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        비디오 유머중재가 혈액투석 중인 환자의 우울과 스트레스반응에 미치는 효과

        신봉자 ( Shin Bong Ja ),김혜순 ( Kim Hye Soon ),이명희 ( Lee Myung Hee ) 경희대학교 동서의학연구소 2010 동서간호학연구지 Vol.16 No.1

        본 연구에서는 만성 신부전증으로 혈액투석 중인 환자에게 비디오를 이용한 유머중재가 우울과 스트레스 반응인 상태불안과 코티졸에 미치는 영향에 대하여 논의하고자 한다. 비디오 유머중재 선행 연구(Kim & Suh, 1996; Suh & Kim, 1994)에 의하면 입원환자들은 유머의 내용으로 TV 코미디 프로그램을 가장 선호하였고, 유머 중재시간은 아침보다는 점심 때를 더 선호하였고, 유머 중재시간은 10-20분, 20-30분의 순이었고, 개인보다는 집단으로 유머를 즐기는 것을 좋아한다고 하였다. 그러나 본 연구의 대상자인 혈액투석 환자는 외래환 자로서 혈액투석이 주 3일, 4시간 동안 이루어지는 특성상 개별적으로 침상TV를 이용하여 혈액투석 중간인 오전에 30분간 비디오 유머중재를 실시하였다.비디오 유머중재가 혈액투석환자의 우울에 미치는 효과를 Beck의 도구로 검증한 결과, 실험군은 19,34점에서 12,73점으로 6.60점 감소하였고, 대조군은 21.42점에서 19.04점으로 2.38점 감소하여 통계적으로 유의한 차이가 있어 비디오 유머중재 가 혈액투석환자의 우울을 감소시키는 데 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이러한 결과는 웃음요법중재가 혈액투석을 받는 환자의 우울을 감소시켰다는 Lee 등(2006)의 연구와 일치하였다. 또한 혈액투석환자의 우울 정도는 Lee 등(2006)의 연구에서 21.9점, Yun, Yang과 Hahn(1999)의 연구에서 22.9점으로 확인되었는데. 이는 Lee 등(1995)이 우울 점수 9점 이하는 정상(normal), 10-15점은 경한(mild) 우울상태, 16-23 점은 보통 (moderate) 우울상태, 24-63점은 심한(severe)우울상태로 구분한 것에 의하면 혈액투석 환자는 보통의 우울상 태임을 확인할 수 있었다. 그러나 Zung의 도구로 검증한 Kim 과 Suh(1996)의 연구에서 비디오 유머중재가 기동성장애환자의 우울을 감소시키지 않았다는 결과와 Suh와 Kim(1994)의 유머중재가 항암요법 치료를 받는 환자의 우울을 감소시키지 않았다는 연구와는 상반되는 결과를 보여주고 있다. 이와같이 선행연구와 상반된 연구결과가 나타난 것은 우울과 관련되는 복합적인 변인들이 다르기 때문으로 생각한다. 즉 Suh와 Kim(1994)의 연구대상인 암환자의 경우중개기간이 항암제 치료기 간으로 항암제 부작용을 경험하는 시기라는 점을 고려할 때 유머중재에 관심을 적게 갖지 않았나 하는 점도 고려할 수 있다. Kim과 Suh (1996)의 연구대상인 석고붕대나 견인장치로 기동 성장애를 경험하는 환자들은 기동성의 변화로 인한 스트레스로 인하여 Suh와 Kim (1994)의 암환자의 우울점수 39,9점보 다 많은 42점으로 나타나 대상자 특성에 따라서 차이가 있는 것을 알 수 있었다. Suh와 Kim (1994)은 우울은 상황적인 요소라기보다는 특성적인-요소로 여겨지며 단기간의 간호중재가 큰 영향을 미치지 못한 것으로 생각된다고 하였다. 