영상기반의 바이브라이미지 기술을 이용한 자극 검사에 대한 연구

이재석,이일호,이태현,최진관,정석화,한지수,Lee, Jai-Suk,Lee, Il-ho,Lee, Tae-hyun,Choi, Jin-kwan,Chung, Suk-hwa,Han, Ji-soo 한국융합보안학회 2015 융합보안 논문지 Vol.15 No.3_2

인간의 속임수는 동물과 차원이 다르다 상대방뿐만 아니라 자신도 속일 수 있다. 심리학 용어로 '자기기만'이라고 한다. 일반적으로 거짓말을 할 때는 티가 난다. 말은 어떻게 짜맞춰보더라도 호흡이나 땀, 시선, 표정, 목소리까지 완벽히 통제하는 데는 한계가 있다. 하지만 자신의 거짓말을 스스로 믿는 다면, 비언어적인 표현조차 거짓을 바꿀 수 있다. 호모사이피엔스가 네안데르탈인을 몰아내고 마침내 지구를 차지할 수 있었던 것은 언어인 거짓말의 능력이라고 해도 과언이 아니다. 그래서 인류를 '호모 팔락스'라고 부르기도 한다. 인간의 이러한 거짓말에 대한 발전 못지않게 거짓말탐지에 대한 능력 또한 비약적으로 증대되었다. 20세기 가장 뛰어난 발명품 중의 하나인 폴리그래프 검사기는 진화를 거듭하여 피검사자나 검사자 모두에게 이용하기 편리한 비접촉식으로 검사를 할 수 있는 바이브라이미지 기술이 출현하게 되었다. 본 논문에서는 이러한 바이브라이미지 기술을 이용한 거짓탐지기법인 영상 계층진술분석기법의 연구개발과정에서 발견된 표준검사인 자극 검사를 소개한다. Human have more complicate and skilled ability for lying even cheat ourself. It is not easy to cheat unconscious things like sweat, eyes, or voice, but if some one cheat own self, he can cheat every of that. Lie is one of the way to spread our gene and our instinct make a lie. Every living organism even bacteria or virus use similar trick to survive. In human body, there are more complicate and profound mechanism for lying like breathe, sweat, eyes, face or voice. We can control some of that and make a fake, but it can't be perfect. Human also called 'Homo Fallax' cause we have a language and skill to lie with it. In present, we can detect lie with polygraph, but it has few weakness. So we try to use Vibraimage technology for resolve it. In this paper, we describe how to use Vibraimage for lie detection and the research history.

GaN 성장을 위한 기판의 Ion Implantation 전처리에 관한 연구

이재석,진정근,변동진,이재상,이재형,고의관,Lee J.,Jhin J.,Byun D.,Lee J. S.,Lee J. H.,Koh W-K. 한국재료학회 2004 한국재료학회지 Vol.14 No.7

The structural, electrical and optical properties of GaN epilayers grown on various ion-implanted sapphire(0001) substrates by MOCVD were investigated. Sapphire substrates have been widely adopted to grow high quality GaN epilayer despite the large differences of lattice constant and thermal expansion coefficient between them. So, GaN or AlN buffer layer and pre-treatment was indispensably introduced before the GaN epilayer growth. The ion-implanted substrate's surface had decreased internal free energies during the growth of the ions implanted sapphire(0001) substrates. The crystal and optical properties of GaN epilayers grown in ions implanted sapphire(0001) substrate were improved. Also, excessively roughened and modified surface by ions degraded the GaN epilyers. Not only the ionic radius but also the chemical species of implanted sapphire(0001) substrates could improve the properties of GaN epilayers grown by MOCVD. This result implies that higher quality of GaN epilayers was achieved by using ion-implanted sapphire(0001) substrate with various ions.

