http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
단결정 AlN의 미세구조 분석 및 어닐링 공정이 결정성에 미치는 영향
김정운,배시영,정성민,강승민,강성,김철진,Kim, Jeoung Woon,Bae, Si-Young,Jeong, Seong-Min,Kang, Seung-Min,Kang, Sung,Kim, Cheol-Jin 한국결정성장학회 2018 한국결정성장학회지 Vol.28 No.4
PVT(Physical vapor transport)법은 고품질의 대면적 웨이퍼를 생산하기에 이점을 가져 질화물계 반도체의 상용화를 위해 많은 연구가 진행되고 있는 단결정 성장 방법이다. 하지만 복잡한 공정 변수들로 인하여 비평형적인 성장 조건을 갖게 될 경우 수많은 결함들이 발생하게 된다. 결정성장 후 어닐링 공정은 결정성 개선을 위해 널리 사용된다. 효과적인 결정성 개선을 위해서는 적절한 온도, 압력과 시간을 설정하는 게 중요하다. 본 연구에서는 PVT법으로 성장된 AlN 단결정 및 어닐링 조건에 따른 단결정의 결정 미세구조 변화를 X-ray topography, Electron Backscattered Diffraction(EBSD), Rietveld refinement를 통해 분석하였다. Synchrotron Whitebeam X-ray topography 분석 결과 어닐링을 진행하지 않은 단결정에 2차상 및 sub grain, impurity가 존재하였으며 이로 인해 결정성이 저하되는 것을 확인 할 수 있었다. EBSD 결과 어닐링을 진행한 시편의 경우 결정립수가 증가함과 동시에 basal plane의 뒤틀림이 일어나는 것을 관찰할 수 있었다. Rietveld refinement 결과 일부 격자들이 a, b, c축 방향으로 응력을 받아 변형된 것으로 분석되었다. 이는 어닐링 과정 중 hot zone 내의 상하 온도구배에 의해 발생한 응력으로 결정립 방향의 뒤틀림이 일어날 뿐만 아니라 격자 상수가 달라진 것으로 분석된다. PVT (Physical Vapor Transport) method has advantages in producing high quality, large scale wafers where many researches are being carried out to commercialize nitride semiconductors. However, complex process variables cause various defects when it had non-equilibrium growth conditions. Annealing process after crystal growth has been widely used to enhance the crystallinity. It is important to set appropriate temperature, pressure, and annealing time to improve crystallinity effectively. In this study, the effect of the annealing conditions on the crystalline structure variation of the AlN single crystal grown by PVT method was investigated with synchrotron whitebeam X-ray topography, electron backscattered diffraction (EBSD), and Rietveld refinement. X-ray topography analysis showed secondary phases, sub-grains, impurities including carbon inclusion in the single crystal before annealing. EBSD analyses identified that sub-grains with slightly tilted basal plane appeared and the overall number of grains increased after the annealing process. Rietveld refinement showed that the stress caused by the temperature gradient during the annealing process between top and bottom in the hot zone not only causes distortion of grains but also changes the lattice constant.