따라서 우울을 감소시킬 수 있는 유머중재 연구에 대한 반복연구가 계속되어야 할 필요성이 있다고 생각한다. 또한 본 연구에서는 혈액투석 중간에 비디오 유머중재를 실시한 후 혈액투석이 끝나는 1 시간 30분 후에 사후검사를 측정하였으나 Kim과 Suh (1996) 의 연구에서는 비디오 유머중재를 실시한 후 10분 후에 사후검사를 측정하여 유머중재 전에 우울도구와 우울점수에 따른 유머중재의 횟수와 시간, 내용을 다르게 적용해야 함을 확인할 수 있었다. 비디오 유머중재 이후 대상자들은 혈액투석시간 이외에도 대상자들 간에 서로 바라보며 웃기도 하고 큰소리로 이야기도 나누는 모습들을 볼 수 있었는데, 이는 혈액투석치료를 평생 받으며 살아야 한다는 심리 · 정서적 압박으로부터 자유롭지 못한 혈액투석환자들만의 특성을 고려해 볼 때 투석을 받는 시간만이라도 의료인들이 대상자의 심리 · 정서적 지지방법으로 비디오 유머중재를 적극적으로 활용해도 좋을 것으로 사료되며, 향후 투석시간외 일상생활에서도 적용할 수 있는 유머중재프로그램의 개발이 필요하다. 혈액투석환자의 스트레스 반응에 미치는 효과를 검증하기 위하여 비디오 유머중재 전 · 후 상태불안, 혈청 코티졸을 검증 한 결과, 상태불안은 차이가 있었으나 혈청 코티졸은 차이가 없는 것으로 나타났다. 상태불안은 실험군은 43.86점에서 35.08 점으로 감소되었으나 대조군은 47.85점에서 49.71점으로 증가하였다. 이는 유머중재가 항암치료를 받는 환자의 불안을 감소 시켰다는 Suh와 Kim (1994)의 연구결과와는 일치하였으나 비디오 유머중재가 기동성장애환자들의 불안 감소에는 효과적이지 않았다는 Kim과 Suh (1996)의 연구결과와는 상반된 결과를 나타내고 있다. 본 연구에서 혈액투석환자의 상태불안 점수 43점은 기동성 장애 환자들의 상태불안 점수 43점(Kim & Suh, 1996), 척추손상 환자들의 상태불안 점수 44점(Song, 2003), 암환자들의 상태불안 점수 44점(Kam, 2003)과 비슷하게 나타나고 있다. 기동성장애 환자의 경우 생명에 위급함을 느끼기 않는 만성적인 질환인 반해 일상생활에서 생명의 위급함을 느끼고 있는 혈액투석 환자의 경우에는 비디오 유머중재를 통하여 불안이 더욱 더 감소되는 결과가 나타났다고 사료된다. 불안은 주관적 근심과 걱정에서 오는 막연한 것으로 두려움, 근심, 죽음이나 재앙이 당장 일어날 것만 같은 느낌을 갖게 되는 경우를 말한다(Jo & Sung, 2000). 혈액투석환자의 불안은‘투석기계에 생명을 의존하고 살아가는 것’,‘ 가족에 대해 책임을 다하지 못하는 것’,‘ 투석 치료로 인한 경제적 부담’의 순으로 나타나고 있다고 보고되고 있다(Lee, 2007). 혈액투석은 만성신부전을 치료하기 보다는 주기적으로 체내 노폐물과 수분을 걸러내어 환자의 증상을 완화시키는 것에 불과하므로 대부분의 환자들은 병의 예후에 대한 불안감과 함께 치료계획에 따라 기계에 의존해 치료를 받아야만 하는 특성을 가지고 있다. 따라서 혈액투석환자들의 상태불안을 감소시키기 위한 유머중재에 대한 반복연구가 계속되어야 한다고 생각한다. 혈청 코티졸 검정결과에서 실험군은 8.64㎍/dL에서 13.12mg/dL으로 4.47㎍/dL 증가, 대조군은 8.85㎍/dL에서 16.29㎍/dL으로 7.43㎍/dL으로 모두 증가하였다. 대조군이 실험군에 비해 혈청 코티졸 수치가 2.96㎍/dL 더 높게 상승하였으나 유의한 차이는 없었다. 이러한 결과는 웃음요법을 혈액투석환자에게 실시한 Heo (2007)의 연구결과와 일치하고 있다. 