조선조 척사위정론의 연원

이재석(Lee Jae-Seok) 한국동양정치사상사학회 2014 한국동양정치사상사연구 Vol.13 No.1

이 논문은 조선조 말기 전개된 척사위정론의 연원을 조선조의 도학적 전통에서 찾아보려는데 목적이 있다. 이 연구는 다음과 같은 이유로 시도되었다, 첫째, 지금까지 한국근대사에서 척사위정론과 척사운동이 차지하는 중요성에 따라 많은 연구가 행해졌음에도 불구하고, 그 연원을 찾아보는 연구가 소홀했다고 보기 때문이다. 지금까지 조선 주자학의 도통과 도의 옹호와 부지를 위한 이단 비판론, 중화사상 또는 춘추대의에 대한 깊이 있는 연구가 많이 이루어졌으나, 그 연구들은 해당 주제자체의 분석에 초점을 둔 연구이었으므로 척사위정론의 연원과 연관성을 밝히려는데 목적을 두지 않은 것이었다. 둘째, 척사위정론의 논리는 “숭정학벽이단, 존중화양이적”의 두 개의 논리를 포함하고 있는데, 기존의 연구는 벽이단론이나 존중화론을 통합해서 파악하려 하지 않은 한계를 보이고 있고, 주자학은 정학으로부터 출발하지만 완성은 지치가 이루어지는 정치사회 실현을 지향하기 때문에, 척사위정론의 연원과 종지를 규명하기 위해서는 두 개의 논리를 종합할 필요가 있다. 셋째, 척사위정론을 주창한 대표적인 사림은 화서학파로, 그 종장인 이항로는 우암 송시열, 정암 조광조, 포은 정몽주를 존숭했는데, 이들의 이단비판론 및 존중화론과 척사위정론의 연관성에 대한 분석이 그간에 소홀히 되었기 때문이다. 그러므로 이 글에서는 정몽주, 조광조, 송시열, 이항로를 중심으로 그들의 숭정학벽이단론과 존중화양적론을 검토해 조선조 척사위정론의 사상적 연원을 밝히려 한다. 그리고 그 과정에서 조선조 말기 하나의 이념으로 등장해 주자학의 도와 유교문명국 조선을 정으로 규정하고 그것을 지키기 위해 척사운동을 지속적으로 벌이도록 한 이념인 척사위정론의 힘의 근원을 밝히려 한다. This study aims at analyzing the Origin of Cheoksawijeong Theory(斥邪衛正論) as an ideology in the Chosun Dynasty. As we know well, it was a political ideoloy that intended to defend the right, namely Confucian learning(正學) and Chosun Dynasty as a country civilized by Confucian civilization(中華) and to repulse the wrong, namely western learning(西學, Catholic in narrow meaning) and western invasion(and after Japanese invasion). It"s origin is founded in the ancient Chinese classics, for example Confucius writing in the Annals(春秋), the Discourses of Confucius(論語), The Works of Mencius(孟子). But it was succeeded by many Neo-Confucian scholars in Koryo and Chosun Dynasty in traditional Korea. Among them, Jeong Mong-ju(정몽주), Jo Gwang-jo(조광조), Song Si-yol(송시열) was the famous scholars and officials to learn and practice Neo-Confucian learning. They were sincerely eager to construct and maintain idealized Confucian Moral State, criticizing Buddhism (in case of Jeong Mong-ju), Taoism (in case of Jo Gwang-jo), and different view on the Golden Mean(中庸) by Yoon Hew(윤휴) and so on. Especially Song Si-yol was earnest to reject Ching(淸) Dynasty"s tributary rule over Chosun dynasty and to maintain the Chinese World Order by initiated Myng(明) Dynasty believing in the guiding principle of Confucius in writing the Annals(春秋大義). They can be called to be forerunners of Cheoksawijeong Theory in the true sense of the word, for they lived to life as an ideal type of intellectual loyal to tao(道). Lee Hang-ro(이항로) was a scholar who initiated to assert the ideology of Cheoksawijeong. He asserted to defend Confucian learning and Chosun Dynasty by rejecting western learning and by repulsing western invasion. His students for his doctrine also joined in the movement against western learning and western and Japanese invasion for over half centuries. Why did they dare to resist the wrong at the risk of their death? (Jeong Mong-ju, Jo Gwang-jo, Song Si-yol and Choi Ik-hyon(최익현), Lee"s famous student really were killed or died resulting from their cause). As for me in short, their religiously ideological faith made them to prepare for death to defend Confucian orthodoxy from heresy for Confucian Moral State.