허진성 ( Jin-sung Huh ),김정운 ( Jeong-woon Kim ),이경태 ( Kyoung-tae Lee ),이오규 ( Oh-gyu Lee ),이수연 ( Su-yeon Lee ) 한국목재공학회 2019 한국목재공학회 학술발표논문집 Vol.2019 No.2
신나무는 단풍나무과에 속하는 소교목으로 주로 일본, 중국, 한국 등 아시아에 분포하는 수종으로 알려져 있다. 그 용도를 살펴보면 염료 재료, 가구재 등으로 사용되어 왔으며 약초도감 등의 고문헌을 살펴보면 목부로부터 수액을 뽑아 섭취하였다는 근거가 존재한다. 또한 조선 삼림식물도설에 의하면 국내 일부지방에서 신나무를 고로쇠나무라 칭하였다는 고문헌 자료도 확인 할 수 있어 고로쇠나무와 함께 수액 생산 가능 자원으로 거론되고 있다. 하지만 근래 들어 신나무로부터 생산되는 수액 연구 결과는 미비한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 신나무 이용 가능성 확대를 위해 단기간 생산되는 수액의 출수량, 당, 무기원소 함량을 분석하였다. 연구 수행은 강원도 원주시 신나무 자생 군락지에 분포하고 있는 8개의 개체를 대상으로 하였으며 조사목의 평균 직경은 30 cm 이상으로 대경목에 해당되었다. 출수량 조사는 강원도 원주시의 기온 조건을 고려하여 2월 28일부터 03월 18일까지 약 20일 가량 수행하였다. 조사기간 8개의 조사목으로부터 출수된 전체 수액량은 249.6ℓ로 확인되었으며 개체당 총 26.1 ~ 52.5ℓ의 수액이 출수되는 결과를 보였다. 천공을 실시한 후 약 10일이 지난 3월 12일부터 출수량은 점차 감소되는 경향을 보였는데 이는 기온인자의 영향 때문이라고 판단된다. 출수된 수액은 바로 0.45 um 투과막 필터로 여과한 뒤 Bio-LC를 이용하여 당 분석을 실시하였다. 수액에는 자당(Sucrose)이 주성분으로 알려져 있는데 함량을 측정한 결과 출수 초기 최고 3.1%까지 관찰되었다. 이는 일반 고로쇠나무 수액 자당함량이 평균 2% 부근의 결과를 보인 것에 비해 다소 높은 함량으로 수액 생산 가능성을 확인 할 수 있었다. 현재 유도결합 플라즈마 질량분석기를 이용하여 수액 내 무기원소 함량도 측정 중에 있다.
고효은(Ko, Hyo-Eun),김정운(Kim, Jeong-Woon),김희동(Kim, Hee-Dong),장연식(Jang, Yeon-Sik),정현애(Chung, Hyun-Ae) 한국산학기술학회 2013 한국산학기술학회논문지 Vol.14 No.1
본 연구는 지역사회 노인을 대상으로 국내에서 사용되는 인지기능 검사인 LOTCA-G 및 MMSE-K와 MoCA-K와의 상관관계를 통해 경도인지장애를 탐지하는 데 사용되는 MoCA-K의 유용성을 알아보고자 하였다. 50명 을 대상으로 한 각 평가도구들의 인지기능 점수는 MoCA-K가 30점 만점 중 22.72±5.85, LOTCA-G는 104점 만점 중 에 96.28±6.82, MMSE-K는 30점 만점 중 25.08±3.78점이었다. 대상자들의 일반적 특성에 따른 각 평가도구들의 점수 를 알아본 결과, 세 개의 평가도구 모두 남녀 간에는 유의한 차이가 없었으며, 연령과 교육수준에 따라서는 유의한 차이를 보였다. 노인들의 치매 선별검사로 널리 사용되고 있는 신뢰성과 타당성이 확보된 MMSE-K 및 LOTCA-G의 수행점수와 MoCA-K 수행점수 간에 높은 상관관계가 나타났으므로 MoCA-K는 노인들의 인지기능을 평가하는 데 있 어 타당한 인지검사도구라는 것을 확인할 수 있다. This study was to examine usefulness of MoCA-K by comparing the correlation between LOTCA-G, MMSE-K and MoCA-K, regarding detecting elderly people’s mild cognitive function in local community. The experiments in which the three different evaluation methods were employed, of this study were conducted on 50 elderly people. While the score of MoCA-K and MMSE-K was 22.72±5.85 out of 30 and 25.08±3.78 out of 30 respectively, the result of LOTCA-G was 96.28±6.82 out of 104. Observing each result of the three cognitive function assessment tools towards general characteristics showed no significant differences in gender. However, they were at considerable variance with age and education level of the example group. As all the three results of the assessment methods showed high correlation, it is reasonable to believe that MoCA-K is an appropriate evaluation tool to assess the cognitive function of old people.