또한 오전에 검사한 혈청 코티졸의 정상범위가 6-28 ㎍/dL임을 감안할 때 정상범위이기는 하나 전반적으로 높게 유지하는 것을 볼 수 있었는데, 이는 혈액투석환자의 혈중 코티졸 농도는 전반적으로 높게 유지한다고 보고한 Daugirdas, Peter와 Todd (2001)의 연구와도 일치하였다. 그러나 Heo (2007)의 연구에서 실험군은 0.30 ㎍/dL, 대조군은 1.57㎍/dL 증가하여 본 연구에서 코티졸 상승범위가 더 크게 나타났는데, 이는 본 연구는 투석중에 개인별로 유머비디오를 적용하였으나 Heo (2007)의 연구에서는 투석이외의 시간에 집단별로 웃음요법을 시행한 결과의 차이라고 생각한다. CRH-ACTH계의 활성증가를 통해 CNS에 의해 매개되는 코티졸 분비의 현저한 증가는 모든 종류의 스트레스적인 상황에서 발생한다(Galla & Luke, 1996). 혈장 코티졸 농도의 증가폭은 일반적으로 스트레스 자극 세기에 비례하며, 스트레스는 질병의 원인이 될 뿐만 아니라 질병 과정에 깊은 영향을 주고 있으며, 질병과 치유과정으로 스트레스를 받는 혈액투석환자들은 Glucocorticoid의 활동으로 조직의 저항에 의하여 혈중 코티졸 수치가 올라가고 반감기가 증가된다(Daugirdas et al., 2001). 또한 코티졸 수치는 많은 요인에 의해 영향을 받기 때문에 혈액투석과정에서 혈청 코티졸에 영향을 주는 요인을 확인하기 위한 후속연구가 필요하다. 또한혈액투석환자들의 투석 전, 중, 후에 따른 비디오 유머의 효과에 대한 반복연구와 프로그램의 개발이 필요하다고 생각한다. 이상의 연구결과를 통하여 비디오 유머중재가 혈액투석환자의 우울과 상태불안을 감소시키는 간호중재로 가정과 임상에서 활용하기를 기대한다. Purpose: The purpose of the study was to identify the effect of humorous video on the depression and stress responses in patients undergoing hemodialysis. Methods: The quasi-experimental study was designed with a nonequivalent control group pre-post test. Research participants were assigned to a treatment group (n=23) and a control group (n=21). Treatment was watching humorous video tapes 30 min each time, three times a week. The depression level and state anxiety level were assessed using a questionnaire. Cortisol was measured by a blood test. The data were analyzed using V-test, and t-test. Results: Depression and anxiety were decreased significantly in the treatment group. Conclusions: Humorous video tape could be a usefull tool at home and clinical setting as a nursing intervention to decrease depression and anxiety among the patients on hemodialysis.

