MEMS 공정을 위한 여러 종류의 산화막의 잔류응력 제거 공정

李相佑,김성운,李尙禹,김종팔,박상준,이상철,조동일 경북대학교 센서기술연구소 1998 센서技術學術大會論文集 Vol.9 No.1

Various oxide films are commonly used as a sacrificial layer or etch mask in the fabrication of microelectromechanical systems (MEMS). Large residual strain of these oxide films cause the wafer to bow, which can have detrimental effects on photolithography and other ensuing processes. This paper investigates the residual strain of tetraethoxysilane (TEOS), low temperature oxide (LTO), 7wt% and lOwt% phosphosilicate glass (PSG). Euler beams and a bent-beam strain sensor are used to measure residual strain. A polysilicon layer is used as a sacrificial layer, which is selectively etched away by XeF_(2). First, the residual strain of as-deposited films is measured, which is quite large. These films are annealed at 500℃, 600℃, 700℃ and 800℃ for 1 hour and residual strain is measured. Then, the residual strain after annealing at the conditions for depositing a 2μm thick polysilicon at 585℃ and 625℃ are also measured. Our results show that the 7wt% PSG is best suited as the sacrificial layer for 2μm thick polysilicon processes.

水平 bow-fin이 船體抵抗 및 運動性能에 미치는 影響 : 수평 bow-fin이 선체저항 및 운동성능에 미치는 영향

이상우 釜山大學校 工科大學 1985 工科大學 硏究 報告 Vol.29 No.-

삽목 조건이 ‘설향’ 딸기의 묘소질 및 과실 수량에 미치는 영향

이상우,이용혁,홍점규,최성환,박수정,이상우 (사) 한국생물환경조절학회 2023 생물환경조절학회지 Vol.32 No.4

딸기 ‘설향’ 품종에 대해 삽목 육묘의 조건을 확립하고자 삽수 채취용 모주 선택, 삽수의 적정 엽수 및 삽목 시기를 구명하였다. 삽수 채취는 육묘장 모주와 과실 수확 후 재배 식물체에서 채취하였고, 삽수의 엽수는 0, 1, 2장 그리고 삽목 시기는 6 월 4일부터 7월 9일까지 1주일 간격으로 하였다. 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수의 최종 생존율은 각각 99.5%, 98.7%로높았으며, 유의적인 차이는 없었다. 근수는 육묘장 삽수에서3.1개 많았고, 관부와 잎의 생육은 차이가 없었다. 과실 수량은 육묘장 삽수와 재배 식물체 삽수에서 각각 419.2g, 428.4g 이었지만 유의적인 차이는 없었다. 삽수의 엽수별 생존율은엽수 1, 2장에서 각각 98.1%, 98.3%로 높았고, 0장은 25.3% 로 현저히 낮았다. 근수는 엽수 1, 2장에서 각각 26.0개, 26.3 개로 엽수 0장의 23.5개에 비해 많았다. 관부와 엽의 생육에서는 엽수에 따른 유의적인 차이가 없었다. 과실 수량은 엽수 1, 2장에서 각각 424.4g, 421.5g으로, 0장 396.7g 보다 많았다. 삽목 시기에 따른 삽목 후 생존율은 97.2% 이상으로 높았으며, 처리 간의 유의적인 차이는 없었다. 묘의 지하부와 지상부그리고 관부의 생육은 6월 4일과 11일 삽목에서 가장 좋았다. 과실 수량은 6월 4일, 6월 11일 삽목에서 각각 433.3g, 426.4g 으로 가장 많았으며, 삽목 시기가 가장 늦었던 7월 9일 삽목에서는 384.5g으로 적었다. 딸기 삽목용 삽수 재료는 육묘장 삽수와 과실 수확을 마친 재배 식물체 삽수 모두 가능하였고, 삽수의 적정 엽수는 최소 1장 이상 그리고 경남 지역의 삽목 시기는 6월 4일-11일이 적합하였다. This study was conducted to investigate optimal conditions for cutting propagation of the strawberry cultivar “Sulhyang” through the collection methods of cuttings (runners tips), leaf number of cuttings, and cutting time. Cuttings were collected from the mother plant in the nursery bed (MP) and plants after fruit harvest (HP); the leaf number of cuttings was 0, 1, and 2, and the cutting time was at one-week intervals from June 4 to July 9. The survival rates for MP and HP cuttings were notably high, reaching 99.5% and 98.7%, respectively, but no significant difference was found. The number of roots were higher in MP cuttings, and there was no significant difference in crown and leaf growth. The fruit yields were 419.2 and 428.4 g, for MP and HP cuttings, respectively. The survival rates according to leaf number of cuttings were 98.1% and 98.3% for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and remarkably lower at 25.3% for no remaining leaves. The root numbers were 26.0 and 26.3 for 1 and 2 remaining leaves, respectively, compared with 23.5 for no remaining leaves, with no significant differences in crown and leaf growth. The fruit yields were 424.4 and 421.5 g for 1 and 2 remaining leaves, respectively, and 396.7 g for no remaining leaves. The survival rates according to cutting time was over 97.2% in all cutting time without any difference in each treatment. The root, shoot, and crown of the nursery plant before planting showed the best growth in the cuttings on June 4 and 11, resulting in the highest fruit yields of 433.3 and 426.4 g, respectively, with the lowest yields at 384.5 g for cutting time on July 9. Both MP and HP materials proved suitable for strawberry cuttings. The optimal leaf number for cuttings was at least 1, and the optimal cutting time in Gyeongnam area was evaluated as around June 4-11.