Timestamp를 이용한 AODV 라우팅 알고리즘의 성능 개선

이재석,박혜련,이기현,석정봉,Lee Jae-Suk,Park Hae-Ryeon,Lee Kee-Hyun,Suk Jung-Bong 한국통신학회 2006 韓國通信學會論文誌 Vol.31 No.8A

RFC3561로 공식 승인된 현재의 AODV 라우팅 방식은 노드 간 패킷 전달시간으로 40ms의 고정 값으로 설정되어 있다. 이 값과 TTL 값을 이용하여 RREQ 메시지가 목적 노드에 도착 한 후, RREP 메시지가 소스 노드에 되돌아오는 시간을 계산하게 되는데, 여기서 고정된 값을 사용하기 때문에 망의 효율이 저하되는 문제가 발생한다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 개선하기 위하여 현재의 AODV 방식에서 RREQ 메시지에 timestamp 필드를 설정하여 패킷 발생 시간을 기록하여 전송하고, 이것을 받은 노드는 현재 시간과 패킷 내 timestamp 값을 이용하여 노드간의 패킷 전송시간을 망의 트래픽 상황에 따라 동적으로 계산하는 방식을 제안한다. 제안 방식의 정당성을 입증하기 위해, 제안 방식을 현재 방식과 함께 컴퓨터 모의실험을 수행하였으며, 그 결과 제안방식이 현재 방식보다, 특히 노드 이동성과 트래픽 부하가 클 경우, 우수한 성능을 나타냄을 증명하였다. One of the seminal operation parameters of AODV is the node-to-node travel time of data, which is currently set to fixed value of 40 ms in the RFC3561 and widely used to compute other parameters such as the expected round-trip time of the connection setup message, etc. We have naturally thought the network performance could be improved by dynamically varying the node-to-node travel time with respect to the traffic condition in the networt rather than using the fixed value, which motivates this work. To this end, we apply the idea of using timestamp; every node places the current time in the message before sending it out, and the receiver node computes the node travel time based on the moving average algorithm by considering not only the current value but also the previous ones in an accumulated and exponentially decreasing fashion with time. We evaluate the performance of the proposed scheme in respect of the number of RREQ messages generated, throughput, and delay as a function of traffic load and node mobility, and compare the result with the original AODV scheme. The results show that the proposed scheme presents noticeable performance improvements, expecially under the condition of high node mobility and high traffic load.

제501 오룡호 침몰사고 원인분석을 위한 침수·침몰 시뮬레이션 연구

이재석,정현섭,오재호,이상갑,Lee, Jae-Seok,Jung, Hyun-Sub,Oh, Jai-Ho,Lee, Sang-Gab 한국항해항만학회 2017 한국항해항만학회지 Vol.41 No.6