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        조희순의 문학연구 -생애와 문학 활동을 중심으로

        김봉희 ( Bong Hee Kim ) 현대문학이론학회 2013 現代文學理論硏究 Vol.0 No.55

        글쓴이는 지금까지 1930년대 서구문화를 본격적으로 수용하면서 한국의 근대 연극 발현에 지대한 역할을 한 조희순의 삶과 문학 활동에 대해서 고찰해 보았다. 먼저, 조희순을 우리 문학사로 끌어 올리는 첫 단계로 그의 삶과 문학 활동을 문헌과 기초 자료를 통해서 복원하였다. 그의 삶은 문단활동과 실업가의 길로 둘로 나누어진다. 그의 문단활동은 동경 유학에서 돌아온 1929년 12월부터 시작되었다. 그는 1930년 본격적으로 신문과 잡지 매체에 이름을 올렸다. 그의 문단활동이 좀 더 구체화된 것은 「극예술연구회」창립에 동참하면서 부터이다. 조희순의 문단활동은 1936년 7월에 멈춰져 있다. 문단에서 행적을 감춘 조희순은 ‘조선전업(현 한국전력)’의 부사장을 거쳐 ‘남선전기’의 사장으로 취임하게 된다. 다음으로 조희순의 갈무리된 문학 활동 가운데 평론들을 작가비평, 문예비평, 공연 비평으로 나뉘어 살펴보았다. 첫째, 조희순의 작가 비평 글에서는 항상 실증주의적 입장을 취하고 있다. 그의 작가비평은 단순한 인과관계로 모든 것을 단정 내릴 수밖에 없는 한계점과 괴테 수용 과정에서 괴테를 이상화하고 이념적으로 활용했다는 평가를 받고 있다. 하지만 조희순의 작가비평은 작가의 삶과 문학작품을 구체적이고 체계적으로 전달하였다. 둘째, 조희순의 문예비평은 독일 문단에 관한 글들이 대부분인데, 정치·사회적 과도기적 상황 아래에 처해 있는 독일 문단의 동향을 전해주는 역할을 했다. 물론 지나치게 많은 작품들을 나열하여 비평의 주제가 흐려지는 경향을 지적할 수 있다. 하지만 이러한 독일 문단의 흐름을 통해서 다양한 사조와 경향에 대한 이해를 높여 주었다. 셋째, 조희순의 공연비평은 표현주의와 자연주의 수용했다는 점이다. 그는 당시 대중화되지 않았던 표현주의 극작품을 가져와 무대에 올렸고, 그에 대한 이론과 기초 지식을 설명해주었다. 게다가 자연주의 작품을 통하여 근대로 가고 있는 조선 사회의 개혁성을 설명해주고 있다. 조희순은 한국 근대 초기 독일 극문학을 배우고 그것을 한국에 소개하여 다양한 신극운동에 힘썼던 평론가 가운데 한 명이다. 그는「극예술연구회」활동의 일환인 공연과 강습을 통해 조선연극 인구의 저변 확대에도 기여하였다. 게다가 여러 갈래의 외국작품을 번역하여 다양한 서양문화 이입에도 적극적이었다. 이처럼 조희순의 문학은 독일 극문학 이입사뿐만 아니라 근대 연극 형성에 전신자적 역할을 했던 것이다. An author studied Cho, hee-sun`s Literature activity and life that played a role about developing a Korean modern play as accepting the Western culture from 1930 until now. As a first stage, Cho`s literature activity was restored by means of basic data and an old document. Cho`s life could be divided into two parts as the literary world or a businessman. His literature activity had started since he came back form Tokyo in December 1929. He held a lecture teacher of Kyoungsung women medicine vocational school and a German language professor of Kyoungsung pharmacy vocational school as inserting articles in newspaper and magazine. His literary world was more specific after joining the dramatic art a society for the research. Cho took up the president Namsun electricity after a vice president of Korea the electrical industry. He stopped the literary world forever. Next, Cho`s review among his literary activities was studied through the writer criticism, Literature criticism, play criticism. First, his writer criticism always took position as positivism. It had a limit which couldn`t justify simple cause and effect. Also it was evaluated with idealizing and using Goethe`s philosophy. However, his writer criticism showed the writer`s life and literary works concretely and systematically. Second, his literature criticism took a view German literary world. Especially, It played a role to show politic and social transition period of German. It recited many works so his literature criticism was pointed for the subject become weak. However, It enhanced understanding various trends of literature through the flow of German literary world. Third, Cho`s play criticism accepted expressionism and naturalism. He staged expressionism works that were not popular and explained theirs theory and basic knowledge. In addition, he insisted on reforming the Joseon Dynasty through naturalism works. Cho learned German dramatic literature of Korea early modern, introduced it to Korea and made an effort to enhance The new-drama movement. He contributed to increasing the number of population of Joseon` play through a play and a lesson that were a part of The dramatic art a society for the research. In addition, he was enthusiastic about introducing the various western culture by translating many foreign works. Therefore, His literature was considered to be The empathy history and also to be a pioneer role of forming modern play.

