다양한 데이터 전처리 기법과 데이터오버샘플링을 적용한 GRU 모델 기반 이상 탐지 성능 비교

유승태 아주대학교 2022 국내석사

최근 사이버보안 패러다임의 변화에 따라, 인공지능 구현 기술인 기계학습과 딥러닝 기법을 적용한 이상탐지 방법의 연구가 증가하고 있다. 본 연구에서는 공개 데이터셋인 NGIDS-DS(Next Generation IDS Dataset)를 이용하여 GRU(Gated Recurrent Unit) 신경망 기반 침입 탐지 모델의 이상(anomaly) 탐지 성능을 향상시킬 수 있는 데이터 전처리 기술에 관한 비교 연구를 수행하였다. 또한 정상 데이터와 공격 데이터 비율에 따른 클래스 불균형 문제를 해결하기 위해 DCGAN(Deep Convolutional Generative Adversarial Networks)을 적용한 오버샘플링 기법 등을 사용하여 오버샘플링 비율에 따른 탐지 성능을 비교 및 분석하였다. 실험 결과, 시스템 콜(system call) 특성과 프로세스 실행패스 특성에 Doc2Vec 알고리즘을 사용하여 전처리한 방법이 좋은 성능을 보였고, 오버샘플링별 성능의 경우 DCGAN을 사용하였을 때, 향상된 탐지 성능을 보였다. According to the recent change in the cybersecurity paradigm, research on anomaly detection methods using machine learning and deep learning techniques, which are AI implementation technologies, is increasing. In this study, a comparative study on data preprocessing techniques that can improve the anomaly detection performance of a GRU (Gated Recurrent Unit) neural network-based intrusion detection model using NGIDS-DS (Next Generation IDS Dataset), an open dataset, was conducted. In addition, in order to solve the class imbalance problem according to the ratio of normal data and attack data, the detection performance according to the oversampling ratio was compared and analyzed using the oversampling technique applied with DCGAN (Deep Convolutional Generative Adversarial Networks). As a result of the experiment, the method preprocessed using the Doc2Vec algorithm for system call feature and process execution path feature showed good performance, and in the case of oversampling performance, when DCGAN was used, improved detection performance was shown.

랫드의 혈액 지질 감소에 대한 오메가 6와 3 지방산 비율의 생화학적 메카니즘

유승태 강원대학교 일반대학원 2017 국내석사

부모 세대부터 섭취한 식이는 후손에서 혈액 지질 관련한 영양소 대사, 건강 및 성장발육에 영향을 미칠 수 있다. 본 연구는 인체영양 바이오 모델로서 부모세대부터 차세대 랫드에 이르기까지 오메가 6와 3 지방산 비율이 서로 다른 식이(0, 1:1, 8:1, 19:1)를 각각 급여하였을 때 혈액 지질, 간 기능 관련 효소 및 성장능력에 관한 생화학적 대사의 메카니즘을 조사하였다. 체중 증가량 및 식이효율은 대조구와 비교할 때 오메가-6와 오메가-3 비율 8:1 이하 그룹에서 높았다(p<0.05). 간, 비장은 대조구와 비교할 때 오메가-6와 오메가-3 비율 8:1 이하 그룹이 높았으며 흉선은 오메가-6와 오메가-3 1:1 비율 그룹이 높았다(p<0.05). 간 기능을 나타내는 아스파르테이트 아미노전달효소(AST), 알라닌아미노기전달효소(ALT)와 혈액 중성지방, 총콜레스테롤, 저밀도지질콜레스테롤(LDL-C. low density lipoprotein-cholesterol)의 수준은 오메가-6와 오메가-3 비율 8:1 이하 그룹에서 낮았다(p<0.05). HMG-CoA reductase activity는 대조구와 비교할 때 오메가-6와 오메가-3 비율 8:1 이하 그룹에서 강하게 억제되었으나 분을 통한 스테롤의 배설량은 촉진되었다(p<0.05). 혈액 오메가-6와 오메가-3 비율은 섭취한 식이 내 오메가-6와 오메가-3 비율 증가에 따른 농도 의존적으로 감소하였다(p<0.05). 본 연구결과는 부모 세대로부터 차세대 랫드에 이르기까지 오메가-6와 오메가-3 비율이 8:1 이하의 낮은 식이를 섭취하면 영양소 대사작용 활성화 메카니즘에 의한 혈액 중 유해지질 감소, 간 기능 유지 및 성장을 자극한다는 새로운 사실을 발견하였다. Diet that has been consumed from the parental generation might have an effect on blood lipid-related nutrient metabolism, health, growth and development in descendants. This study as a human nutrition biomodel was performed to investigate the biochemical metabolism of blood lipid and liver function-related enzymes and growth ability in rats ranging from the parental generation to the next rat generation for each diet with different ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids (0, 1:1, 8:1, and 19:1). Weight gain and dietary efficacy were high in the groups receiving 8:1 or lesser ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids compared to the control group (p<0.05). Compared to the control group, hepatosplenic figure was high in the groups receiving 8:1 or lesser ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids while thymic figure was high in the group receiving 1:1 ratio of omega-6 to omega-3 fatty acids (p<0.05). Levels of aspartate aminotransferase (AST) and alanine aminotransferase (ALT), as indicators of blood triglycerides, total cholesterol, low density lipoprotein-cholesterol (LDL-C), and liver function, were low in the groups receiving 8:1 or lesser ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids (p<0.05). HMG-CoA reductase activity was strongly inhibited while the amount of sterol excreted in stools was boosted in the groups receiving 8:1 or lesser ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids compared to the control group (p<0.05). The ratio of blood omega-6 to omega-3 fatty acids was reduced in a concentration-dependent manner according to the increase in the ratio of omega-6 to omega-3 fatty acids within the diet feed (p<0.05). According to the result of this study, it was newly found that diet with 8:1 or lesser ratios of omega-6 to omega-3 fatty acids reduces the hazard of blood lipids and stimulates liver function maintenance and growth by the nutrient metabolism-activating mechanism from the parental generation to the next rat generation

