완전도체 스트립 회절격자에 의한 E-분극산란 ( E-Polarized Scattering by a Perfectly Conducting Strip Grating )

윤의중,이재기,김남일 대한전자공학회 1993 대한전자공학회 세미나 Vol.1993 No.-

수소화 및 전자빔 사진식각 기술에 의한 비가역적마이크로 크기의 강자성 구조체 개발

윤의중 대한전자공학회 2006 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.43 No.1

In this study, we developed irreversible and stable micro-size ferromagnetic structures utilizing hydrogenation and electron-beam lithography processes. The compositionally modulated (CM) Fe-Zr thin films that had average compositions FexZr100-x with x=65-85%, modulation periods of similar to 1 nm, and total thicknesses of similar to 100 nm were prepared. The magnetic properties of CM Fe-Zr thin films were measured using a SQUID magnetometer, VSM, and B-H loop tracer. After hydrogenation, the CM films exhibited larger magnetic moment increases than similar homogeneous alloy films for all compositions and they showed largest increase in Fe80Zr20 composition. After aging in air at 300 ˚K, the hydrogenated Fe80Zr20 CM films showed much larger magnetic moment increases, indicating that they relax to a stable, irreversible, soft magnetic state. The selective hydrogenation through electron-beam lithographed windows were performed after the circle shaped windows were prepared on Fe80Zr20 CM films by electron beam lithography. The hydrogenation through electron-beam resist and UV lithographic techniques give a 49 % magnetic moment increase. This method can be applied to nano scale structures. 본 연구에서는 수소화 와 전자빔 사진식각 공정을 이용하여 비가역적이며 안정화된 마이크로 크기의 강자성 구조체를 개발 하였다. FexZr100-x (x=65-85%)의 평균성분과 약 1 nm 정도의 성분변조주기를 가지며 총두께가 100 nm 정도인 성분변조(CM) 된 Fe-Zr 박막이 적층되었다. CM Fe-Zr 박막의 자성성질은 SQUID magnetometer, VSM, 그리고 B-H loop tracer로 측정하였다. 수소화 과정 후에 CM 박막은 유사한 균질의 합금 막 보다 모든 성분에서 더 큰 자기 모멘트를 나타내었고 Fe80Zr20 성분에서 가장 큰 증가를 보였다. 수소화 된 Fe80Zr20 CM 막은 상온에서 aging을 거친 후에 아주 큰 자기모멘트 증가를 보여 안정되고 비가역적이며 연자성 상태로 변화됨을 알 수 있었다. 전자빔 사진식각기술을 사용하여 원형의 윈도우를 Fe80Zr20 CM막 위에 형성한 후에 이 윈도우를 통하여 선택적인 수소화를 실행하였다. 사진식각기술을 통한 수소화는 49 %의 자기 모멘트를 증가 시켰다. 이 방법은 나노 크기의 구조에도 적용할 수 있다.

청소년들을 위한 합창철학

윤의중 한국음악교육학회 2017 학술세미나 및 연수회 Vol.2017 No.-

압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구

윤의중,김좌연,이태범,이석태 대한전자공학회 2004 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.41 No.03