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        정신분열병에 대한 리스페리돈의 효과 및 안정성

        이민수,김용구,김영훈,연병길,오병훈,윤도준,윤진상,이철,정희연,강병조,김광수,김동언,김명정,김상훈,김희철,나철,노승호,민경준,박기창,박두병,백기청,백인호,손봉기,손진욱,양병환,양창국,우행원,이정호,이종범,이홍식,임기영,전태연,정영조,정영철,정인과,정인원,지익성,채정호,한상익,한선호,한진희,서광윤 大韓神經精神醫學會 1998 신경정신의학 Vol.37 No.1

        연구목적 : 본 시험의 목적은 임상시험 시작전에 연구자들을 대상으로 PANSS Workshop을 통하여 PANSS, ESRS에 대한 국내에서의 표준화 작업을 구축하고 새로운 정신병 치료제인 리스페리돈의 효과와 안정성을 재확인하여 리스페리돈 사용에 대한 적정화를 이루는데 있다. 연구방법 : 1996년 4월부터 1996년 9월까지 국내 39개 대학병원 정신과에 입원중인 혹은 증상이 악화되어 입원하는 정신분열병 환자 377명을 대상으로 다시설 개방 연구를 시행하였다. 1주일간의 약물 배설기간을 가진후, 리스페리돈을 8주간 투여하였고, 기준점, 1주, 2주, 4주, 그리고 8주후에 평가되었다. 용량은 제1일에는 리스페리돈 1mg씩 1일 2회, 제2일에는 2mg씩 1일 2회, 제3∼7일에는 3mg씩 1일 2회 투여하였다. 이후 환자의 임상상태에 따라 임의로 증량할 수 있으며, 최대 일일 16mg을 초과하지 않도록 하였다. 추체외로 증상을 조절하기 위한 투약을 허용하였다. 임상증상 및 부작용의 평가는 PANSS(Positive and Negative Syndrome Scale), CGI(Clinical Global Impression) 그리고 ESRS(Extrapyramidal Symptom Rating Scale)을 사용하였다. 연구결과 : 377명중 343명(91%)이 8주간의 연구를 완결하였다. 치료 종결시점인 8주후 PANSS 총점수가 20% 이상 호전된 경우를 약물 반응군으로 정의할때, 약물반응군은 81.3%였다. 리스페리돈에 반응하는 예측인자로는 발병연령, 이전의 입원 횟수, 유병기간이 관련 있었다. 리스페리돈은 1주후부터 PANSS양성, 음성, 및 일반정신병리 점수상에 유의한 호전을 보여 효과가 빨랐다. CGI의 경우도 기준점에 비해 1주후부터 유의한 감소를 나타내었다. ESRS의 경우, 파킨슨 평가점수는 기준점과 비교해 투여 1주, 2주, 4주후 유의하게 증가되었다가 8주후 기준점과 차이가 없었다. Dystonia 평가점수는 1주후만 유의한 증가를 보였으며, dyskinesia 평가점수는 유의한 차이가 없었다. 혈압, 맥박수의 생명징후 및 일반 혈액학 검사, 생화학적 검사, 심전도 검사에서 유의한 변화는 없었다. 결 론 : 이상의 다시설 개방 임상 연구를 통해 리스페리돈은 정신분열병 환자에서 양성증상뿐만 아니라 음성증상 및 전반적인 증상에도 효과적인 것으로 사료된다. 보다 명확한 평가를 위해서는 다른 항정신병약물과의 이중맹검 연구가 필요할 것으로 생각되며, 또한 장기적 치료에 대한 평가도 함께 이루어져야 하겠다. Objective : The purpose of this study was to investigate the efficacy and safety of risperidone in the treatment of Korean schizophrenic patients. Method : This multicenter open study included 377 schizophrenic patients drawn from 39 university hospitals. After a wash-out period of 1 week, the schizophrenic patients were treated with risperidone for 8 weeks and evaluated at 5 points ; at baseline, and 1, 2, 4 and 8 weeks of treatment. The dose was increased from 2mg/day(1mg twice daily) to 6mg/day(3mg twice daily) during the first week and adjusted to a maximum of 16mg/day over the next 7 weeks according to the patient's clinical response. Medication to control extrapyramidal symptoms was permitted. The psychiatric and neurological status of the patients was assessed by PANSS, CGI, and ESRS scales. Results : 343(91%) of 377 patients completed the 8-week trial period. Clinical improvement, as defined by a 20% or more reduction in total PANSS score at end point, was shown by 81.3% of patients. The predictors of response to risperidone were associated older age, shorter duration of illness, fewer previous hospitalization. Risperidone had rapid onset of action ; a significant decrease of the total PANSS and three PANSS factor(positive, negative, general), and CGI was already noticed at the end of first week. For the ESRS, parkinsonism rating scores were significantly increased until week 4 comparing with baseline. Dystonia rating scores were significantly increased until week 1, and dyskinesia rating scores were not significantly changed during the study. Laboratory parameters including vital sign, EKG, hematological, and biochemical values showed no significant changes during the trial. Conclusions : This study suggests that risperidone is generally safe and effective against both the positive and negative symptoms in our group of patients.