사회적기업의 사회자본 형성과 노동통합 효과 : 학교 밖 청소년 노동통합형 사례를 중심으로

유승태 한신대학교 2017 국내석사

The purpose of this study is to analyze the effect of intervention for solving social problems of work integration social enterprises(WISEs) and to identify the role of social capital that mediates its effectiveness. First of all, the review of the literature has examined the nature of out-of-school youth problems, limitations of current support policies, and the strengths of work integration social enterprises. The nature of the out-of-school youth problem is as follows: First, the risk of work exclusion of out-of-school youths with the lowest labor market status is increasing due to economic deterioration and employment insecurity. Second, out-of-school youths are hard to rise labor market status due to loss of human capital formation, lack of institutional cultural capital, and non-formation of relation capital. Third, their self-esteem and self-efficacy are very low due to poor working environment and repeated discrimination. The limitations of the current support policy are as follows: First, there is a large gap between the scope of the support law and the reality of out-of-school youth. Second, the policy to promote employment of out-of-school youth does not reflect the psychological and social characteristics of them. It is expected that the strengths of WISEs will be as follows. First, it can help out-of-school youth form social capital. The communication structure of WISEs and the way of organizing the resources from the outside have a character which is well suited to social capital. Second, the social capital formation strategy of WISEs will have a positive effect on the employment motivation of out-of-school youth, strengthening of employment capacity, and provision of out-of-school youth friendly employment opportunities. To test whether these expectations are in line with reality, I conducted multiple-case study of four WISEs with the largest deviation from the three main criteria: 'major target group', 'organization (transition) type' and 'labor integration method'. What differentiating strategies are used by companies and how they are effective are examined using pattern-matching techniques. The main results are as follows. The case enterprises took a strategy of strengthening the resilience to enhance the self-esteem and self-efficacy of the youth, and coordinated this strategy with the goals and activities of the organization. In this strategy, 'bonding social capital' and 'bridging social capital' formed by case companies were used. The social capital formed through the case companies contributed to enhancement of resilience of youth and strengthening of employment capacity and career attitude. In addition, we were able to mobilize human and material resources through local networks, which enabled us to increase productivity and reduce costs. And they reduced the work exclusion of out-of-school youth in the community by creating a venue where young people and communities meet and connect. This study is different in that it focuses on the social enterprises in the labor sector of out-of-school youth, and has demonstrated empirically the contributions of social enterprises to the work integration of out-of-school youths through case study. 이 연구의 목적은 노동통합 사회적기업의 사회문제 해결을 위한 개입이 어떤 효과를 발휘하는지 분석하고, 그 효과성을 매개하는 사회자본(social capital)의 역할을 규명하는 것이다. 이를 위해 먼저, 문헌검토를 통해 현행 학교 밖 청소년 문제의 성격, 현행 지원정책의 한계, 노동통합 사회적기업의 강점을 이론적으로 검토했다. 학교 밖 청소년 문제의 성격은 다음과 같다. 첫째, 경기 악화와 고용 불안 확대로 인해 노동시장 지위가 가장 낮은 학교 밖 청소년의 노동배제 위험이 더 커지고 있다. 둘째, 학교 밖 청소년은 인적자본 형성 기회 상실, 제도적 문화자본 부재, 관계자본 미형성으로 인해 노동시장 지위 상승이 어렵다. 셋째, 열악한 노동환경과 반복된 차별로 인해 자존감과 자기효능감이 매우 낮다. 현 지원정책의 한계는 첫째, 지원법의 대상 범위와 현실의 학교 밖 청소년 범위 사이에 괴리가 크다. 둘째, 학교 밖 청소년 고용 촉진을 위한 정책은 청소년들의 심리‧사회적 특징을 반영하고 있지 못하다. 이런 현실에 대해 노동통합 사회적기업이 갖는 강점은 다음과 같을 것으로 예상됐다. 첫째, 청소년이 사회자본을 형성하는 데 도움을 줄 수 있을 것이다. 노동통합 사회적기업의 조직 내 의사소통구조, 외부로부터 자원을 조직하는 방식에서 사회자본과 잘 조응하는 성격을 띈다. 둘째, 기업의 사회자본 형성 전략은 학교 밖 청소년의 취업동기 활성화, 취업역량 강화, 청소년 친화적 고용기회 마련에 긍정적 효과를 발휘할 것이다. 이러한 예상이 현실과 맞는지 검증하기 위해, ‘주요 표적집단’, ‘조직(이행) 형태’, ‘노동통합 방법’ 세 기준에서 최대 편차를 보이는 네 개의 사회적기업을 대상으로 다중사례연구를 실시했다. 기업이 사용하는 차별화된 전력이 무엇이며, 그 전략은 어떤 효과를 갖는지 패턴 매칭 기법을 사용해 검증하고자 했다. 주요 연구 결과는 다음과 같다. 사례 기업들은 청소년의 자존감과 자기효능감을 높이는 회복탄력성 강화 전략을 취하며, 이 전략을 조직의 목표·활동과 조율하고 있었다. 그리고 이 전략에 사례 기업들이 형성한 결속형 사회자본과 연계형 사회자본이 사용되고 있었다. 사례 기업을 통해 형성된 사회자본은 청소년의 회복탄력성을 높이고 취업역량 강화와 진로태도 성숙에 기여했다. 또한 지역 네트워크를 통해 인적‧물적 자원을 동원할 수 있었으며, 이를 통해 기업의 생산성을 높이고 비용을 절감할 수 있었다. 그리고 청소년과 지역사회가 만나고 연결되는 기회와 장을 만듦으로써 지역사회에서 학교 밖 청소년 노동배제 요인을 감소시키는 측면도 발견할 수 있었다. 이 연구는, 그동안 거의 연구가 이뤄지지 않았던 학교 밖 청소년 노동 분야의 사회적기업에 주목하고, 사례연구를 통해 학교 밖 청소년의 노동통합에 사회적기업이 기여하는 바를 실증적으로 규명했다는 점에서 차별성을 갖는다.

Study on Extreme Ultraviolet Lighting using Carbon Nanotube-based Cold Cathode Electron Beam

