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홍승수,임인태,임종연,Hong, S.S.,Lim, I.T.,Lim, J.Y. 한국진공학회 2012 Applied Science and Convergence Technology Vol.21 No.1
밀폐된 소형부품의 내부압력을 측정하는 장치를 개발하였다. 개발된 장치에서 실험한 시료의 내부압력은 43.151 kPa이었고 국제표준화기구에서 권장한 방법에 따라 계산된 확장불확도는 741 Pa이었다. 본 연구결과로 지금까지는 전혀 측정이 불가능 했던 밀폐된 시료의 내부압력을 측정할 수 있게 되었다. The measurement device of internal pressures of small components sealed hermetically was developed. The internal pressure of a sample measured with this device was 43.151 kPa, and the expanded uncertainty ($\kappa$=2) was 741 Pa. The resultant measurement ability of internal pressures in small vacuum components, which had been almost impossible previously, shows the possibility of internal vacuum detection of hermetically sealed parts.
스테인레스 스틸 초고진공 용기내의 H2 부분압에 관한 연구
홍승수,임종연,신용현,정광화 한국물리학회 2003 새물리 Vol.47 No.3
The majority of partial pressure gases in an ultrahigh or an extremely high vacuum chamber of stainless steel originate from hydrogen since the gas has the characteristics of neither being easily removed during the high temperature baking process nor being well absorbed on the low-temperature surfaces. A vacuum chamber of SUS304 with a Stabil-ion gauge was constructed in order to carefully characterize the variation of the hydrogen partial pressure during vacuum generation. In this work, desorbed gases from the wall were actively measured using a residual gas analyzer in the cases of a chamber baked up to 320 $^\circ$C, gauge degassing, and subsequent low-temperature exposures to liquid nitrogen. The experimental results proved that hydrogen was the majority residual gases in the ultrahigh vacuum range of less than 10$^{-7}$ Pa. H$_2$는 고온의 굽기과정에서도 쉽게 배기되지 않고 저온표면에도 잘 흡착되지 않으므로 초고진공이나 극고진공에 도달하면 스테인레스 스틸 용기내의 기체 부분압은 대부분 H$_2$이다. 본 연구에서는 H$_2$ 부분압 변화를 관찰하기 위하여 스테인레스 스틸 304로 가공된 진공용기에 Stabil-이온 게이지를 부착하고 320 $^\circ$C까지의 용기의 굽기, 게이지의 탈가스, 그리고 70 K 저온상태 등에서 검출된 기체를 잔류기체분석기로 측정하였다. 실험결과 10$^{-7}$ Pa 보다 낮은 압력에서의 잔류기체는 대부분이 H$_2$임을 알 수 있었다.
SUS304로 실현된 극고진공에서 전리진공게이지와 QMS를 이용한 전압 및 부분압 측정
홍승수,신용현,이치로 아라카와,정광화 한국물리학회 2005 새물리 Vol.50 No.6
An extremely high vacuum system in the range of 10$^{-10}$ Pa was constructed by using ordinary SUS304 chamber material, electro-polished surface processing, turbomolecular pumping, and bake-out techniques. The characteristics of three different types of hot cathode ionization gauges were studied and the partial pressure in the chamber was measured using a quadrupole mass spectrometer. The results showed that the dominant residual gas of the chamber was hydrogen and that little fluorine was present. SUS304재료, 전해연마표면처리, 2단 터보펌프 배기, 그리고 적당한굽기 과정을 통해 도달압력이 10$^{-10}$ Pa인 극고진공장치를제작하였다. 이 장치에 극고진공용 이온게이지 세 개와 질량분석기 한개를 부착하고 이온게이지의 전리 이온과 ESD 이온 분포, 압력특성,그리고 잔류기체 부분압 특성을 조사하였다. 극고진공에서 부분압 실험결과 잘 알려진 대로 용기의 잔류가스의 대부분은 H$_2$임이확인되었으나 잘 알려지지 않은 fluorine도 일부 포함되어 있음을 알수 있었다.
