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      • KCI우수등재

        후 열처리에 의한 cubic - BN 상과 hexagonal - BN 상 혼합 막의 안정성 향상

        박영준(Young-Joon Park),최제형(Jae-Hyung Choi),이정용(Jeong Yong Lee),백영준(Young-Joon Baik) 한국진공학회(ASCT) 2000 Applied Science and Convergence Technology Vol.9 No.2

        이온빔보조증착법을 이용하여 e-BN(70%)/h-BN(30%) 혼합막을 합성하였으며, 이를 후속 열처리로 안정화 시켰다 보론은 e-beam evaporator로, 질소는 end-hall type 이온 건으로 공급하였으며, 기판에는 -400과 -500V의 DC 바이어스를 각 각 인가하였고, 700℃로 가열하였다. 보론의 기화속도는 1.2 Å/see였고, 질소이온의 에너지는 약 l00eV였다. 막 합성 후 같은 진공에서 후속열처리를 700℃ 및 800℃에서 l시간동안 각 각 행하였다. 후속열처리를 하지 않은 경우에는 공기 중에 노출된 직후에 막이 기판에서 박리된 반면, 800℃에서 후속 열처리를 한 경우에는 안정하였다 후속 열처리에 의하여 막 전체의 응력은 4.9 ㎬에서 3.4 ㎬로 감소하였으나, c-BN 상의 응력은 변화하지 않았다. 이러한 결과는 c-BN 상의 응력 해소를 주요 안정화 기구로 보고한 기존의 결과와 다른 것으로, 후속 열처리 동안에, 비정질이나 결함이 많은 h-BN 상의 구조적, 화학적 relaxation에 의하여 막의 안정화가 진행될 수 있음을 의미한다. c-BN 상의 분율이 작은 혼합막의 경우 비 e-BN 상의 안정화가 막 전체의 안정화에 매우 중요할 것으로 판단된다. BN films composed of c-BN(70%) and h-BN(30%) phases have been synthesized by the ion beam assisted deposition (IBAD) process and stabilized by post-anneaing. Boron was e-beam evaporated at 1.2 Å/sec and nitrogen was ionized and accelerated at about 100 eV by the end-hall type ion gun. Substrates were negatively biased by DC 400 and 500 V, respectively, and heated at 700℃. Synthesized BN films were in-situ post-annealed at 700 or 800℃, respectively, for 1 hr without breaking vacuum. BN films without post-annealing were peeled off from substrates immediately when they were exposed to the air while those with post-annealing at 800℃ were stabilized. Post annealing reduced the film stress from 4.9 ㎬ to 3.4 ㎬, but no considerable stress release in the c-BN phase was observed, contrary to previous reports that the stress relaxation in the c-BN phase is the main mechanism for the stabilization. Structural and chemical relaxation of non c-BN phase is supposed to be responsible for the film stress reduction and, in turn, stabilization, especially when the c-BN content of the film is not high.

      • KCI등재후보

        그물막과 복막파종을 동반한 회장의 상피양 평활근육종

        김충현 ( Chung-hyoun Kim ),김선영 ( Sun-young Kim ),정창길 ( Chang-kil Jung ),최정필 ( Jung-pil Choi ),서금수 ( Keum-soo Seo ),이준호 ( Jun-ho Lee ),최제형 ( Jae-hyung Choi ) 영남대학교 의과대학 2017 Yeungnam University Journal of Medicine Vol.34 No.1

        Leiomyosarcoma (LMS) of the small intestine is a rare tumor, accounting for about 1% of all malignant mesenchymal lesions in the gastrointestinal tract. Since small bowel tumors are initially asymptomatic and nonspecific, delayed diagnosis and treatment are common. We found that a 44-year-old male patient who came in for lower abdominal pain had partial obstruction in the small bowel. Multiple ascites and ileal tumors involving peritoneal seeding were observed from his abdominal computed tomography. He was diagnosed as epithelioid LMS involving peritoneal transition after surgical resection, and the outpatient department has planned for a conservative therapy with observation. To the best of our knowledge, ileal epithelioid LMS accompanying a huge omental mass, with a size of 18 cm in dimension, and peritoneal seeding has not yet been reported in Korea. We report this rare case with literature review.

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