Stress-Strain curve를 이용한 W-C-N 확산방지막 물성 특성 연구

이규영,김수인,박상재,이동관,정용록,정준,이종림,이창우,Lee, Kyu-Young,Kim, Soo-In,Park, Sang-Jae,Lee, Dong-Kwan,Jeong, Yong-Rok,Jung, Jun,Lee, Jong-Rim,Lee, Chang-Woo 한국진공학회 2011 Applied Science and Convergence Technology Vol.20 No.4

본 연구에서는 W (Tungsten)를 주 구성 물질로 불순물 C (Carbon)과 N (Nitrogen)을 첨가한 W-C-N 확산방지막 시편을 제조하였고, $N_2$가스의 유량을 변화시키면서 확산방지막을 제조하여 각각의 시료에 대하여 $600^{\circ}C$열처리를 하였다. 실험 결과 질소유량의 변화에 따라 시편의 탄소성 구간층의 물성 변화율이 시편의 탄성구간보다 큰 것을 알아냈다. 이는 질소 가스의 유량 변화가 시편의 탄소성 구간에 더욱 직접적으로 연관이 되었다는 것을 알 수 있었다. 각 시료는 16회 연속 압입 실험을 실시하여 Stress-strain curve를 통하여 질소 가스의 유량이 2 sccm인 박막의 분산이 적음을 알아냈고, 연속압입을 통하여 얻어진 상항복점의 표준 편차 역시 질소 가스의 유량이 2 sccm인 박막이 가장 적다는 것을 알 수 있었다. Stress-strain curve 분산과 상항복점의 Stress 값의 표준 편차의 크기로 부터 박막의 안정도를 예상할 수 있었으며, 이 결과로부터 W-C-N 박막은 질소 유량에 따라 박막의 안정도가 변화하는 것을 알았다. This paper suggest tungsten (W)-carbon (C)-nitrogen (N) thin films for diffusion barrier that W is main material and C and N are additives. W-C-N thin films are deposited with fixed rates of W and C but with a variation of $N_2$ gas flow and W-C-N thin films are heated at $600^{\circ}C$. From the experimental results, the variation of elastoplastic region for W-C-N thin film measured by tribological property is larger than that of elastic region with a variation of $N_2$ gas flow. These results show that the $N_2$ gas flow is more directly related with the elastoplastic region of W-C-N thin film. Nanoindenting test executed 16 times consecutively and we got the stress-strain curve graphs and hardness datas at each sample. Through the stress-strain curve graphs, the standard diviation of stress-strain curve for $N_2$ gas flow rate of 2.0 sccm is smaller than that of 0, 0.5, 1.5 sccm. Consequently, the physical stability of W-C-N thin film depends on the flow rate of $N_2$ gas.

UV 처리에 의한 T-OLED용 산화전극에 적합한 Ag 박막연구: Nano-Mechanics 특성 분석을 중심으로

이규영,김수인,김주영,권구은,강용욱,손지원,전진웅,김민철,이창우,Lee, Kyu Young,Kim, Soo In,Kim, Joo Young,Kwon, Ku Eun,Kang, Yong Wook,Son, Ji Won,Jeon, Jin Woong,Kim, Min Chul,Lee, Chang Woo 한국진공학회 2012 Applied Science and Convergence Technology Vol.21 No.6