홍승수,우에노무네타카,구본철,김광태,김칠영,오갑수,이명균,이형목,강용우,박원기,Hong, Seung-Su,Gu, Bon-Cheol,Kim, Kwang-Tae,Kim, Chil-Yeong,Oh, Gap-Su,Lee, Myeong-Gyun,Lee, Hyeong-Mok,Kang, Yong-Woo,Park, Won-Gi 한국천문학회 1996 天文學論叢 Vol.11 No.1
We have built a near-infrared imaging camera with a PtSi array detector manufactured by the Mitsubishi Company. The PtSi detector is sensitive in the wavelength range 1 to $5{\mu}m$. Quantum efficiency of PtSi is much lower than that of InSb and HgCdTe types. However, the PtSi array has advantages over the latter ones: (i)The read-out noise is very low; (ii)the characteristics of the array elements arc uniform and stable; (iii)it is not difficult to make a large PtSi array; and (iv) consequently the price is affordably low. The array used consists of $512{\times}512$ pixels and its size is $10.2\;mm{\times}13.3\;mm$. The filter wheel of the camera is equipped with J, H, K filters, and an aluminum plate for measuring the dark noise. The dewar is cooled with liquid nitrogen. We have adopted a method of installing the clock pattern and the observing softwares in the RAM, which Gill he easily used for other systems. We have developed a software with a pull-down menu for operating the camera and data acquisition. The camera has been tested by observing $\delta$ Orionis.
ISO/TC 112 Vacuum Technology 국제표준 활동
홍승수,신용현,김진태,정광화,최형기,김익수,박완용,Hong, S.S.,Shin, Y.H.,Kim, J.T.,Chung, K.H.,Choi, H.K.,Kim, I.S.,Park, W.Y. 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.6
국제표준화기구 (International Organization for Standardization, ISO)의 기술위원회의 하나인 ISO/TC 112 (진공기술위원회)에서는 진공펌프, 진공장치, 진공부품 분야의 진공기술의 표준화를 하고 있다. 본 논문에서는 국제표준화기구에 대한 간략한 소개와 함께 진공기술위원회 ISO/TC 112의 조직과 표준화 규격제정절차나 방법 등을 요약하였으며, 또한 국내에서 최근에 제안한 "열음극 진공게이지 사양"과 "진공밸브시험절차" 핵심내용도 간략히 소개하였다. 국제표준화에 대한이해를 돕고 최근 상황을 소개함으로서 한국에서 더 활발히 진공기술이 발전하고 국제표준화를 선도하는데 도움이 되고자 한다. International Standardization for Vacuum pumps, vacuum instruments, and vacuum components has been established at ISO/TC 112 which is a technical committee of ISO (International Organization for Standardization) in the area of vacuum technology. This report shortly summarizes the structure of ISO/TC 112 and its activities on the standardization for vacuum technology. Also it introduces the brief contents of "specifications for hot cathode ionization gauges" and"Test procedure for vacuum valves" which are recently accepted as new proposals. These information on ISO/TC 112 would contribute to activate the development of vacuum technology as well as the participation for the international standardization in Korea.
크라이오 펌프를 이용한 스테인레스 스틸 고진공용기 배기에서 2차 냉각판 온도와 용기 내부의 기체 부분압 관계
홍승수,임종연,신용현,정광화,Hong S. S.,Lim J. Y.,Shin Y. H.,Chung K. H.,Arakawa Ichiro 한국진공학회 2004 Applied Science and Convergence Technology Vol.13 No.4
Recently, the importance of clean vacuum and partial pressure measurement of gas species has been increased in the vaccum process. In this study, the partial pressures of $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O $, Ar/2, $N_2$(CO), Ar, $CO_2$ were measured by residual gas analyzer according to temperature of cryogenic pump which is used to clean vacuum generation and compared. The experimental results showed that the cryopanel temperature was reached to 12K after 72 minutes of pumping and after 25hours, the partial pressures in percent were 24.9 %, 6.6%, 5.5 %, 2.2 %, 3.8%, 30.7%, 6.5%, 6.1 %, 5.5%, 8.2% for $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O $, Ar/2, $N_2$, Ar, $CO_2$ respectively. The dominant gases were $H_2$ and $H_2O $, and the partial pressures were relatively high compare to other gases. 최근에는 진공공정에서 용기내의 청정도와 잔류기체의 부분압에 대한 관심이 높아지고 있다. 본 연구에서는 청정진공 발생에 많이 사용되고 있는 크라이오 펌프의 냉각판 온도에 따른 $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O$, Ar/2, $N_2$(CO), Ar, $CO_2$의 부분압을 잔류기체분석기로 측정하여 비교하였다. 크라이오 펌프를 켜고 약 72분이 지났을 때 펌프의 냉각판 온도가 12K에 도달하였으며, 25시간이 경과하여 온도가 충분하게 낮아졌을 때 부분압은 $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O$, Ar/2, $N_2$, Ar, $CO_2$순으로 24.9%, 6.6%, 5.5%, 2.2%, 3.8%, 30.7%, 6.5%, 6.1%, 5.5 %, 8.2%로 $H_2$와 $H_2O $압력이 상대적으로 높은 것을 알 수 있었다.