유승태 경희대학교 대학원 2022 국내박사

I studied the characteristics and applications of light generated by irradiating carbon nanotube (CNT)-based cold cathode electron beam (C-beam) using electrons emitted from CNT emitters on various materials. Studies were conducted step by step with visible light, UV lighting, and EUV lighting using C-beam irradiation, and in this thesis, UV lighting and EUV lighting are discussed. UV lighting is produced by irradiating C-beam to materials with various bandgap energies. Light generation from UVA to UVC was demonstrated using C-beam irradiation on SrB4O7:Eu, Zn2SiO4, AlGaN MQWs, and sapphire. In particular, far UVC in the region of 200 to 230 nm was generated using sapphire. Far UVC lighting is emerging as a new technology of ultraviolet germicidal irradiation (UVGI) that is harmless to the human body, that is, selectively sterilizes viruses, pathogens, bacteria, and germs. C-beam was irradiated on sapphire to generate far UVC with a wavelength of 226 nm with a large lighting area, high efficiency, and high light output. In addition, by utilizing the material properties of sapphire, it was confirmed that the wavelength and intensity of the light source could be controlled according to the C-beam irradiation conditions, and this was applied to E. coli sterilization and photo-lithography. Far UVC using sapphire and C-beam irradiation is expected to contribute to the prevention of infectious diseases by selectively sterilizing infectious agents in places where people are, such as public facilities, crowded airports, schools, convention centers, operating rooms, etc. Currently, in semiconductor exposure equipment, EUV light is generated and applied by hot plasma using atom ionization through laser irradiation to liquid Sn. Since liquid Sn is used, the disadvantages of life, efficiency, and light output decrease due to the debris generation problem are caused. I used C-beam irradiation to generate EUV light with minimal debris and a long lifespan. Metals have different emission lines due to transitions depending on electron binding energies. By irradiating C-beam to Sn in metal, EUV light generation and intensity control were demonstrated using a photodiode. EUV intensity can be adjusted by changing the anode voltage, current, and electron incident angle. The generated EUV was confirmed through spectra simulation and transmittance change using a filter. Based on this, when C-beam is irradiated to metals other than Sn, it is predicted that different light emission lines will be generated. Sn is a metal with a low melting point, and the usable area where debris is minimized was identified by confirming the process window in which Sn does not melt through temperature measurement. Multiple C-beam irradiations are proposed to increase light output. When electrons are irradiated to Sn, the incident angle and the light emission angle are similar. When light generated from two C-beams is concentrated using an optical path, it is confirmed that the EUV intensity is doubled when two C-beams are used compared to when one C-beams are used, and through this, the possibility of applying multiple C-beam irradiations is confirmed. In addition, the application was confirmed by lithography based on the light generated by irradiating the C-beam to Sn using PMMA as a photoresist. Light generation through C-beam irradiation can control the wavelength by the voltage injected into the metal target and filtering, and it will be possible to increase the EUV intensity through multiple C-beam irradiations and a long lifespan with minimal debris through the process window. Based on these characteristics, a light source with a wavelength of 13.5 nm and a wavelength smaller than 13.5 nm is produced using C-beam irradiation, which is thought to bring about a paradigm shift in next-generation lithography, and inspection equipment, and various industries and fields. I hope that UV lighting and EUV lighting using C-beam irradiation will contribute to the advancement of mankind through the prevention of infectious diseases and the development of semiconductor technology.