원양어선 제501 오룡호는 황천 중인 베링해에서 조업 후 피항하던 중 개구부를 통한 침수로 인하여 침몰하였으며 많은 선원들이 사망하고 실종되었다. 본 연구에서는 유체-구조 연성(Fluid-Structure Interaction, FSI) 해석기법의 고도 정밀 M&S(highly advanced Modeling & Simulation) 시스템을 사용하여 실선 침수 침몰 시뮬레이션을 수행하여 침몰사고의 과정을 정확하고 과학적으로 분석하고자 하였다. 베링해 침몰사고 시의 기상 및 해상상태를 객관적으로 확보하기 위하여 침몰사고 지역의 시간대별 기상 및 해상 시뮬레이션을 수행하여 침몰사고 당시 파랑과 강풍 등을 분석하고, 불규칙 파랑과 강풍 스펙트럼을 사용하여 구현하였다. 사고선박의 선체 도면 등을 통하여 선박의 선형, 배치 및 중량 분포와 외부 해수 침수 개구부 및 선내 침수 경로를 분석하고 주요 탱크들의 용적과 그들의 중량 분포를 추정하여 침수 침몰 시뮬레이션을 위한 시나리오를 작성하고, 사고선박의 전선과 유체(공기 및 해수)를 상세 모델링을 하였다. 본 연구를 통하여 침수 침몰사고는 단순한 복원성의 부족으로 인한 일반적인 전복 침몰사고와는 다소 차이가 있다는 것도 확인할 수 있었다. Deep-sea fishing vessel No. 501 Oryong was fully flooded through its openings and sunk to the bottom of the sea due to the very rough sea weather on the way of evasion after a fishing operation in the Bearing Sea. As a result, many crew members died and/or were missing. In this study, a full-scale ship flooding sinking simulation was conducted, and the sinking process was analyzed for the precise and scientific investigation of the sinking accident using highly advanced Modeling & Simulation (M&S) system of Fluid-Structure Interaction (FSI) analysis technique. To objectively secure the weather and sea states during the sinking accident in the Bering Sea, time-based wind and wave simulation at the region of the sinking accident was carried out and analyzed, and the weather and sea states were realized by simulating the irregular strong wave and wind spectrums. Simulation scenarios were developed and full-scale ship and fluid (air & seawater) modeling was performed for the flooding sinking simulation, by investigating the hull form, structural arrangement & weight distribution, and exterior inflow openings and interior flooding paths through its drawings, and by estimating the main tank capacities and their loading status. It was confirmed that the flooding and sinking accident was slightly different from a general capsize and sinking accident according to the simple loss of stability.

창업교육과 창업의지의 관계: 기업가 지향성과 환경적 요인의 조절효과

이재석,이상명,Lee, Jae-Seok,Lee, Sang-Myung 한국벤처창업학회 2015 벤처창업연구 Vol.10 No.3

본 연구는 대학에서의 창업교육이 잠재적 창업가인 대학(원)생들의 창업의지에 미치는 영향을 실증을 통해 확인하였다. 지금까지 많은 연구들의 시도에도 불구하고 창업교육의 효과, 특히 창업교육과 창업의지의 관계에 대한 연구는 여전히 상반된 결과를 보이며 이들의 관계를 명확히 밝히지 못하고 있다. 또한 창업교육과 창업의지의 관계의 조절요인에 대한 연구도 인구통계학적 특성, 자기효능감 등을 확인하는 연구는 수행되었으나 개인의 심리적 특성을 대변하는 기업가 지향성은 주로 영향요인으로만 파악되었을 뿐 조절효과를 검증한 연구는 시도되지 않았다. 본 연구는 창업교육이 창업의지에 미치는 영향을 확인하고, 창업교육과 창업의지의 관계를 조절하는 새로운 요인을 밝히고자 다음과 같은 주요 연구 질문을 제시한다. 첫째, 창업교육 수강 여부는 창업의지에서 차이를 나타내는지, 둘째, 창업교육과 창업의지는 긍정적인 관계가 존재하는지, 마지막으로 기업가 지향성 및 환경적 요인은 창업교육과 창업의지의 관계를 조절하는지 그 조절효과를 검증하고자 한다. 본 연구의 연구모형을 검증하기 위해 서울대, 한양대, KAIST의 이공계 대학(원)생 265명이 응답한 설문을 독립표본 T-test 및 위계적 회귀분석으로 분석하였다. 분석 결과, 창업교육을 수강한 학생들의 창업의지가 더 높았고, 창업교육은 창업의지에 긍정적인 영향을 미쳐 창업의지가 높아지는 것으로 나타났으며, 기업가 지향성 중 혁신성, 위험감수성 및 진취성과 환경적 요인 중 기업가적 가정환경의 유의미한 조절효과를 확인하여 혁신성과 진취성이 높을수록 창업교육의 창업의지에 대한 영향력이 더 커지는 반면, 위험감수성이 높을수록, 그리고 기업가적 가정환경이 존재할 때 창업교육의 창업의지에 대한 영향력은 감소하는 것이 확인되었다. This study attempts to empirically examine the influence of entrepreneurial education in university on entrepreneurial intentions of undergraduate and graduate students as potential entrepreneur and new moderating factors on the relationship between entrepreneurial education and entrepreneurial intentions. We suggested EO(innovativeness, risk-taking propensity, proactiveness and locus of control) and environmental factors(entrepreneurial family background and resource accessibility) as new moderating factors in the relationship. For this study, the following research questions are raised : First, is there a significant difference in entrepreneurial intentions of enrolled and unenrolled students in entrepreneurial education? Second, does entrepreneurial education affect entrepreneurial intentions positively? Finally, do EO and environmental factors have moderating effects in the relationship between entrepreneurial education and entrepreneurial intentions? In order to test our research model, the current study collected data from 265 undergraduate and graduate students who are majoring in natural sciences or engineering in Seoul National Univ., Hanyang Univ., and KAIST. To investigate our research questions and hypotheses, independent-sample T-test and hierarchical regression analysis were employed. The results of empirical analysis revealed that entrepreneurial education positively related to entrepreneurial intentions and that the relationship between entrepreneurial education and entrepreneurial intentions moderated by EO and environmental factors. First, the result showed the significant difference in entrepreneurial intentions between enrolled and unenrolled students in entrepreneurial education. Entrepreneurial intentions of students who enrolled entrepreneurial education was higher than others. Second, entrepreneurial education affected the entrepreneurial intentions positively. Finally, the moderating effects of innovativeness, risk-taking propensity, proactiveness and entrepreneurial family background among investigated six moderators were significant. entrepreneurial education-entrepreneurial intentions relationship was even stronger under high innovativeness and high proactiveness. But risk-taking propensity and entrepreneurial family background decreased the effect of entrepreneurial education on entrepreneurial intentions.