Ag (silver)의 일함수는 T-OLED (Top Emission Organic Light Emitting Diode)의 전극소자로 사용하기에는 다소 낮다는 단점이 있다(~4.3 eV). 이러한 단점을 해결하기 위한 대안으로 Ag 박막의 표면을 플라즈마, UV, 열처리를 통하여 일함수를 높이는 연구가 진행되어 왔다(~5.0 eV). 하지만 현재의 대부분 연구는 후 처리된 박막의 일함수에 초점을 맞춰 연구가 진행되어, 박막의 mechanical property에 대한 연구는 매우 부족하며 이는 T-OLED의 효율과 수명 등의 연구에 매우 중요하다. 본 논문에서는 Ag와 $AgO_x$ 박막의 mechanical property에 초점을 맞춰 분석을 실시하였다. Ag는 유리기판 위에 rf-magnetron sputter를 이용하여 100 W의 power에서 150 nm 두께로 증착되었다. 증착된 박막은 UV 램프를 이용하여 다양한 시간동안 UV 처리되었다(0~9분). 본 논문에서는 처리된 박막의 면저항을 측정하고 nano indenter, Scanning Probe Microscopy의 Atomic Force Microscopy mode를 이용하여 mechanical property를 분석하였다. 실험 결과 UV 처리 시간이 3분을 넘어가는 시편과 3분 이내의 시편은 면저항값 및 경도 값에 큰 차이가 있었다. 이러한 결과는 Ag 박막의 후처리에 따른 Ag 물질의 산화 및 결합상태에 따라 박막 내에 존재하는 stress의 영향으로 예상되어진다. The work function of Ag (silver) is too low (~4.3 eV) to be used as an electrode of T-OLED (Top Emission Organic Light Emitting Diode). To solve this weakness, researches used plasma-, UV-, or thermal treatment on Ag films in order to increase the work function (~5.0 eV). So, most of studies have focused only on the work function of various treated Ag films, but studies focusing on nanomechanical properties were very important to investigate the efficiency and life time of T-OLED etc. In this paper, we focused on the mechanical properties of the Ag and $AgO_x$ film. The Ag was deposited on a glass substrate with the thickness of 150 nm by using rf-magnetron sputter with the power was fixed at 100 W and working pressure was 3 mTorr. The deposited Ag film was UV treated by UV lamp for several minutes (0~9 min). We measured the sheet resistance and mechanical property of the deposited film. From the experimental result, there were some differences of the sheet resistance and surface hardness of Ag thin film between short time (0~3 min) and long time UV treatment. These result presumed that the induced stress was taken place by the surface oxidation after UV treatment.

압입속도의 변화에 따른 탄성계수와 경도의 오차 연구

이규영,이찬빈,김수인,이창우,Lee, Kyu-Young,Lee, Chan-Bin,Kim, Soo-In,Lee, Chang-Woo 한국진공학회 2010 Applied Science and Convergence Technology Vol.19 No.5

나노 소재의 물성을 측정하기 위하여 대부분의 연구 그룹에서는 크게 두 가지 분석 기법인 분광학을 이용한 분석과 나노트라이볼로지를 이용한 분석을 사용하고 있다. 분광학을 이용한 분석에는 NMR (Nuclear Magnetic Resonance), IR (Infrared Spectroscopy), Raman 등이 대표적이라 할 수 있고, 나노트라이볼로지를 이용한 분석에는 AFM (Atomic Force Micro-Scope), EFM (Electrostatic Force Microscope), KFM (Kelvin Force Microscope), Nanoindenter 등의 탐침을 이용한 측정 기법이 대표적이다. Nanoindenter는 물질의 탄성 및 경도를 측정 할 수 있으며 이를 통해 물질의 특성을 연구 하는 데에 사용된다. 그러나 이런 Nanoindenter의 압입 실험에서 압입 조건 등의 통제 변수가 다르면 그 결과 값도 바뀌는 것을 볼 수 있는데 본 실험에서는 이런 압입 조건 중 Load - Hold - Unload force의 속도 및 시간을 변화시켜 물질의 탄성계수와 경도가 어떠한 차이를 가지는지 연구하였다. Most research groups used two analysis methods (spectroscopy and nanotribology) to measure the mechanical properties of nano-materials: NMR (Nuclear Magnetic Resonance), IR (Infrared Spectroscopy), Raman Spectroscopy as the spectroscopy method and AFM (Atomic Force MicroScope), EFM (Electrostatic Force Microscope), KFM (Kelvin Force Microscope), Nanoindenter as the nanotribological one. Among these, the nano-indentation technique particularly has been recognized as a powerful method to measure the elastic modulus and the hardness. However, this technique are prone to considerable measurement errors with pressure conditions during measurement. In this paper, we measured the change of elastic modulus and hardness of an Al single crystal with the change of load, hold, and unload time, respectively. We found that elastic modulus and hardness significantly depend on load, hold, and unload time, etc. As the indent time was shortened, the elastic modulus value decreased while the hardness value increased. In addition, we found that elastic modulus value was more sensitive to indent load, hold, and unload time than the hardness value. We speculate that measurement errors of the elastic modulus and the hardness originate from the residual stress during indenting test. From our results, the elastic modulus was more susceptible to the residual stress than the hardness. Thus, we find that the residual stress should be controlled for the minimum measurement errors during the indenting test.

