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- 저자 : 이창덕 ( Lee Chang Deog ) (검색결과 10 건)
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플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구
이창덕(Chang-Deog Lee),박상규(Sang-Kyu Park) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.1
플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각 연구를 위하여 두 종류의 미세식각 진전 모델을 제시하였다. 모델 1에서는 Knudsen 확산 정도를 나다내는 Thiele 계수(φ²)의 변화와 마스크의 하전(charging)에 의한 이온의 회절이 식각 패턴에 마치는 영향을 고찰하였으며 모델 2에서는 이온의 충돌에 의한 분산효과가 식각패턴에 미치는 영향을 살펴보았다. 반응성 라디칼과 전압 분포에 대한 지배 방정식은 경계적분법을 이용하여 해를 구하였다. 모델 1로부터 라디칼의 확산저항이 수직방향으로의 식각깊이를 감소시켜 RIE Lag를 일으키며 마스크의 하전에 의한 이온의 회절에 의하여 “dovetailing” 형태의 식각패턴 형성의 원인이 됨을 알 수 있었다. 모델 2의 결과로부터 쉬스 지역에서의 이온의 분산이 심화될 수록 “bowing” 형태의 식각패턴이 두드러졌으며 RIE Lag 현상이 증가하는 것으로 나타났다. Numerical simulation for study of etching patten formation in the microscopic trench structure was performed using two different kinds of Microscopic Etch Shape Evolution Model(MESEM). In model 1, the Thiele modulus(φ²) effect meaning the degree of diffusivity of reactive radical and ion deflection due to mask charging effect on the etch pattern was considered. In model 2, the effect of ion scattering due to the collision with neutrals in the sheath region on etched shape pattern was conducted. The governing equation for radical and potential distribution was solved using Boundary Integral Method(BIM). From the result of model 1, the diffusional resistance of radicals leads to the RIE Lags by decreasing of the vertical etched depth and ion deflection due to mask charging effect causes the etching pattern of "dovetailing." The result of model 2 showed that the more ion scattering in the sheath region, the more "bowing" etch pattern and RIE Lag phenomena.
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SF6플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 식각공정에서의 미세 식각형성 특성에 관한 연구
이창덕(Chang-Deog Lee),박상규(Sang-Kyu Park) 한국진공학회(ASCT) 1995 Applied Science and Convergence Technology Vol.4 No.1
SF_6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 식각공정에서 전력, 압력, 전극간 거리, 기판 온도 등의 공정변수와 Cl₂ 첨가 기체가 식각율, 이방성, RIE Lag 등의 식각특성에 미치는 영향을 살펴보았다. 입력 전력이 증가할수록 식각율이 증가하였고 RIE Lag는 감소하였다. 식각율은 150 mtorr에서 최대가 되었는데 이는 이온과 반응성 라디칼의 공동작용효과가 가장 크게 나타나기 때문으로 생각된다. 또한 압력이 작아질수록 이온의 에너지가 증가하고 이온의 분산현상이 감소하여 RIE Lag이 감소되었다. 전극간 거리가 감소할수록 식각율은 증가하고 RIE Lag은 감소되었으나 이방성은 악화되는 것으로 나타났다. 기판 온도가 증가할수록 표면 반응이 활발해져 총 식각율은 증가하였으며 반응성 라디칼의 도랑 내부로의 확산이 용이하게 이루어져 RIE Lag가 감소하였으나 화학적 식각의 증가로 이방성은 악화되었다. 염소의 첨가량이 증가할수록 도랑 벽면에 보호막이 형성되어 식각율 및 RIE Lag은 감소하였으며 이방성은 향상되는 것으로 나타났다. Experiments on etch processes of tungsten silicide thin film using SF_6 plasma were conducted to investigate the effects of process parameters such as input power, pressure, interelectrode distance, and substrate temperature and Cl₂ addition on the etch characteristics including etch rate, RIE Lag, and the anisotropy. As the input power increased, the etch rate and the RIE Lag decreased. Maximum etch rate was obtained at 150 mtorr. As the pressure decreased, the RIE Lag became smaller and the anisotropy increased. The decrease of the interelectrode distance led to the increase of the etch rate, the improvement of the RIE Lag but the degradation of the anisotropy. The increase of the substrate temperature resulted in the increase of etch rate but the decrease of the RIE Lag and the anisotropy. The etch rate decreased but the RIE Lag and the anisotropy improved with the addition of Cl₂.