금리기간구조의 실물경제 예측력에 관한 연구

유승태 연세대학교 대학원 2001 국내석사

97년 외환위기 이후 금융시장의 재편, 기업퇴출, 예금자보호제도의 변경으로 인해 국채가 새로운 투자수단으로 인식되면서 지표채권의 위치를 확보하고 있다. 이에 따라 수익률곡선의 형성이 가능해지면서 수익률곡선을 이용한 금리, 인플레이션, 경기예측이 관심의 대상이 되고 있다. 동일채권의 만기에 따른 수익률구조를 금리기간구조, 또는 수익률곡선이라 하는데 금리기간구조의 결정에 경제주체들의 기대가 반영된다면 예측지표로서 충분한 역할을 할 수 있을 것이다. 장기금리는 미래의 경제상황에 대한 기대가 주요 결정요인이다. 불황기의 금리는 하락하는 것이 일반적인 현상이므로 불황이 예상된다면 장기채권의 수요가 증가하고 이는 현재의 장기금리를 하락시킨다. 이 경우 단기금리는 크게 움직이지 않기 때문에 금리스프레드는 감소한다. 정부의 긴축정책에 의해 경기침체가 유발되어도 금리스프레드와 불황의 발생은 부의 상관관계를 갖는다. 긴축적인 통화정책에 의해 단기금리는 즉각 상승하나 장기금리는 정책이외의 변수에 의해 많은 영향을 받기 때문에 상승속도가 단기금리에 비해 늦고, 스프레드는 감소하게 된다. 경기호황의 경우는 이와 반대의 메카니즘이 작용한다. 따라서 실물경기와 스프레드는 정의 상관관계를 갖는 것으로 알려져 있다. 기존의 실증분석은 선형회귀모형과 프로빗(Probit)모형을 활용한다. 미국등 선진국의 자료를 이용한 실증분석결과 수익률곡선의 기울기와 실물경기는 정의 상관관계가 있는 것으로 확인되었다. 통화지표, 주가지수 등 다른 경제지표보다 우수한 예측력을 보였으며 계량경제모형에 의한 예측방식에도 뒤지지 않는 예측지표임이 입증되었다. 우리나라의 자료를 이용한 실증분석에서는 프로빗모형을 사용하여 불황예측력을 검증해 보았다. 피설명변수는 산업생산지수를 이용한 불황변수를 사용했으며 우변의 설명변수로 몇가지 금리스프레드를 금리기간구조의 대변수로 사용하였다. 스프레드중에서 회사채-콜 스프레드의 예측력이 가장 높은 것으로 확인되었는데 이는 회사채수익률이 주로 시장에서 결정되어 정책의지의 작용가능성이 다른 채권에 비해 적었기 때문이라고 추정된다. 6개월 이내의 단기에서는 통안채-콜 스프레드의 예측력이 높은 것으로 나타났다. 통안채는 만기가 회사채보다 짧고 발행주체가 한국은행이므로 정책의지가 반영될 여지가 회사채보다 높은데 원인이 있을 것이다. 주가지수, 경기선행지수, 통화증가율보다 금리스프레드의 예측력이 높았으며, 본원통화 증가율과 함께 설명변수로 도입된 회귀모형의 추정결과 금리스프레드는 본원통화증가율에 포함된 정보이외의 부분을 포함한다는 것이 확인되었다. 실제 경기위축기에 대한 모형의 확률값이 높게 나타나지만 그 값이 대체로 50% 수준이어서 불황예측에 사용하기 위해서는 추가적인 보완이 필요한 것으로 판단된다. Since we experienced an economic crisis in 1997, there has been increasing interest in investment in government bonds. The Korean government requires much money in order to propel its financial and corporate reforms. Nowadays government bonds with various maturities are traded and it is easy to obtain information about the term structure. The spread between long-term and short-term interest rates contains some information about future economic activity because interest rates are decided in the financial market based on the effect of expectations of market participants. When people anticipate economic recession, they expect the interest rate to decrease in the future. They try to buy and hold bonds with long maturities and the spot long-term interest rate becomes low. But the short-term interest rate is invariant to the expected recession, and as a result the yield curve becomes flatter. When the