      • KCI등재

        수출입 컨테이너 장치장 배정을 위한 소프트웨어의 개발

        김갑환,김홍배,홍봉희,김기영,배종욱,최진오,김두열,이영기,박영만,박강태,손행대 한국경영과학회 1995 經營 科學 Vol.12 No.3

        The Pusan Container Terminal faces a rapid increase in berthing time of container ships as well as in waiting time of external trucks, which is due to an absolute lack of yard space. This research is focused on the development of a decision support system for the planning of the container terminal yard assignment so that the yard space would be utilized most effectively. Efforts should be given to the reasonable assignment of the yard storage and the dynamic adaptation to the ever changing environment. The software introduced here is based o the know-how of the field exports and its framework takes the approach of the hierarchical decision making.

      • SCOPUSSCIEKCI등재

        측뇌실내 종괴의 감별진단 및 수술적 치료

        김동규,김봉수,이상형,심기범,왕규창,정희원,김현집,조병규,최길수,한대희 대한신경외과학회 1993 Journal of Korean neurosurgical society Vol.22 No.2

        We present a series of 42 patients with the lateral ventricular mass lesions who underwent operative removal between 1979 and 1992 at the Seoul National University Hospital. These lesions included 29 tumors, 10 benign cysts and 3 arteriovenous malformations. There were 20 lesions in the trigone, 14 in the frontal horn, 6 in the body, and 2 in the temporal horn. Together with the age of the patient, the location in the lateral ventricle and the CT or MR patterns, the range of the differential diagnosis of the lesions can be narrowed. The mass were removed by various surgical approaches ; 11 by the middle frontal gyrus, 10 by the superior parieto-occipital, 13 by the middle temporal gyrus, 4 by the anterior transcallosal, 2 by the posterior transcallosal and 3 by the combined approaches. The superior parieto-occipital approach left postoperative morbidities in 64% and other approaches in 20 to 25% of the cases. These morbidities included hemiparesis, hemianopsia, aphasia, memory distubance and seizure. Most hydrocephalus disappeared without the shunting procedure after removal of the lateral ventricular mass. The high frequency of postoperative complications in the superior parieto-occpital approach require meticulous consideration in the selection of this approach.