약물유전체학과 정신분열병

이규영,정인원,Lee, Kyu Young,Chung, In Won 대한생물정신의학회 2001 생물정신의학 Vol.8 No.2

The pharmacotherapy of schizophrenia exhibits wide inter-individual variabilities in clinical efficacy and adverse effects. Recently, human genetic diversity has been known as one of the essential factors to the variation in human drug response. This suggests that drug therapy should be tailored to the genetic characteristics of the individual. Pharmacogenetics is the field of investigation that attempts to elucidate genetic basis of an individual's responses to pharmacotherapy, considering drug effects divided into two categories as pharmacokinetics and pharmacodynamics. The emerging field of pharmacogenomics, which focuses on genetic determinants of drug response at the level of the entire human genome, is important for development and prescription of safer and more effective individually tailored drugs and will aid in understanding how genetics influence drug response. In schizophrenia, pharmacogenetic studies have shown the role of genetic variants of the cytochrome P450 enzymes such as CYP2D6, CYP2C19, and CYP2A1 in the metabolism of antipsychotic drugs. At the level of drug targets, variants of the dopamine $D_2$, $D_3$ and $D_4$, and 5-$HT_{2A}$ and 5-$HT_{2C}$ receptors have been examined. The pharmacogenetic studies in schizophrenia presently shows controversial findings which may be related to the multiple involvement of genes with relatively small effects and to the lack of standardized phenotypes. For further development in the pharmacogenomics of schizophrenia, there would be required the extensive outcome measures and definitions, and the powerful new tools of genomics, proteomics and so on.

Silicone Index Tooth Tray를 이용한 인상체의 체적안정성에 대한 연구

이규영,정승미,심준성,최병갑,이근우,Lee Kyu-Young,Jeong Seung-Mi,Shim June-Sung,Choi Byung-Gap,Lee Keun-Woo 대한치과보철학회 2005 대한치과보철학회지 Vol.43 No.5

Statement of problem: Silicone Index Tooth Tray impression system which does not use gingicord has a shortcoming. It takes time to remove internal wall of Silicone Index Tooth Tray for space of wash impression material. Purpose: This study was to evaluate whether providing certain space to impression body can prevent from doing complicated laboratory work. Material and methods: After mounting metal dies with shoulder and chamfer margins arbiturarily, SITT was produced using $Blu-mousse^(R)$. In one experimental group, wash impression was taken using $Fit-tester^(R)$ without removing interior surface of SITT and in the other group, wash impression was taken using $Fit-tester^(R)$ providing 0.5mm space in the SITT and then compared the differences in two groups. Results: 1. There was no significant difference between a group which did not allow space and a group which granted equal 0.5mm space. 2. There was no significant difference between gingival diameter, occlusal diameter of metal die that has shoulder margin and gingival diameter, occlusal diameter of metal die that has chamfer margin. 3. There was no significant difference between a group which did not take pick-up impression and a group which took pick-up impression through relining method using SITT 4. There was no significant difference between a group that poured immediately after taking primary impression and a group that poured after removing poured stone die. Conclusions: When taking an impression of an abutment using SITT impression system, it is considered to obtain clinically identical results between a group that did not grant a 0.5mm space within SITT for wash impression and a group which invest a space. Furthermore, it is considered possible to produce an individual die through secondary pouring.

활택방법에 따른 도재표면의 거칠기 비교

이규영,이청희,조광헌,Lee, Kyu-Young,Lee, Chung-Hee,Jo, Kwang-Hun 대한치과보철학회 1998 대한치과보철학회지 Vol.36 No.3

This study was designed to compare the smoothness by glazing method with that by polishing method after 48 specimens of Ceramco II block, one of porcelain materials used for PFM, were baked according to the manufacturer's directions. The specimens were roughened with new green stone at 15,000rpm for 30 seconds and sandblasted with $25{\mu}$aluminum oxide for 15 seconds. They were divided into 4 groups at random, and 4 groups were prepared as follows : Group I : specimens were autoglazed and overpolished with polishing system. Group II : specimens were polished with only polishing system. Group III : specimens were glazed after adding glazing liquid, vitachrom 'L'-fluid (vita zahnfabrik co. Germany) to the rough surface Group V : specimens were just autoglazed Using the surface roughness tester, Ra, Rmax. and Rz were estimated 5 times per specimen, and recording process of mean value was repeated 3 times. The results were as follows : 1. The Ra of group I and group II was lower than group III and group IV (p<001). 2. There was lower value of Rz in group I and group II than group III and group IV (p<001). 3. The Rmax of group I (overpolished with polishing system after autoglazing) and group II (polished with only polishing system) was lower than group III (glazed after adding glazing liquid) and group IV (autoglazed) (p<001). 4. There was not a statistically significant difference between group I and II and between group III and IV (p>001). 5. The roughness was increase in order of group I, II, III, IV in SEM

