Trans-Siberian Railway (TSR) route in the Korea-Russia automotive export and to propose the future policy recommendations. For this purpose, this paper investigated recent Russian automotive market situations and forecasted 2015~2030 export volumes of automotive (new cars and used cars) and parts to Russia, using domestic and foreign statistical data. In addition, this paper performed sensitivity analysis considering the changes on transportation costs of sea route and TSR route, export volumes through TSR route and social rate of discount. As a result, it is economically valid to transfer from sea route to the Trans-Siberian Railway (TSR) route on automotive export to Russian eastern parts of the Ural Mountains. It is needed to secure logistics facilities in this region and establish logistics collaboration partnership with local businesses to attract the quantity of automotive (new cars and used cars) and parts in the future.

펌프 병렬 운전 시 배관계 최적설계에 관한 연구

한상용(Sang Yong Han),최영돈(Yeung-Don Choi),홍석우(Suk-Woo Hong) 대한설비공학회 2001 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2001 No.-

규제 및 유인적 교통수요관리정책의 대중교통 전환효과 비교분석 - 진술선호자료 및 시장분할기법을 이용하여

한상용(Sang-Yong Han) 한국경제연구원 2007 규제연구 Vol.16 No.1

  본 연구에서는 유류비와 주차요금 인상정책, 대중교통 통근비용 보조정책 등 규제 및 유인적 교통수요관리정책의 대중교통 전환효과를 이론적으로 고찰하고 실증적으로 분석하였다. 또한 응답자들의 통근수단 선택에 영향을 줄 수 있는 개인적 특성, 사회적 특성, 통행특성, 차량특성변수 등을 고려하여 전체 집단을 2~3개의 하위집단으로 분할하여 실증분석을 수행한 결과, 모든 추정모형들은 통계적으로 유의하였고, 차량 보유기간을 제외한 모든 특성변수에서 하위집단 간 추정계수들의 동질성은 유의수준 5%에서 기각되었다. 그리고 전체 집단에 대한 정책수단별 대중교통 전환효과는 대중교통 통근비용 보조정책이 가장 크고, 유류비 인상정책, 주차요금 인상정책의 순으로 분석되었다. 시장분할에 의한 하위집단별 분석결과, 현재상태의 대중교통 수단 분담률은 남성일수록, 연령이 적을수록, 소득수준이 낮을수록, 소유차량 대수가 적을수록, 차량 보유기간이 길수록, 통행시간이 짧을수록, 통행목적이 비업무용일수록 크게 나타났다. 또한 하위집단의 정책수단별 대중교통 전환효과는 통행목적이 비업무용인 집단과 소득이 상위수준인 집단을 제외하고는 대중교통 통근비용 보조정책이 가장 효과적인 것으로 분석되었고, 특히 연령이 51세 이상인 집단과 소유차량이 2대 이상인집단, 자가용 승용차를 출퇴근 및 업무용으로 이용하는 집단, LPG 차량을 이용하는 집단에서 효과가 매우 큰 것으로 분석되었다.   The objective of this study is to investigate theoretically and empirically transfer effects to public transit by regulatory and incentive systems such as the increase of fuel price and parking fee, and the subsidy of public transit commuting cost. Also, total group is divided into several sub-groups, considering various variables relating to individual, social, commuting, and vehicle characteristics to affect the choice of commuting modes. As empirical results, all the models was significantly estimated, and the homogeneity of estimated coefficients among sub-groups was rejected at the five percent significance level, exclusive of vehicle tenure period variable. And, empirical result with total group shows that transfer effect by the subsidy of public transit commuting cost ranks highest, followed by the increase of fuel price, the increase of parking fee. And, the status quo public transit share is higher as respondent is man, younger, age is lower, income is higher, and commuting time is shorter, etc. In addition, empirical results with sub-groups show that transfer effect by the subsidy of public transit commuting cost is highest, except for non-business use and high income sub-group. Especially, the subsidy of public transit commuting cost is very effective in sub-group with higher age, business user and LPG fuel user, etc.

해외 항만투자 대상국들의 경쟁력 평가분석에 관한 연구

한상용(Sang Yong Han),한철환(Chul Hwan Han),서수완(Su Wan Seo) 한국물류학회 2013 물류학회지 Vol.23 No.3