In this study, Si anisotropic etching characteristics of tetramethylammonium hydroxide (TMAH)/ ammonium persulfate (AP)/isopropyl alcoho l(IPA) solutions were investigated to realize the optimum structure of a diaphragm for the piezoresistive pressure sensor application. Due to its low toxicity and its high compatibility with the CMOS processing, TMAH was used as Si anisotropic etchants. The variations of Si etch rate on the etching temperature, TMAH concentration, and etching time were obtained. With increasing the etching temperature and decreasing TMAH concentrations, the Si etch rate is increased while a significant non-uniformity exists on the etched surface because of formation of hillocks on the (100) surface. The addition of IPA to TMAH solution leads to smoother etched surfaces but, makes the Si etch rate lower. However, with the addition of AP to TMAH solution, the Si etch rate is increased and an improvement in flatness on the etching front is observed. The Si etch rate is also maximized with increasing the number of addition of AP to TMAH solution per one hour. The Si square membranes of 20㎛ thickness and 100~400㎛ one-side length were fabricated successfully by applying optimum Si etching conditions of TMAH/AP solutions. 본 논문에서는 압저항 압력센서 응용을 위한 최적의 멤브레인 구조를 만들기 위하여 tetramethylammonium hydroxide (TMAH)/ ammonium persulfate (AP)/isopropyl alcoho l(IPA) 용액의 Si 이방성 식각 특성을 연구 하였다. 독성이 적고 CMOS공정과의 높은 호환성 때문에 TMAH 를 Si 이방성 식각용액으로 사용하였다. 식각온도, TMAH농도 및 식각시간에 따른 Si 식각률의 변화를 측정하였다. 식각온도를 증가 시키고 TMAH농도 를 감소 시킴에 따라 Si 식각률은 증가한 반면에 (100)면에 hillock 이 생겨 식각표면의 평탄도가 감소하였다. TMAH 에 IPA 용액을 첨가하면 식각표면의 평탄도를 증가 시키나 Si의 식각률을 감소 시켰다. 그러나, TMAH 에 AP 용액을 첨가하면 Si의 식각률과 식각표면의 평탄도 모두를 증가 시켰다. 또한 시간당의 AP 첨가 횟수를 증가 시킴으로서 Si 식각률을 최대화 시킬 수 있었다. TMAH/AP 용액의 최적의 Si 식각조건을 적용하여 한변의 길이가 100~400㎛이고 두께가 20㎛인 정사각형 모양의 Si 멤브레인을 성공적으로 제작 하였다.

2중 유전체층 사이의 저항띠 격자구조에 의한 TM 산란에 관한 연구

윤의중 한국인터넷방송통신학회 2021 한국인터넷방송통신학회 논문지 Vol.21 No.1

본 논문에서는 2중 유전체층 사이의 저항띠 격자구조에 의한 E-분극 전자파 산란 문제는 전자파 수치해석방법으 로 알려진 PMM(Point Matching method)를 이용하여 해석하였다. 경계조건들은 미지의 계수를 구하기 위하여 이용하 였고, 저항띠의 해석을 위해 저항띠 경계조건을 적용하였다. 2중 유전층 사이의 비유전율과 두께 및 저항띠의 저항율에 대해 정규화된 반사전력과 투과전력을 계산하였다. 전반적으로 저항띠의 저항율이 작아지거나 유전체 층의 비유전율이 증가할수록 반사전력은 증가하였으며, 반사전력이 증가하면 투과전력은 상대적으로 감소하였다. 특히, 2중 유전체 층의 비유전율이 증가할수록 반사전력의 변곡점의 최소 값은 격자주기가 작아지는 방향으로 이동하였다. 본 논문의 제안된 구조에 대한 수치결과들은 기존논문의 수치해석 결과들과 비교하여 매우 잘 일치하였다. In this paper, n this paper, E-polarized electromagnetic scattering problems by a resistive strip grating between a double dielectric layer are analyzed by applying the PMM(Point Matching Method) known as a numerical method of electromagnetic fileld. The boundary conditions are applied to obtain the unknown field coefficients, and the resistive boundary condition is applied to analysis of the resistive strip. The numerical results for the normalized reflected and transmitted power are analyzed by according as the relative permittivity and thickness of the double dielectric layers, and the resistivity of resistive strip. Overall, when the resistivity of the resistive strip decreased or the relative permittivity of the dielectric layer increased, the reflected power increased, and as the reflected power increased, the transmitted power decreased relatively. Especially, as the relative permittivity of double dielectric layer increases, the minimum value of the variation curve of the reflected power shifted in the direction that the grating period decreased. The numerical results for the presented structure of this paper are shown in good agreement compared to those of the existing papers.

히말라야의 토양 곰팡이, Preussia sp. 배양액으로부터 추출된 화학 성분들 및 항 염증 활성

윤의중,서승석,임정한,김일찬,한세종,Youn, Ui Joung,Seo, Seung Suk,Yim, Jung Han,Kim, Il Chan,Han, Se Jong 한국미생물학회 2018 미생물학회지 Vol.54 No.1