Recognition and Change of National Identity among North Korean Defectors

Kyu Young LEE(이규영) 한국정치정보학회 2020 정치정보연구 Vol.23 No.2

향후 한반도 통일은 제도통일보다 정치적·가치적 통합을 기반으로 하는 사회통합을 지향해야 한다. 체제통합이 경제관계, 권력구조 및 제도들의 통일이라면, 사회통합은 물리적·체제적 통합을 의미하지 않고 주민들간 심리적 일체감 구축을 의미한다. 나아가 사회통합은 시스템간의 체제문제가 아니라 사람들 간에 동질성을 구축하는 문제로 귀착된다. 이러한 관점에서 북한이탈주민의 정체성 인식과 변화 연구는 중요한 학문적 함의를 제시한다. 북한이탈주민은 국경을 넘는 순간부터 정체성의 혼란을 겪게 된다. 이는 북한 내에서 형성되었던 정체성과 현 상태의 신분에서 야기되는 불일치로 비롯된다. 탈북과정에서 ‘난민이나 실향민 의식’ 혹은 ‘유랑민 의식’을 갖게 되고, 한국에 입국하는 과정에서 겪는 수많은 환경적 요인과 어려움들이 이들의 정체성 형성에 커다란 영향을 미치는 중요한 과정이다. 한국에 입국하면서 북한이탈주민은 새로운 정체성을 정립해야 하는 상황에 직면한다. 북한이탈주민의 정체성 유형은 ‘고향이 북한인 한국사람,’ ‘북한출신 한국국적자,’ ‘탈북한 한국 국적자,’ ‘탈국가적 개인주의자’ 등으로 구분된다. 향후 이들의 정체성은 심리적 일체감을 구축하면서, 단일정체성으로 나아가야 하는 과제를 안고 있다. Korean reunification should be oriented on social integration based on emotions and values rather than on institutional reunification. Systemic integration means the integration of economic relations, power structure, and institutions. Social integration symbolizes psychological unity among the inhabitants, not physical and systemic integration. It is not a matter of system between systems, rather it is the responsibility of forming homogeneity among the people. From the moment North Korean defectors cross the border, they experience chaos in defining their national identity. This is due to the discrepancy between the identity they had in North Korea and their current status. They face the need to establish a new national identity upon entering South Korea. There are four types of national identity among North Korean defectors who have entered South Korea: They are categorized as ‘South Koreans whose hometown is North Korea,’ ‘South Korean nationals from North Korea,’ ‘South Korean nationals who escaped from the North,’ and ‘individualists who escaped from their country.’

통일 이후 독일 외교정책의 변화 : 패권국가 가능성을 중심으로

이규영(Lee Kyu-Young) 한국정치정보학회 2011 정치정보연구 Vol.14 No.1

냉전기간중 독일은 ‘경제대국이면서 정치적 소국’으로 인식되었으나, 통일 이후 독.은 ‘경제강국이자 정치대국’으로 바뀌었다. 통일 이전에 비해 통일 이후 독일 외교정책은 내적 안정성과 외적 역동성을 포함하면서 복합적이고 중층적 자신감을 보이고 있다. 이에 따라 주변국들은 독일의 향후 행보에 대한 의구심을 품게 되고, 점차 세력을 강화하려는 시도로 보는 경향도 있다. 즉 통일 이후 독일이 보다 독자적이고 민족주의적 색채를 띠는 정책으로 전환하려는 것이 아닌가라고 우려한다. 보기에 따라서 통일을 전후하여 독일 외교정책이 변화되었다고 인식할 수 있는 정황들이 여러 가지로 나타나고 있다. 통일 이후 독일의 안보환경 역시 크게 바뀌었다. 독일의 입장은 ‘안보수입국’에서 ‘안보 수출국’으로 바뀌었다. 독일 통일로 말미암아 향후 독일을 유럽대륙과 국제정치상 잠재적 패권국가로 보는 인식은 부인할 수 없다. 독일이 유럽에서 잠재적 지배국가 또는 패권국가로 변할 수 있다고 간주되는 이유는 대표적으로 독일을 둘러싼 인접국가들에게 여전히 남아있고 쉽사리 지워지기 어려운 과거의 만행과 끔찍한 경험 때문이다. 그러나 적어도 지난 20년을 토대로 판단하건대 잠재적 패권국가로 향하는 구체적 변화 증거는 아직 찾아보기 힘들다. 독일은 앞으로 유럽대륙에서 과거의 ‘패권국가’로 부활하기보다 자국의 주장을 자제하면서 표현하려는 이른바 ‘점잖은 강대국’(a gentle Giant)으로 발전할 가능성이 높다. 패권국가로 발전하기에는 대내 · 적대외적 제도적 제한이 여전히 많기 때문이다. During the Cold War, Germany was recognized as an ‘economically big and politically tiny country’. But after the reunification, this view turned into ‘economically and politically powerful country’. Compared to the past, the unified Germany’s foreign policy after reunification is showing complex and multi-layered confidence including internal and external dynamics. Henceforth, the neighboring countries of Germany are bearing doubts about Germany’s future course, which seems to be an increasing attempt to strengthen the forces around. They worry whether Germany is taking more independent and nationalistic policies since the reunification. In a way, the various circumstances of changes in foreign policy appears before and after the reunification. After reunification, Germany’s security environment has changed dramatically, too. Germany’s position turned from ‘security importer’ to ‘security exporter’. Through the reunification, the recognition of future German hegemony as the potential endangerment in European continent and world politics can not be denied. It is because the past atrocities and horrific experience the neighboring countries had still remains today. But judging based on the past 20 years at least, the evidence of concrete changes of Germany towards a potential hegemon is still difficult to find. In continental Europe, the future of the Germany is likely to be ‘a gentle Giant’ refraining herself from claiming to be represented rather than reviving as a ‘hegemony’ like in the past, because to be developed as a hegemon, there are still many institutional constraints both internally and externally.