government decides to adopt a tight monetary policy, the short-term interest rate rises, but the long-term interest rate does not rise as fast as the short-term rate. This makes the yield curve flatter. In conclusion, there is a positive relationship between the term structure and real economic activity. Regression analyses conducted in developed countries confirm the positive relationship and that the term structure is more efficient predictor than other financial indices. I used the probit model with Korean data to check the positive relationship. It was difficult to obtain data on the yield curve in the past. Instead, I used various interest rate spreads as proxies for the term structure. I have obtained evidence that there is a negative relationship between the spreads and the possibility of economic recessions. The corporate bond-call loan spread has been found to be the best predictor of a recession. I have difficulties to make use of this probit model and the spread to predict future recession because the probability for the period when an economic recession actually prevails is only about 50%. I think that we need more research about the theoretical relationship between the term structure and real economic activity, and about time-variant models such as the Markov-switching model.

공공성의 민중신학적 재구성

유승태 한신대학교 신학대학원 2023 국내석사

혼합 비지도 학습을 활용한 녹내장성 중심 시야 손실 표현의 개선 : A hybrid unsupervised approach improved the representation of central visual field loss

유승태 부산대학교 2023 국내석사

녹내장은 시신경의 손상으로 시기능이 저하되어 실명까지 이르게 되는 3대 실명 질환 중 하나이다. 한번 시신경이 손상되면 이전 상태로 회복되지 않는 비가역적 질환이기 때문에 시야 손실에 대한 정량적인 파악과 조기 발견은 굉장히 중요하다. 해당 연구의 목표는 68개의 검사 지점에서 빛의 세기에 대한 반응을 측정하여 시기능을 측정하는 험프리(Humprey) C10-2 시야 검사 데이터를 사용하여 녹내장성 시야 손실의 패턴을 알아내고 미래 시기능과 관련된 임상적 잠재 인자를 찾는 것이다. 본 연구에서는 데이터 공간 상에서 특징적인 패턴을 찾는데 유리한 원형 분석(Archetypal analysis)과 Soft clustering 방법론인 Fuzzy c-means를 결합한 혼합 비지도 학습(Hybrid unsupervised learning approach)을 제안한다. 해당 방법론의 결과를 검증하기 위해 Global index change prediction을 수행하여 4가지 지도 학습 모형에서 모두 혼합 방식이 단일 방식의 시기능 변화 예측 성능보다 높았고 (All p-value<0.05) 초기 시야 검사의 원형(Archetype) 분해 결과와 미래 Global index slope 간의 회귀 분석을 통해 시기능 악화와 관련된 미래 시기능 기울기 예측 과제에서 혼합 방식의 결과를 사용하는 것이 단일 방식보다 미래 시기능 예측 설명력을 약 24% 이상 높여 우월함을 증명하였다. 결론적으로 녹내장 환자들의 시야 검사 결과에 대한 특징적인 형태를 찾아내고 질환 조기 진단 및 시야 악화 진행을 예측할 수 있는 잠재 인자로서의 가능성을 제시하였다.