히말라야산의 동토에서 발견된 Preussia sp.로부터 신규 벤조산 유도체 benzyl 2,4-di(benzyloxy)benzoate (1)와 6개의 알려진 화합물들(2-7)이 분리되었다. 신규물질 및 다른 화합물들의 구조는 1D-와 2D NMR실험 및 문헌값과의 비교에 의하여 결정되었다. 화합물 2-7은 동 속 및 Sporormiaceae과에서 처음으로 얻어졌다. 분리된 물질들은 쥐의 대식세포 RAW 264.7 cells에서 lipopolysaccharide (LPS) 처리에 의하여 유도된 nitric oxide (NO)의 생성량 억제를 측정하였다. 화합물 1번과 2번은 100 mg/ml의 농도로 처리했을 때 LPS에 의하여 유도된 NO 생성량을 각각 50.7% 및 88.5%까지 억제하는 것을 보였다. A new naturally occurring benzoic acid derivative, benzyl 2,4-di(benzyloxy)benzoate (1) and six known compounds (2-7) were isolated from the fungus, Preussia sp. found in frozen soil of the Himalaya Mountain. The structures of the new compound, together with the known compounds were determined by 1D-and 2D-NMR experiments, as well as comparison with published values. In addition, to the best of our knowledge, the known compounds 2-7 were isolated for the first time from the genus Preussia and the family Sporormiaceae. The isolates were evaluated for cancer chemopreventive potential based on their ability to inhibit nitric oxide (NO) production induced by lipopolysaccharide (LPS) in mouse macrophage RAW 264.7 cells in vitro. Compounds 1 and 2 inhibited NO production by 50.7% and 88.5% at a concentration of 100 mg/ml, respectively.

모양으로 유도된 자기 이방성을 가진Ni80Fe20/SiO2 다층막의 자기적 성질

윤의중,정명희 대한전자공학회 2007 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.44 No.2

This study investigated the magnetic properties of Ni80Fe20/SiO2 laminates with shape-induced magnetic anisotropy. The multilayer films were deposited on Si or upilex substrates, from separate Ni80Fe20 and SiO2 (at %) alloy targets using a rf diode sputtering system. Ni80Fe20/SiO2 laminates with a various number of bilayers (N) were prepared. The laminates with ellipse array patterns were prepared using photolithographic technique. The magnetic properties were measured at room temperature using a B-H hysteresisgraph and a high frequency permeameter. The several steps during domain wall reversal were observed in multilayer films, attributing to inter-magnetic layer coupling. Intrinsic uniaxial anisotropy field increases with N. The experimental values of the total anisotropy field are found to be in good agreement with the calculated values. This study utilized the shape anisotropy of the laminated film objects with small ellipse array patterns to induce a larger uniaxial anisotropy so as to maximize their operating frequency. 본 연구에서는 모양으로 유도된 자기 이방성을 가진 Ni80Fe20/SiO2 laminates 다층막의 자기적 성질을 조사 하였다. 다층막은 rf 다이오드 스퍼터링 시스템을 이용하여 개개의 Ni80Fe20 와 SiO2 (at%) 합금 타겟들로부터 Si 또는 upilex 기판에 적층하였다. 여러 가지 개수(N)의 이중층으로 구성된 Ni80Fe20/SiO2 laminates 가 적층되었다. 사진식각기술을 사용하여 타원형 어레이 패턴을 가진 Ni80Fe20/SiO2 laminates 가 제작 되었다. 자기적 성질은 B-H 히스테리시스 그래프와 고주파 permeameter를 사용하여 상온에서 측정 되었다. 다층막에서 도메인 reversal 시 발견된 몇 개의 스텝들은 자성체 박막 사이에 존재하는 coupling 때문으로 사료된다. 내재하는 intrinsic 일축 자기 이방성 field는 N이 증가하면 증가한다. 전체 자기 이방성 field의 실험값은 계산된 값과 잘 일치 하였다. 본 연구에서는 소형의 타원형 어레이를 가진 다층막의 laminate 구조체를 이용하여 더 큰 일축 자기 이방성을 유도하고 그 결과 laminate의 동작 주파수를 극대화시키고자 하였다.

가연성 가스센서 개발

윤의중,박노경,김좌연,진현준,송명렬 호서대학교 공업기술연구소 2007 공업기술연구 논문집 Vol.26 No.1

본 논문에서는 표면 마이크로머시닝 (surface micromachining) 기술을 이용하여 100x100 -260〉〈260 사 m2 의 면 적을 가진 열적으로 고립된 micro-hot-plate(MHP) 을 제작하였다 . ANSYS 시물레이터tool 을 이용하여 센서의 최 적 설계를 수행하였다 . micro-heater 재 료 로 P(phosphorus) 가 도핑된 poly-Si 를 , 온도 감지 재료로 A1 을 ,가스 감지재료로 Sn02 ( 수소 감지용 ) 또는 ZnO (NH3 감지용 ) 박막을 사용하였다 . 가스센서의 상세한 제작 공정을 기술하였다 .

