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초미립 숫돌에 의한 경면연삭
정해도(H. D. Jeong) Korean Society for Precision Engineering 1996 한국정밀공학회지 Vol.13 No.6
연마액이 6H-SiC의 화학적 기계적 연마에 미치는 영향
이호준(H. J. Lee),안준호(J. H. An),정석훈(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2008 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2008 No.6월
실리콘고무형과 전자기파에 의한 PDP격벽의 성형에 관한 연구
정해도(H. D. Jeong),손재혁(J. H. Son),조인호(I. H. Cho) 한국정밀공학회 2001 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2001 No.5월
금속분말 혼합수지에 의한 수지 간이형의 기계적 특성 향상
정해도(H. D. Jeong),배원병(W. B. Bae),김범수(P. S. Kim),임용관(Y. G. Im) 한국정밀공학회 1998 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.1998 No.5월
대면적 유연 마이크로 패턴의 CMP 장비 개발
정해도(H. D. Jeong),김형재(H. J. Kim),박재홍(J. H. Park) 한국정밀공학회 2014 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2014 No.10월
층간절연막 CMP의 초음파 컨디셔닝 특성에 관한 연구
서헌덕(H. D. Seo),정해도(H. D. Jeong),김형재(H. J. Kim),김호윤(H. Y. Kim),이재석(J. S. Lee),황정연(J. Y. Hwang),안대균(D. G. Ahn) 한국정밀공학회 2000 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2000 No.5월
CMP 에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 연마율 모델링
김현진(H. J. Kim),박병준(B. J. Pak),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2018 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2018 No.5월
모니터링을 통한 사파이어 기판 연마에서의 마찰 특성
이호준(H. J. Lee),이창석(C. S. Lee),최성하,신운기(W. K. Shin),이현섭(H. S. Lee),조형호(H. H. Cho),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2010 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2010 No.11월
CMP 공정에서 에너지 절감을 위한 전해 이온 슬러리 효과
이다솔(D. S. Lee),김현진(H. J. Kim),정선호(S. H. Jeong),이종우(J. W. Lee),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
산화막 CMP 에서 패드 점탄성이 패턴의 단차 감소에 미치는 영향
김현진(H. J. Kim),박병준(B. J. Pak),이다솔(D. S. Lee),정선호(S. H. Jeong),정해도(H. D. Jeong) 한국정밀공학회 2017 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2017 No.12월
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