21세기의 동아시아와 한국 그리고 제주도 : "북한관광실태연구" "동북아 해양질서와 국제법" "지방분권화 와 국제화 흐름 속에서 제주도 개발을 다시 생각한다"

김부찬,이상우,허향진 제주대학교 동아시아연구소 1990 東아시아硏究論叢 Vol.1 No.-

호텔 관리자 변혁적·거래적 리더십과 신뢰, 조직유효성간 인과관계 연구

이상우 한국외식경영학회 2007 외식경영연구 Vol.10 No.3

The study is intended to contribute to any effective management of employees by clarifying the relationship between transformational transactional leadership of a hotel manager, trust, and organizational effectiveness.The results were as follows: Frist, the transformational leadership has positive influence on the type of trust in leader in the order of identification based trust, knowledge based trust, and calculus based trust. The transactional leadership has been found to have positive influence on the type of trust in leader in the order of knowledge based trust, identification based trust, and calculus based trust. Second, about the influence that the levels of trust has on organizational effectiveness, it is found that the calculus based trust has positive influence on job satisfaction and affective commitment; the knowledge based trust, on job satisfaction and normative commitment; the identification vased trust, on job satisfaction, respectively. Third, the transformational leadership has positive influence on job satisfaction while having negative influence on continuance commitment and turnover intention. The transactional leadership is analyzed to have positive influence on job satisfaction, affective commitment, continuance commitment, normative commitment, and turnover intention.