겨울철 냉기를 이용한 벼의 저온저장(I) - 벼 냉각 후 저장특성 -

이재석,한충수,함택모,연광석,Lee J. S.,Han C. S.,Ham T. M.,Yon K. S. 한국농업기계학회 2005 바이오시스템공학 Vol.30 No.3

The objective of this research was to establish a domestically available cooling storage technique by cold-air in winter, using winter cool air ventilation fur determining rough rice cooling method in the storage and dry bin. The rough rice storage characteristics of two test conditions, winter cool-air ventilation storage and ambient temperature storage, were evaluated from January to July 2001, using a storage and dry bin of 300-ton capacity. Results of this research are as follows: Grain temperature was from $-5.1\~-8.5^{\circ}C$ after winter cool-air ventilation, and grain initial temperature for ambient temperature bin storage was $0.3\~1.9^{\circ}C$. Moisture content of rough rice decreased from $0.28\;to\;0.93\%$ and from $1.53\;to\;1.92\%$ to compare with original moisture contents for winter cool-air ventilation, and for ambient temperature bin storage, respectively. Broken ratio of brown rice from winter cool-air ventilation bin increased from $0.16\;to\; 0.92\%$, and brown rice broken ratio was from $2.24\;to\;2.86\%$ for ambient temperature bin storage to compare with initial broken ratio. Hardness of stored rice increased along storage period increase in alt storage methods, and cooling bin storage increased rice hardness of 0.271kgf: this increasing was lower then the other methods from 0.059 to 2.239kgf. Germination rates were decreased approximately 9.03, 3.14 and $3.20\%$ for upper, middle, and bottom of ventilating winter air bin, respectively, and germination rates of 2.70, 3.47 and $4.14\%$ were approximately decreased for upper, middle, and bottom parts of ambient temperature bin storage, respectively.

불임남성에서 방향화효소 억제제의 치료 효과

이재석,한거름,박용석,서주태,Lee, Jae-Seok,Han, Keo-Reum,Park, Young-Seog,Seo, Ju-Tae 대한생식의학회 2003 Clinical and Experimental Reproductive Medicine Vol.30 No.2