Deep ultraviolet light source with CNT cold cathode electron beam (C-beam)

유승태 Kyung Hee University 2017 국내석사

In this thesis, deep ultraviolet (deep-UV) light source was developed with carbon nanotube cold cathode electron beam (C-beam) and ZnxSiyOz synthesis with ZnO ink solution. UV is used in many industries such as semiconductor, display, automotive, food, medical, cleaning, curing and sterilizing. Optical cleaning of semiconductor substrates, disinfection by a virus and environmental harmful organs and sterilization of medical devices has been used deep-UV light source. The low wavelength of deep UV are effective for the loss of viral infectivity of virus without DNA damage. For the deep UV, mercury xenon lamp and deuterium lamp have been used in industries. However, due to the environmental issues of mercury, a mercury free light source has been demanded. UVC-LED has been studied as a mercury free UV light source, but it has low output power and power efficiency. The output power and power efficiency of deep UV with electron beams are better than UVC-LEDs. So, we developed high efficient and flat deep UV light generation technologies with C-beam as excitation source. To determine whether UV could be generated by C-beam, near UV anode was fabricated using the SrB4O7:Eu which is a general UV phosphor. The fabricated near UV with SrB4O7:Eu phosphor shows a wavelength of 363 nm and FWHM of 33 nm by irradiating the C-beam on the phosphor anode. Based on the generation of near UV using SrB4O7: Eu phosphor, we have studied deep UV generation using ZnO ink solution. We fabricated deep UV anode with two different substrate, such as Si wafer and quartz substrates for reflective and transparent mode operation. In an anode using a Si wafer substrate, deep UV with a wavelength of 247 nm and a FWHM of 23 nm was confirmed using SEM installed MonoCL3 system. In case of quartz substrate, we obtained three peak deep UV at 208, 226 and 244 nm wavelength by irradiating C-beam on the anode. To improve the intensity of the deep UV, the gas conditions and the pressure inside the furnace during the anode annealing process were changed. It was found that the deep UV intensity was improved by injecting G-N2 gas into the furnace and maintaining the pressure of 400 mTorr at 1,000 ℃ for 1 hour. X-ray diffraction (XRD) measured to figure out the deep UV anode material after annealing by injecting G-N2. It was found that Zn2SiO4 was produced after annealing. In the literature, the rhombohedral-Zn2SiO4 could emit radiation with a wavelength of 202, 226 and 234 nm, and those well overlap with our UV peaks. 본 연구는 낮은 파장의 원자외선 광원을 여 탄소나노튜브를 이용한 전자빔과 징크실리케이트 아노드를 이용하여 제작하였다. 자외선은 살균, 반도체, 디스플레이, 의료, 경화 등을 위하여 많은 산업에서 사용되며, 특히 원자외선은 살균에 많이 이용된다. 자외선 파장이 짧아 질수록 사람의 세포 손상 없이 바이러스의 감염성을 낮추는 데 효과적이다. 이에 낮은 파장의 원자외선 개발이 필요하며, 현재 사용하는 수은램프는 수은의 환경 문제로 자외선 발광다이오드의 상용화 연구가 활발히 이루어지고 있다. 하지만, 원자외선 발광다이오드는 효율과 출력이 낮다는 문제로 상용화에 애로가 있으므로, 이에 대한 해결책을로 탄소나 노튜브를 이용한 전자빔을 이용한 원자외선 제조 방법의 연구가 필요하다. 원자외선 제작을 위하여 실리콘 웨이퍼와 석영기판을 사용하였다. 반사형 타입으로 실리콘 웨이퍼를 사용하였고, 투과형 타입으로 석영을 사용하였다. 원자외선 물질로 징크실리케이트를 기판 위에 열처리 과정을 이용하여 제작하였다. 열처리의 최적화된 조건은 1,000도에서 질소를 주입하여 400 mTorr의 압력하에서 1시간 열처리 시키는 것이다. 결과로 실리콘 웨이퍼 위에 징크실리케이트가 있는 경우에는 247 nm의 원자외선, 그리고 석영기판 위에 징크실리케이트가 있는 경우에는 208, 226, 244nm의 파장의 원자외선이 발생됨을 확인하였다.