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UV/Cl₂(g)에 의한 Si-wafer 표면금속 오염물의 건식세정에 관한 연구
손동수,정광진,최성호,천희곤,조동율 울산대학교 1998 공학연구논문집 Vol.29 No.2
본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 표면에 존재하는 미량의 Zn, Fe, Ti 금속 오염물들이 UV-excited chlorine radical을 이용한 건식세정 방법으로 제거되는 반응과정을 연구 하였다. 실리콘 웨이퍼 상에 진공증착법으로 원형패턴이 있는 Zn, Fe, Ti 박막을 증착시켜 상온 및 200℃에서 UV/CI₂세정하였을 때, 염소 래디컬(CI*)이 Fe, Zn, Ti와 반응하여 제거되는 것을 반응 전후 광학현미경과 SEM을 통해 표면 형상 변화를 관찰하였고, in-line으로 연결된 XPS를 통해서 반응 후 웨이퍼 표면에 남아있는 화합물의 화학적 결합상태를 관찰하였으며, UV/CI₂세정 후 실리콘 기판이 손상받는 정도를 알기 위해 AFM으로 표면 거칠기를 측정하였다. 광학현미경과 SEM의 분석에 의하면 Zn와 Fe는 쉽게 제거되는 반면 염화물을 형성하기 보다는 휘발성이 적은 산화물을 형성하는 경향이 강한 Ti은 약간만 제거되는 것을 확인하였다. XPS 분석을 통해서 이들 금속 오염물들이 chlorine radical과 반응하여 웨이퍼 표면에 금속 염화물을 형성하고 있는 것을 확인하였고, UV/CI₂세정처리를 하였을 때 실리콘 웨이퍼의 표면 거칠기가 약간 증가하는 것을 알 수 있었다. 지금까지의 결과를 통해 볼 때, 습식세정과 UV/CI₂건식세정을 병행하면 플라즈마 및 레이저를 사용하는 다른 건식세정 방법에 비하여 보다 저온에서 실리콘 기판의 큰 손상 없이 비교적 용이하게 금속 오염물을 제거할 수 있음을 알수 있었다. The reaction mechanisms of dry cleaning of Zn, Fe and Ti trace contaminants on the Si wafer using UV/CI₂ have been studied by SEM, AFM and XPS analyses. The patterned Zn, Fe and Ti films were deposited on the Si wafer surface by thermal evaporation and changes in the surface morphology after dry cleaning using CI₂and UV/CI₂at 200℃ were studied by optical microscopy and SEM. In addition changes in surface roughness of Si wafer by the cleaning was observed by AFM. The chemical bonding states of the Zn, Fe and Ti deposited silicon surface were observed with in-line XPS analysis. Zn and Fe were easily cleaned in the form of volatile zinc-chloride and iron-chloride as verified by the surface morphology changes. Ti which forms involatile oxides was not easily removed at room temperature but was slightly removed by UV/CI₂at elevated temperature of 200℃. It was also found that the surface roughness of the Si wafer increased after CI₂and UV/CI₂cleaning. Therefore, the metallic contaminants on the Si wafer can be easily removed at lower temperature by continuous processes of wet cleaning followed by UV/CI₂dry cleaning.
이기동,이명희,손광진,윤성란,김정숙,권중호 한국식품저장유통학회(구 한국농산물저장유통학회) 2002 한국식품저장유통학회지 Vol.9 No.2
송이를 첨가한 김치를 제조하여 10℃에서 저장하면서 숙성 중 관능적 특성 변화를 반응표면분석으로 조사하였다. 김치의 관능점수는 저장 4일과 8일경에 가장 높았고 12일에는 낮아졌다. 담금직후에는 송이함량이 높을수록 모든 관능점수가 낮았으나, 향과 맛만은 송이함량과 고춧가루함량이 동시에 높을 경우 높았다. 저장 4일째는 색상, 향, 맛 및 전반적인 기호도가 높았는데 특히 송이함량 5.0-6.0% 및 고춧가루함량 3.0-3.5%에서 가장 우수하였고, 저장 8일째에는 씹힙성이 우수하였다. 송이를 첨가한 김치는 10℃에서 4-8일 저장한 경우 관능적으로 우수하게 나타났다. The response surface methodology was used for monitoring the changes in organoleptic properties of chinese cabbage kimchi adding pinemushroom during storage at 10℃. The sensory score of kimchi were high 4th to 8th days and low at around 12th day. At the 1st day of storage, the more pinemushroom was added, the lower showed the score of sensory evaluation. But in case of the score for taste and flavor, the more pinemushroom and red pepper powder were added together, the higher it showed. At the 4th day, the score of color, flavor, taste and overall palatability increased. Especially, the score was the higest when kimchi was added with 5.0∼6.0% of pinemushroom and 3.0∼3.5% of red pepper powder. At the 8th day, the score of mouth-feel was high. The kimchi adding pinemushroom showed the highest scores of sensory evaluation during the storage period from 4th to 8th days at 10℃.
이명희(Myung-Hee Lee),이기동(Gee-Dong Lee),손광진(Kwang-Jin Son),윤성란(Sung-Ran Yoon),김정숙(Jeong Sook Kim),권중호(Joong-Ho Kwon) 한국식품영양과학회 2002 한국식품영양과학회지 Vol.31 No.3
절임은 배추의 맛을 결정하는 중요한 공정이므로 배추의 소금 절임시 가장 중요한 영향인자인 소금농도, 절임시간 및 절임온도에 따른 관능적 특성 및 물리적 특성에 대하여 반응 표면분석을 실시하였다. 절임배추의 외관에 대한 관능평점은 소금농도 11.28%, 절임시간 9.75 hr 및 절임온도 12.81℃에서 가장 높았으며, 맛에 대한 관능평점은 소금농도 11.19%, 절임 시간 11.38 hr 및 절임온도 13.58℃에서 가장 높게 나타났다. 조직감에 대한 관능평점은 소금농도 11.24%, 절임시간 11.71 hr, 절임온도 13.57℃에서 가장 높게 나타났으며, 전반적인 기호도에서는 소금농도 11.52%, 절임시간 12.86 hr, 절임온도 13.07oC에서 가장 높은 관능평점을 나타내었다. 물리적 특성으로 견고성과 씹힘성은 소금의 농도가 증가할수록 값이 낮아지는 경향을 보였으며 소금의 농도에 가장 영향을 많이 받고 절임시간, 절임온도의 순으로 영향을 받는 것으로 나타났다. Salting conditions on organoleptic properties and rheology of Chinese cabbage were optimized and monitored by four-dimensional response surface methodology. Experimental conditions were decided in the ranges of salt concentration 8~12%, salting time 5~25 hr and salting temperature 5~15℃. The salted Chinese cabbage with experiment design was measured on organoleptic and physical properties. The organoleptic form of the salted Chinese cabbage showed maximum score in 11.28% of salt concentration, 9.75 hr of salting time and 12.81℃ of salting temperature. The organoleptic taste was maximized in 11.19% of salt concentration, 11.38 hr of salting time and 13.58℃ of salting temperature. The organoleptic mouth-feel was maximized in 11.24% of salt concen- tration, 11.71 hr of salting time and 13.57℃ of salting temperature. The organoleptic palatability was maximized in 11.52% of salt concentration, 12.86 hr of salting time and 13.07℃ of salting temperature. In rheological properties of salted Chinese cabbage, hardness and chewiness decreased with the increase of salt concentration.