Objective: We investigated whether serum testosterone to estradiol ratio was decreased in infertile men and whether this condition can be corrected with oral aromatase inhibitor. Method: The serum testosterone to estradiol ratio of 26 men with testicular failure were compared with those of normal semen analysis parameter, 89 control reference group. All of 26 testicular failure group were diagnosed with the previous testicular biopsy. Then 46 men with oligospermia and/or asthenospermia were selected and treated with 1 mg of the aromatase inhibitor anastrozole ($Arimidex^{(R)}$) orally once daily for 3 months. Testosterone to estradiol ratio and semen analyses were evaluated during anastrozole therapy. Results: The testosterone level of testicular failure group was significantly lower and the testosterone to estradiol ratio was more decreased than normal semen parameter group. Forty six on-anastrozole group had significantly lower testosterone (4.6 versus 5.7 ng/ml, p<0.01) and higher estradiol (15.9 versus 23.4 pg/ml, p<0.01) than pre-anastrozole group, resulting in a decreased testosterone to estradiol ratio ($0.21{\pm}0.07$ versus $0.39{\pm}0.15$, p<0.01). Semen analyses before and during anastrozole treatment revealed significant increases in sperm count (35.5 versus 52.2 million sperm per ml, p<0.01) and motility (22.9% versus 29.3%, p<0.01). Conclusions: We identified infertile men with testicular failure had hormonal changes characterized by a decreased serum testosterone to estradiol ratio. The ratio can be corrected with aromatase inhibitor, resulting in a significant improvement in semen parameters.

2019년 경북 상주 지역 환경별 참진드기 분포 조사 및 중증열성혈소판감소증후군 바이러스 검출

이재석,문경환,김영호,박예은,전지향,김채원,박시은,우지현,정여진,엄종원,이욱교,김영호,Lee, JaeSeok,Moon, KyungHwan,Kim, YeongHo,Park, Ye eun,Jeon, Ji Hyang,Kim, Chae Won,Park, Sean,Woo, Ji Hyeon,Jeong, Yeo Jin,Eom, Jong Won,Lee, Wook-Gyo 한국응용곤충학회 2020 한국응용곤충학회지 Vol.59 No.3

Ixodidae에 속하는 일부 참진드기들은 중증열성혈소판감소증후군(severe fever with thrombocytopenia syndrome; SFTS)을 비롯한 질병을 매개하는 공중보건학적으로 중요한 해충이다. 우리나라에서는 2013년 이후로 SFTS 환자 발생수가 지속적으로 증가하는 경향을 보이며, 경상북도는 전국적으로 2번째로 많은 SFTS 환자가 발생하는 지역이다. 본 연구에서는 2019년 경북 상주 지역의 진드기 분포를 조사하기 위해 시민의 생활 반경 주변을 도심 녹지지역, 관리 취약지역 및 농촌지역으로 구별하여 flagging 방법을 통해 진드기를 채집하였고, 채집 진드기내 SFTS 바이러스 보균 여부를 조사하였다. 채집된 진드기 수를 Collection Index (CI = tick number / 1h / 2 people)로 산출한 결과, 상주시 내 총 26개 지점에서 작은소피참진드기와 개피참진드기, 일본참진드기를 포함하는 총 CI 143의 진드기가 채집되었고, 그 중 작은소피참진드기가 96.5%(CI 138)로 우점종으로 확인되었다. 채집된 진드기의 약 92%(131 CI)는 인적이 드물고 시청이나 관계 당국의 관리가 이루어지지 않는 관리 취약지역에서 채집되었으나, 도심의 녹지지역와 농촌 지역에서는 8.4%(CI 12)의 진드기만 관찰되었다. 총 CI 143의 진드기를 26개 pooling 한 후 SFTS 바이러스 존재 여부를 조사하였으나, 모두 음성으로 확인되었다. 본 연구의 결과는 지역주민들로 하여금 진드기 매개 질병으로부터 안전한 생활을 하기 위한 권고 자료로 활용할 수 있을 것으로 기대된다. Several hard tick species in Ixodidae are medically important pests that transmit infectious disease including severe fever with thrombocytopenia syndrome (SFTS). In Korea, the number of SFTS patients continues to steadily increase since its first report in 2013, and Gyeongsangbuk-do (province) is the second most frequent area of SFTS patient occurrence. In order to investigate the distribution of ticks in Sangju city, we collected ticks using the flagging method from 26 sites comprising urban green area, vulnerable area of management, and rural area, and examined SFTS virus from the collected ticks in 2019. Based on Collection Index (CI = tick number / 1 h / 2 people), CI 143 ticks, including Haemaphysalis longicornis, Haemaphysalis flava, and Ixodes nipponensis, were collected; the most abundant species among the three tick species was H. longicornis (CI 138, 96.5%). Ninety two percent (CI 131) of ticks were collected in vulnerable area of management, where people cannot easily enter and are not managed by city hall, whereas only 8.4% (CI 12) were collected in the urban green area and rural area. Regarding SFTS virus detection, virus was not investigated from 26 pools containing CI 143 ticks. The results of this study are expected to be used as a recommendation for ensuring the safety of local residents from tick-borne diseases.