접지된 2중 유전체층 사이의 저항띠 격자구조에 의한 H-polarized 전자파 산란에 관한 연구

윤의중 한국인터넷방송통신학회 2022 한국인터넷방송통신학회 논문지 Vol.22 No.1

In this paper, thr H-polarized scattering problems by a resistive strip grating in a grounded double dielectric layer are analyzed by applying the PMM(point matching method) known as a numerical method of electromagnetic fileld. The boundary conditions are applied to obtain the unknown field coefficients, the scattered electromagnetic fields are expanded in a series of Floquet mode functions, and the resistive boundary condition is applied to analysis of the resistive strip. The %error of the convergence of the reflected power according to the relative permittivity of the dielectric layer and the size of the number of rows in the square matrix was compared, as the size of the number of rows in the square matrix increased, the accuracy of the reflected power increased. As the resistivity of the resistive strip decreased, the thickness of the dielectric layers decreased, and the relative permittivity of the dielectric layers increased, the reflected power increased. The numerical results for the presented structure of this paper having a grounded double dielectric layer are shown in good agreement compared to those of the existing papers. 본 논문에서는 접지된 2중 유전체층 사이의 저항띠 격자구조에 의한 H-polarized 산란 문제는 전자파 수치해석방법으로 알려진 PMM(point matching method)을 이용하여 해석하였다. 경계조건들은 미지의 계수를 구하기 위하여이용하였고, 산란 전자계는 Floquet 모드 함수의 급수로 전개하였고, 저항띠의 해석을 위해 저항경계조건을 적용하였다. 유전층의 비유전율과 정방행렬의 행수의 크기에 따른 반사전력의 수렴도의 %error를 비교하였으며, 정방행렬의 행수의 크기가 클수록 반사전력의 정확도는 증가하였다. 저항띠의 저항율이 작아지거나, 유전층의 두께가 작아지거나, 그리고 유전체 층의 비유전율이 증가하면, 반사전력은 증가하였다. 접지된 2중 유전체층을 가지는 본 논문의 제안된 구조에 대한 수치결과들은 기존 논문의 수치해석 결과들과 비교하여 잘 일치하였다.

2중 유전체층 사이의 완전도체띠 격자구조에 의한 TE 산란 해석

윤의중 한국인터넷방송통신학회 2019 한국인터넷방송통신학회 논문지 Vol.19 No.2

In this paper, TE(transverse electric) scattering problems by a conductive strip grating between a double dielectric layer are analyzed by applying the FGMM(Fourier-Galerkin moment method) known as a numerical method of electromagnetic fileld. The boundary conditions are applied to obtain the unknown field coefficients, and the conductive boundary condition is applied to analysis of the conductive strip. The numerical results for the normalized reflected and transmitted power are analyzed by according as the width and spacing of conductive strip, the relative permittivity and thickness of the double dielectric layers, and incident angles. Generally, as the value of the dielectric constant increases, the reflected power increases and the transmitted power decreases, respectively. As the dielectric constant increases, the current density induced in the strip increases as it goes to both strip ends. The numerical results for the presented structure of this paper are shown in good agreement compared to those of the existing papers. 본 논문에서는 2중 유전체층 사이의 완전도체띠 격자구조에 의한 TE(transverse electric) 산란 문제는 전자파 수치해석 방법으로 알려진 FGMM(Fourier-Galerkin moment method)를 이용하여 해석하였다. 경계조건들은 미지의 계수를 구하기 위하여 이용하였고, 도체띠의 해석을 위해 완전도체 경계조건을 적용하였다. 도체띠의 폭과 주기, 2중 유전층 사이의 비유전율과 두께 및 입사각에 대해 정규화된 반사전력과 투과전력을 계산하였다. 전반적으로 유전율의 값이 증가하면 반사전력은 증가하며, 상대적으로 투과전력은 감소하였다. 유전율이 증가할수록 도체띠에 유도되는 전류밀도는 양쪽 끝으로 진행하면서 증가하였다. 본 논문의 제안된 구조에 대한 수치결과들은 기존 논문의 수치해석 결과들과 비교하여 매우 잘 일치하였다.