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충격시 CFRP 복합재 판의 거동과 충격후 압축강도에 관한 실험적 연구
이정환 ( Lee Jeong Hwan ),공창덕 ( Gong Chang Deog ),( Soutis C ) 한국복합재료학회 2003 Composites research Vol.16 No.4
충격 시나 충격 후 압축 할 때 구조용 복합재의 거동에 대한 중요성은 충격 손상과 충격후압축강도 예측에 대한 해석적 모델을 개발하기 위해 간과될 수 없을 것이다. 본 연구는 3㎜두께의 [45/-45/0/90]_(3s)-IM7/8552복합재판들을 이용하여 준정적횡하중시험, 저속충격시험, 충격후압축강도시험 및 구멍이 있는 시편의 압축강도시험 등을 수행한 후 이로부터 발견된 결과들을 제시하였다. 준정적횡하중과 충격하중시험에서 발생한 손상면적들이 서로 유사하며, 또한 5.4 J부터 18.7J 까지의 다양한 에너지준위들을 가진 낙하충격 시험 곡선들과 정격시험 곡선들도 서로 유사하다는 결론을 얻었으며, 이때 주어지 에너지 준위에서 정적 과 충격시의 최대하중 값들이 잘 일치한다는 사실을 확인 하였다. 충격후 압축시험에 의한 시편들이 파괴거동이 압축하중하의 구멍이 있는 적충판에서 관찰된 파괴거동과 매우 유사하다는 사실도 확인 되었다. 충격손산 후 잔류강도는 충격손상 등 가구멍이 있는 경우의 시편에서 측정된 압축 강도와 잘 일치하였다. 이와 같은 실험적 연구 결과들을 충격손상면적과 충격후압축강도의 예측에 대한 단순한 해석모델들이 이들 시험결과들로부터 관찰된 파괴기구를 기초로 하여 개발될 수 있음을 제시하고 있다. The importance of understanding the response of structural composites to impact and CAI cannot be overstated to develop analytical models for impact damage and CAI strength predictions. This paper presents experimental findings observed from quasi-static lateral load tests. low velocity impact tests. CAI strength and open hole compressive strength tests using 3 mm thick composite plates([45/-45/0/90]_(3S) - IM7/8552). The conclusion is drawn that damage areas for both quasi-static lateral load and impact tests are similar and the curves of several drop weight impacts with varying energy levels(between 5.4 .I and 18.7 J ) follow the static curve well. In addition, at a given energy the peak force is in good agreement between the static and impact cases. It is identified that the failure behaviour of the specimens from the CAI strength tests was very similar to that observed in laminated plates with open holes under compression loading. The residual strengths arc in good agreement with the measured open hole compressive strengths. considering the impact damage site as an equivalent hole. The experimental findings suggest that simple analytical models for the prediction of impact damage area and CAI strength can be developed on the basis of the failure mechanism observed from the experimental tests.
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구연 : 췌담도 ; 췌장암에서 Clusterin발현과 세포사멸 저항성에 관한 연구
윤지혜 ( Yun Ji Hye ),이홍식 ( Lee Hong Sig ),김창덕 ( Kim Chang Deog ),김민정 ( Kim Min Jeong ),장윤정 ( Jang Yun Jeong ),정록선 ( Jeong Log Seon ),진윤태 ( Jin Yun Tae ),전훈재 ( Jeon Hun Jae ),이상우 ( Lee Sang U ),최재현 ( Cho 대한소화기학회 2003 대한소화기학회 추계학술대회 Vol.2003 No.-
<목적> 췌장암에서 clusterin 발현 여부를 수술 표본 및 췌장암 세포주를 이용 검토하고 MiaPaca-2세포주에서 clusterin antisense oligonucleotide를 이용 췌장암의 세포사멸에서의 clusterin의 역활을 규명하고자 하였다. <방법> 면역조직화학적방법으로 췌장암 수술표본에서 clusterin 발현을 알아보고 MiaPaca-2, Panc-2, Capan-1세포주에서 clusterin발현을 RT-PCR 및 Western
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구연 : 기타 ; 캡슐내시경 검사 시행 시 문제점 분석
김용식 ( Kim Yong Sig ),전훈재 ( Jeon Hun Jae ),정록선 ( Jeong Log Seon ),진윤태 ( Jin Yun Tae ),이홍식 ( Lee Hong Sig ),엄순호 ( Eom Sun Ho ),이상우 ( Lee Sang U ),최재현 ( Choe Jae Hyeon ),김창덕 ( Kim Chang Deog ),류호상 ( Lyu 대한소화기학회 2003 대한소화기학회 추계학술대회 Vol.2003 No.-
<배경> 최근 개발된 캡슐내시경 검사는 소장의 질환을 진단하는데 큰 전기를 가져왔다. 캡슐내시경 검사는 소장 질환의 진단에 매우 유용한 방법으로 인정받고 있으나 기질적 혹은 기술적 문제로 인하여 전소장 관찰에 실패하는 경우가 있어 주의가 필요하다. 저자들은 캡슐내시경 검사 시행 시 문제가 되었던 증례들을 분석하였다. <대상 및 방법> 2002년 9월부터 2003년 9월까지 고대안암병원에 내원하여 캡슐내시경 검사를 시행한 210명을 대상으로 관찰에 지장이
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