The Retrieval of Ethics and Trust in Contemporary Politics of Korea: Finding their Roots in Traditional Korean Ideology

이규영(Kyu Young LEE, 李奎榮) 신아시아연구소(구 신아세아질서연구회) 2014 신아세아 Vol.21 No.2

인간사회에서 '정치'현상은 결코 배제될 수 없는 필수적이고 당연한 현상이다. 인간사회가 긍정적이든 부정적이든 발전과 변화를 시도하고 경험하는 과정에서 정치의 역할이 가장 핵심적인 까닭이다. 한국 정치에 대한 낮은 신뢰도는 분명히 어제와 오늘에 형성되지 않았다. 한국 국민들의 정치와 정치체제에 대한 불신, 대표적으로 정파와 특정 집단과 보스를 중심으로 한 대립과 갈등은 시급해 해결되어야 할 과제이다. 낮은 신뢰와 높은 불신은 정책의 타당성이나 국정운영의 효율성 제고로만 해결될 수 없다. 정책과 국정운영 방식은 시대의 흐름과 환경의 변화에 따라 계속 새로운 모습으로 거듭나야 하기 때문이다. 한국정치에 대한 신뢰를 끌어올리기 위하여 보다 본질적 접근이 요청된다. 한국정치가 국민들로부터 신뢰를 회복하는 방안은 정치체제의 효율성을 제고하거나, 국민들의 일차적 관심사인 복지증진문제, 맑고 투명한 정책결정과정과 결과 제고, 양당제로부터 진보정당의 재도약 또는 재구성을 통한 국민관심의 제고 등 여러 가지로 모색될 수 있다. 그러나 근본적으로 한국 정치체제와 제반 정치행위에 대한 신뢰는 윤리적 차원에서 개선되어야 한다. 윤리적 차원에서 신뢰회복시도는 단기간에 긍정적 효과로 이어지기 어렵지만, 완급을 조절하면서 국민들의 마음을 얻을 수 있다면 가장 현실적 대안이 될 수 있다. Politics' can never be excluded from human society because politics plays the most essential role in development and the transition process regardless of whether that role is positive or negative. The Korean public distrusts politics and the political system, but this low trust is not a recent phenomenon. Confrontations and conflicts based on particular groups and political factions must be urgently addressed and solved. Low credibility and high distrust cannot be fixed with proper policies and improving the efficiency of government administration. National policy and government administration need to be continuously adjusted to fit the environment and changing trends. To increase the level of trust in Korean politics, a fundamental approach is required. There are several ways to restore public trust in Korean politics, such as improving the efficiency of the political system or addressing welfare issues, the primary concerns of the people, along with creating a clear and transparent decision-making process, and reforming or restructuring the current two-party system. Fundamentally, however, the restoration of trust in the Korean political system requires ethical behavior. Restoring trust by improving ethics will be difficult to achieve in a short period of time; it is the most realistic alternative over time, however.

독일연방주의와 지방자치

이규영(Young Lee Kyu) 한국유럽학회 2002 유럽연구 Vol.16 No.-