Micro Gas Sensor의 Membrane용 ${SiN}_{x}$막과 ${SiN}_{x}/\textrm{SiO}_{x}/{SiN}_{x}$막의 응력과 굴절율

이재석,신성모,박종완,Lee, Jae-Seok,Sin, Seong-Mo,Park, Jong-Wan 한국재료학회 1997 한국재료학회지 Vol.7 No.2

박막형 접촉연소식을 포함한 마이크로 가스센서에서 membrane은 Si식각시 식각정지용으로서 또 센서 소자를 지지하는 층으로서 응력이 없어야 하며 이는 응력이 membrane파괴의 주 원인으로 작용하기 때문이다. 이에 따라 본 연구에서는 증착조건이 low pressure chemical vapor deposition(LPCVD)법과 sputtering법으로 제작된 $SiN_{x}$과 $SiN_{x}/SiO_{x}/(NON)$막의 응력고 굴절율 변화에 미치는 효과에 대한 실험을 행하였다. LPCVD의 경우 단일막인 $SiN_{x}$의 압축응력 및 굴절율을 나타내었다. Sputtering의 경우 $SiN_{x}$는 공정압력이 1mtorr에서 30torr까지 증가할수록 인가전력밀도가 $2.74W/cm^2$에서 $1.10W/cm^2$으로 감소할수록 응력값은 압축에서 인장으로 전환되었으며 본 실험에서 응력이 가장 낮게 나온 시편의경우 압축응력으로 $1.2{\times}10^{9}dyne/cm^2$가 공정압력 10mtorr, 인가전력밀도 $1.37W/cm^2$에서 얻어졌다. 굴절율은 공정압력이 1motorr에서 30motorr까지 증가할수혹 인가전력밀도가 $2.74W/cm^2$에서 $1.10W/cm^2$으로 감소할수록 감소하여 2.05에서 1.89의 변화를 보였다. LPCVD와 sputtering으로 증착된 막들은 모두 온도가 증가함에 따라 응력이 감소하였으며 온도감소시 소성적인 특성을 나타내었다. Micro gas sensors including thin film catal) tic type require stress-free memhrancs for etch stop of Si anisotropic etching and sublayer of sensing elements hecause stress is one of the main factors affecting breakdown of thin membranes. This paper reports the effects of deposition conditions on stress and refractive index of $SiN_{x}/SiO_{x}/(NON)$ films deposited by low pressure c11ernic;rl vapor deposition(L, t'CVI)) 2nd reactve sputtering. In the case of I.PCVI1, the stresses of $SiN_{x}$ and NON films arc $7.6{\times}10^{8}dyne/cm^2$ and $3.3{\times}10^{8}dyne/cm^2$, respectibely, and the refractive indices are 3.05 and 152, respectively. In the cxse oi the sputtered SiN, , compressi\e stress decreased in magnitude and then turned to tensility as increasing proc, ess pressure by lmtorr to 30mtorr and cicreasmg applied power density by $2.74W/cm^2$ to $1.10W/cm^2$. The hest value of film stress obt;~ined under condition of lOmtorr and $1.37W/cm^2$ in this' experiment was $1.2{\times}10^{9}dyne/cm^2$ cnnipressive. The refr~ict~ve index decreased from 2 05 to 1 89 as decreasing applied power density by lnitorr to 3Orntorr and increasing process pressure hy $2.74W/cm^2$ to $1.10W/cm^2$. Stresses of films deposited by both LPCVL) and sputtering decreased as incre;lsing temperature and showed plastic behavior as decreasing temperature.