      • 2-[(4-Cyanophenyl)amino]-3-chloro-1,4-naphthalenedione (NQ-Y15)의 돌연변이원성

        김봉희,정기화,유충규,창동신,이기선,전선덕,소동수,채상호,문창규 德成女子大學校 藥學硏究所 2001 藥學論文誌 Vol.12 No.1

        2-[(4-Cyanophenyl)amino]-3-chloro-1, 4-naphthalenedione (NQ-Y15) was asssayed for its genotoxic potential by using Salmonella typhimurium reversion assay and in vitro chromosome aberration test on Chinese hamster lung cells. In the Ames test, NQ-Y15 induced his+revertants of Salmonella typhimurium TA 98 and TA 1537, reaching levels twice the negative control values. But, NQ-Y15 induced only his+revertants of Salmonella typhimurium TA 1537 more than twice the control values under the condition with metabolic activation system. In the cytogenetic test on chinese hamster lung cells. NQ-Y15 showed significant chromosomal aberrations, but the incidence was significantly reduced in the presence of metabolic activation.

      • 고강도 콘크리트를 사용한 철근콘크리트 보의 전단 거동에 관한 실험적 연구

        김창희,고봉수,은희창,서일교 제주대학교 공과대학 첨단기술연구소 2001 尖端技術硏究所論文集 Vol.12 No.2

        The shear capacity of reinforced concrete beam depends on the strength of concrete, the amount and strength of shear reinforcement bars, the support conditions of end points etc. These factors makes the shear behavior or capacity of reinforced concrete beam be complicated. For the purpose of grasping the shear behavior and capacity of reinforced concrete beams, sixteen specimens were tested. Most of specimens showed the shear failure along with the yielding of longitudinal bars or crushing of compressive concrete. The effects on each of test variables were related to the shear capacity of reinforced concrete beams. And, the comparison of the test results and ACI code showed the reasonable agreement.

      • KCI등재후보

        복합 산화법과 MEMS 기술을 이용한 RF용 두꺼운 산화막 에어 브리지 및 공면 전송선의 제조

        김국진,박정용,이동인,이봉희,배영호,이종현,박세일 한국센서학회 2002 센서학회지 Vol.11 No.3

        본 논문에서는 양극반응과 복합 산화법( H_2O/O_2 분위기에서 500℃, 1시간 열산화와 1050℃, 2분간 RTO(Rapid Thermal Oxidation) 공정)을 이용한 두꺼운 OPSL(Oxidized Porous Silicon Layer)을 형성하여 이를 마이크로머시닝 기술을 이용함으로써 10 ㎛두께의 OPS(Oxidized Porous Silicon) 에어 브리지를 제조하고, 그 위에 전송선로를 형성하여 그 RF 특성을 조사하였다. OPS 에어 브리지 위에 형성된 CPW(Coplanar Waveguide)의 손실이 OPSL 위에 형성된 전송선의 삽입손실보다 약 2 dB 정도 적은 것을 보여주었으며, 반사손실은 OPSL 위에 형성된 전송선의 반사손실보다 적으며 약 -20 dB를 넘지 않고 있다. 본 연구에서 개발한 산화된 다공질실리콘 멤브레인 및 에어 브리지 구조는 CMOS 공정 후에 사용 가능하며, 초고주파 회로 설계시 편리성과 유용성을 제시하고 있다. This paper proposes a 10 ㎛ thick oxide air-bridge structure which can be used as a substrate for RF circuits. The structure was fabricated by anodic reaction, complex oxidation and micromachining technology using TMAH etching. High quality films were obtained by combining low temperature thermal oxidation (500 ℃,1 hr at H_2O/O_2) and rapid thermal oxidation (RTO) process (1050 ℃, 2min). This structure is mechanically stable because of thick oxide layer up to 10 ㎛ and is expected to solve the problem of high dielectric loss of silicon substrate in RF region. The properties of the transmission line formed on the oxidized porous silicon (OPS) air-bridge were investigated and compared with those of the transmission line formed on the OPS layers. The insertion loss of coplanar waveguide (CPW) on OPS air-bridge was (about 2 dB) lower than that of CPW on OPS layers. Also, the return loss of CPW on OPS air-bridge was less than about - 20 dB at measured frequency region for 2.2 mm. Therefore, this technology is very promising for extending the use of CMOS circuitry to higher RF frequencies.

      • SCOPUSKCI등재

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