본 연구에서는 지수화방법론과 계층화분석법을 적용하여 국내 항만공사의 향후 해외진출을 위한 해외 항만투자 대상국들의 경쟁력을 평가 분석하였다. 실증분석 결과, 해외 항만투자 대상국들의 경쟁력 평가를 위한 평가요인별 상대적 중요도는 경제적 요인, 정치적 요인, 제도적 요인의 순으로 분석되었고, 평가요소의 경우 시장규모, 성장 잠재력, 인프라 수준, 국가위험도, 국가신용도 등이 중요하게 평가되었다. 21개 평가지표들을 이용하여 해외 항만투자 대상국들의 경쟁력을 평가한 결과, 미국, 독일, 일본, 싱가포르, 중국의 순으로 분석되었다. 실증분석 결과와 향후 항만시설 수급 전망치를 종합적으로 고려하여 향후 국내 항만공사들의 해외 항만투자를 위한 잠재적 투자 대상국으로 인도, 말레이시아, 아랍 에미리트 등 7개 국가가 선정되었다. 본 연구는 잠재적인 해외 항만투자 대상국들의 경쟁력을 평가하여 향후 국내 항만공사들이 해외 진출 시 정책적으로 활용 가능한 정량적 정보를 제공했다는 데 의의가 있다. The objective of this study is to evaluate competitiveness of potential foreign port investment countries, using analytic hierarchy process and index theory. Firstly, hierarchical structure is constructed through former literature survey, which is divided into three evaluation criteria (economic, institutional and political) and consists of 11 evaluation factors. As a result of the AHP survey, the respondents place more weight on economic criteria than institutional and political criteria for market competitiveness evaluation of foreign port investment. Comparison of 11 evaluation factors within three criteria shows that market size ranks highest for market competitiveness evaluation, followed by country risk, potential growth power, infrastructure level, sovereign credit rating. In addition, 21 statistical data published from official world organizations are used for market competitiveness evaluation and standardized using Z-score method. And, we evaluate competitiveness of foreign port investment on 80 worldwide countries. As a result, USA was ranked as highest area in overall competitiveness aspect, followed by Germany, Japan, Singapore, China. Considering future port facilities and container freight volumes, we recommend 7 countries including India, Malaysia, Arab Emirate, as potential port investment countries among Non-OECD countries. This study allows us to provide policy-makers with quantitative information that can be useful in decision-making process related to foreign port investment.

건물화재보험 개선을 통한 건물화재예방에 관한 연구

한상용(Han, Sang-Yong),이시영(Lee, Si-Yeong) 한국화재소방학회 2013 한국화재소방학회 학술대회 논문집 Vol.2013 No.춘계

국제항공 노선별 반등효과 추정에 관한 연구 - 유럽 4개 노선의 항공사별 운항실적자료를 이용하여 -

한상용 ( Sang-yong Han ) 한국재정정책학회 2021 財政政策論集 Vol.23 No.2

본 연구에서는 2010년∼2015년 월별 항공운항실적 자료를 이용하여 유럽 직항 4개 노선별 항공사의 단기 및 장기 반등효과를 추정하였다. 실증분석결과, 4개 노선의 8개 항공사를 대상으로 자기회귀시차 모형을 추정한 결과, F-통계량을 기준으로 할 때 모든 추정모형들은 유의수준 1% 하에서 통계적인 유의성을 보이고 있으나, 개별 설명변수들에 대한 추정계수들에 대한 통계적 유의성과 종속변수에 대한 영향은 항공사별로 차이를 보이는 것으로 나타났다. 4개 노선별 8개 항공사의 반등효과를 산정한 결과, 단기 반등효과는 5.79%∼112.82%로 분석되었고, 장기 반등효과는 69.67%∼147.16%에 달하는 것으로 분석되었다. 특히 개별 항공사별로 장기 반등효과는 단기에 비해 크게 분석되었으며, 4개 노선의 8개 항공사들의 단기 반등효과 평균치는 54.81%로 산정되었다. 향후 국내 항공교통 부문에서의 온실가스 감축목표 달성과 반등효과의 존재를 고려할 때, 향후 항공용 대체연료 개발 및 상용화 등 정부의 재정지원이 확대될 필요성이 있다고 판단된다. This Paper estimated the short-term and long-term rebound effects of airlines by four direct European routes, using monthly flight performance data from 2010 to 2015. Empirical analysis shows that, based on F-statistics, all estimation models show statistical significance under 1% significance, but their effects on the estimation coefficients on individual explanatory variables vary by airline. As a result of calculating the rebound effect of eight airlines on each of the four routes, the short-term rebound effect was 5.79% to 112.82%, and the long-term rebound effect was 69.67% to 147.16%. In particular, the long-term rebound effect for each individual airline was largely analyzed compared to the short-term, and the average short-term rebound effect for eight airlines on four routes was 54.81%. Given the rebound effect in the air transportation sector, it is believed that the government’s financial support, including the development and commercialization of alternative fuels for aviation, needs to be expanded in the future.

계층적 설계 환경에서 일관된 타이밍 분석을 위한 분할 및 제한 조건 생성 기술 개발

한상용(Sang Yong Han) 한국정보처리학회 2000 정보처리학회논문지 Vol.7 No.1

The advancements in technology which have lead to higher and higher levels of integration have required advancements in the methods used in designing VLSI chip. A key to enable a complicated chip design is the use of hierarchy in the design process. Hierarchy organizes the function of a large number of transistors into a particular, easy- to-manage function. For these reasons, hierarchy has been used in the design process of digital functions for many years. However, there exists differences in a design analysis phase, especially in timing analysis, due to multiple views for the same design. In timing analysis of the hierarchical design, every path is analyzed within partitioned modules independently and the global timing analysis is applied to the whole design considering each module as a single timing component. Therefore, timing results of the hierarchical design could not be same as those of non-hierarchical flat design. In this paper, we formulate the timing problem in the hierarchical design and analyze the possible source of timing differences. We define a new terminology of "consistent result" between different views for the same design. We also propose a new partitioning algorithm to obtain the consistent results. This algorithm helps to enhance the design cycle time.