해외금융 뉴스 일본 : 일본 국채, 단기금리 하락,장기 금리 상승 추세

이상우 보험연구원 2012 KIRI Weekly(주간포커스) Vol.175 No.-

지형, 개발지역, 수변림과 하천 내 총질소 농도와의 구조적 관계 분석

이상우,이종원,박세린 한국조경학회 2020 韓國造景學會誌 Vol.48 No.1

유역의 토지이용과 하천에 인접한 수변림은 하천의 수질을 결정하는 중요한 요인이다. 특히 유역의 개발지역은 불투수면을 증가시키고, 강우유출 특성과 비점오염물질 거동을 변화시켜 하천의 수질을 악화시킨다. 한편, 수변림은 다양한 수문학적, 생화학적 및 생태학적 작용을 통해 유역의 토지이용이 수질에 미치는 영향을 완화시키는 것으로 보고되어 왔다. 하천의 수질은 다양한 요인들에 의해 영향을 받기 때문에 요인들 간 인과관계를 이해하는 것이 중요하다. 본 연구는 인과관계를 분석할 수 있는 구조방정식모형을 통해 하천환경 특성, 유역의 개발지역 면적, 수변림의 공간적 구조가 총질소 농도에 미치는 구조적 관계 분석에 목적을 두고 수행되었다. 연구 대상지는 낙동강 대권역으로 선정하였으며, 수질 자료는 2012년 환경부의 「전국 하천 수생태계 현황 조사 및 건강성 평가」 결과를 이용하였다. 환경부의 토지피복도에서 수변림과 개발지역 데이터를 추출하여 SPSS Amos 프로그램을 통해 구조방정식모형을 추정하였다. 모형 추정 결과, 개발지역은 고도에 의해 결정되며 수변림의 공간적 구조는 개발지역 면적에 영향을 받는 것으로 나타났다. 또한, 개발지역 면적은 총질소 농도에 직접적인 영향과 수변림의 공간적 구조를 통해 간접적인 영향을 주는 것으로 나타났다. 특히 개발지역은 수변림의 LDI와 총질소 농도를 증가시키고 LPI와 PLAND를 감소시키며 LDI와 PLAND는 총질소 농도를 감소시키는 것으로 나타났다. 본 연구의 결과는 유역의 개발지역이 하천의 총질소 농도에 직간접적으로 영향을 미치나, 수변림이 공간적으로 안정적인 구조를 갖고 식생이 풍부할 경우, 개발지역이 하천 수질에 미치는 부정적인 영향을 상당히 완화시킬 수 있다는 것을 의미한다. 따라서 중장기적인 유역 관리 계획 수립 시, 하천의 수질 회복을 위해서는 유역의 개발지역 비율을 최소화하는 것이 중요하며, 유역 개발에 의한 하천 수질의 영향을 완화하기 위해서는 수변림의 양과 구조의 복원 및 관리가 필요하다. Land use in watersheds has been shown to be a major driving factor in determining the status of the water quality of streams. In this light, scientists have been investigating the roles of riparian vegetation on the relationships between land use in watersheds and the associated stream water quality. Numerous studies reported that riparian vegetation could alleviate the adverse effects caused by land use in watersheds and on stream water quality through various hydrological, biochemical and ecological mechanisms. However, this concept has been criticized as the true effects of riparian vegetation must be assessed by comprehensive models that mimic real environmental settings. This study aimed to estimate a comprehensive structural equation model integrating topography, land use, and characteristics of riparian vegetation. We used water quality data from the Nakdong River system monitored under the National Aquatic Ecosystem Monitoring Program (NAEMP) of the Korean Ministry of Environment (MOE). Also, riparian vegetation data and land use data were extracted from the Land Use/Land Cover map (LULC) produced by the MOE. The number of structural equation models (SEMs) were estimated in Amos of IBM SPSS. Study results revealed that land use was determined by elevation, and developed areas within a watershed significantly increased the concentration of Total Nitrogen (TN) in streams and LDI in riparian vegetation. On the contrary, developed areas significantly reduced LPI and PLAND. At the same time, PLAND and LDI significantly reduced the concentration of TN in streams. Thus, it was clear that developed areas in watersheds had both a direct and an indirect impact on the concentration of TN in streams, and spatial pattern and the amount of vegetation of riparian vegetation could significantly alleviate the negative impacts of developed areas on TN concentration in streams. To enhance stream water quality, reducing developed areas in a watershed is critical for long-term watershed management plans, restoration patterns for riparian vegetation could be immediately implemented since riparian areas were less developed than most other watersheds.

정책 환경 불확실성을 반영한 확장 Taylor 준칙의 추정 및 평가

이상우,주동헌 한국경제연구학회 2022 한국경제연구 Vol.40 No.1

This study extends the Taylor rule with the uncertainty index, based on the Bank of Korea's 『Monetary Policy Report』. When considering the role of uncertainty in determining the policy interest rate, the extended Taylor rule is expected to reduce the information asymmetry between the central bank and the public. The goodness of fit of the extended Taylor rule for the period of 2004 to 2021 improved significantly. We also estimated the extended Taylor rule for high and low uncertainty regimes. The estimated coefficient of the uncertainty for the low uncertainty regime was larger than that of the high uncertainty regime, which explains the situation in which the low interest rate trend has continued since the global financial crisis. 본 연구는 높아지는 불확실성 하에서의 통화정책 환경 변화에 대응하여 불확실성을 반영한 확장 Taylor 준칙을 추정하고 평가를 시도하였다. 확장 Taylor 준칙은 정책금리 결정에 있어서의 불확실성의 영향을 계량화하여 정책금리 결정요소로 포함하는 만큼 중앙은행과 경제주체간 정보의 비대칭성을 완화할 것으로 기대할 수 있다. 2004년 1/4분기 이후 2021년 4/4분기까지를 대상기간으로 기존의 Taylor 준칙에 한국은행 『통화신용정책보고서』를 기초로 작성된 ‘통화정책 환경 불확실성지수’를 추가한 확장 금리준칙을 추정한 결과 정책금리에 대한 설명력이 현저히 향상되는 것을 확인하였다. 한편 마코프 국면전환모형을 통해 불확실성 국면별로 확장 금리준칙을 추정해 보면 불확실성이 낮은 국면에서 오히려 불확실성에 대한 정책금리의 반응이 큰 것으로 나타났다. 이러한 추정결과는 글로벌 금융위기 이후 저금리 기조가 이어지면서 상당 폭의 준칙금리 갭이 지속된 상황에 대한 설명으로서 의미를 가지는 것으로 생각된다.

산업체 소식 : 친환경에너지로 식물 키운다 경기도, 10억원 투입 오는 10월 국내 최초 태양광 스마트식물공장 구축

이상우 한국콩연구회 2014 한국콩연구회소식 Vol.322 No.-

한국현대소설에 나타난 어머니와 자식과의 관계

이상우 한국국어교육연구회 1995 국어교육 Vol.- No.90