이온화클러스터빔 증착법에 의한 구리 박막의 반도체 접촉구 메움 향상에 관한 연구

백민,손기황,김도진,Baek, Min,Son, Ki-Wang,Kim, Do-Jin 한국진공학회 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.2

반도체 접촉구를 메우기 위하여 소오스의 직진성을 향상시키기 위한 연구를 수행하 였다. 이온화클러스터빔 증착법을 이용하는 동시에 셀의 구조를 개선하여 직진성 향상을 도 모하였다. 중성클러스터 만으로 구리를 증착할 경우 직진성은 매우 우수하였으나 소오스의 표면 이동이 적어 박막은 주상형으로 성장하며 측벽에의 증착은 거의 일어나지 않았으며 성 장에 따라 그림자효과로 인한 단차에서의 벽개가 관찰되었다. 그러나, 가속전압을 인가하여 전하를 띤 클러스터를 형성시켜 증착하였을 때 주상형 성장 모드는 사라졌으며, 직경 0.5$\mu$ m, aspect ratio 2의 접촉구에서 완벽한 바닥면의 도포성을 나타내었고, 측벽에의 증착성도 향상되어 막의 연결성이 개선되었다. 이로써 이온화 클러스터빔 증착법이 직진성을 향상시 켜 작은 접촉구의 메움을 향상시킬수 있는 물리적 증착 방법임을 확인하였다. A study to improve filling of semiconductor contact holes by enhancement of the directionality of the source beams has been undertaken. The collimation of source beams was improved by the ionized cluster beam deposition technique with modification of the cell geometry. The collimation tested with neutral beam was excellent. But, the Cu flims were grown in a columnar mode due to the lack of surface mobilit of the impinged clusters. A shadow effect also caused cleavage and consequent discontinuity at the steos as films grow. By applying acceleration voltage, the columnar growth in a contact hole of 0.5 $\mu$m diameter and 1 $\mu$m height disappeared and considerable coverage at the side wall of the contacts as well as perfect bottom coverage were observed. These are all due to the assistants of the accelerated ionized clusters with high kinetic energy. Thus we demonstrated that the ICB deposition technique can be used to completely fill sub-half-micron contact holes with high aspect ratio.

Thermal Desorption Spectroscopy의 제작과 성능평가

백민,김용희,손영호,황도원,박종도 한국진공학회 2000 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-

방사선기술의 진흥 정책

백민,Baek, Min 한국동위원소협회 2005 동위원소회보 Vol.20 No.3

국내 방사선 방호체계 개선 방안 고찰

백민,이희석 대한방사선방어학회 2021 대한방사선방어학회 학술발표회 논문요약집 Vol.2021 No.04

혁신도시 이전 공공기관 종사자의 여가활동 만족도에 영향을 미치는 요인 분석 -광주‧전남 공동혁신도시를 중심으로-

백민,안형순 한국콘텐츠학회 2019 한국콘텐츠학회논문지 Vol.19 No.2

With respect to the growth and development of innocity from improvements in leisure environments, this research examines the factors that affect the level of satisfaction of innocity leisure environments to propose political implications. In order to do so, 43 leisure activities were chosen, and the level of importance of those activities to the residents prior to moving to the innocity was compared to the level of satisfaction the residents felt regarding the activities after moving. As a result, 13 activities, including literature attendance, had greater levels of satisfaction after moving than the levels of importance prior to moving. The rest (30) activities showed the opposite results. We deduced the factors that affect the level of satisfaction by performing logistic regression analysis on 3 dependent variables. As a result, the static and passive leisure activities had higher satisfactory levels, whereas the dynamic and active had lower satisfactory levels. Thus, innocity must develop culture facilities quickly, expand exercise facilities to support sports activties, and promote tourism by improving and networking with tourist attractions in order to improve future satisfactory levels of leisure activities. 본 연구는 혁신도시 여가환경 개선이 혁신도시의 발전과 성장에 기여한다는 측면에서, 혁신도시 여가활동 만족도에 영향을 미치는 요인을 분석하고 이를 통해 정책적 시사점을 제시하고자 하였다. 이를 위하여 43개 여가활동을 선정하고 이를 대상으로 혁신도시로의 이주 전 중요도와 이주 후 만족도를 비교분석하였다. 이주 전 중요도에 비해 이주 후 만족도가 더 높은 여가활동은 문학행사 참여 등 13개 여가활동으로 조사되었다. 나머지 30개 여가활동은 중요도에 비해 만족도가 낮은 것으로 조사되었다. IPA분석결과, 문화예술관람활동과 사회 및 기타여가활동이 중요도는 높으나 만족도가 낮은 것으로 분석되었다. 전반적인 만족도(3개 문항)를 종속변수로 하여 로지스틱 회귀분석을 통해 여가활동 만족도에 영향을 미치는 요인을 도출하였다. 전반적으로 정적인 여가활동들은 만족도에 유의한 반면, 동적인 여가활동들은 만족도에 영향을 미치지 못하는 것으로 분석되었다. 향후 혁신도시 여가활동 만족도를 높이기 위하여 동적여가활동이 가능한 문화시설용지의 조속한 개발, 스포츠참여활동이 가능하기 위한 운동시설 확충, 주변 관광지와의 네트워크 강화를 통한 관광활동 활성화 등의 정책적 제안을 하였다.

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민,김경현,최규석,류대열,손기황,박종봉,김도진 한국진공학회 1997 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-

교차로에서 B2V 안전을 위한 충돌 방지 알고리즘

백민,이환,봉충하,고균병 한국ITS학회 2015 한국ITS학회 학술대회 Vol.2015 No.04

주체사관에 입각한 고려시대관 비판

백민 한국역사연구회 1989 한국역사연구회회보 Vol.- No.3

영화 <통로들에서>에 나타난 독일 통일 - 통일 이후의 삶을 중심으로

백민아 한국독어독문학교육학회 2021 獨語敎育 Vol.81 No.81

In vorliegender Arbeit werden anhand Thomas Stubers In den Gängen verschiedene Leben der Charaktere im Zusammenhang mit der deutschen Einheit untersucht. Dieser Film beschreibt die Gesellschaft nach der Vereinigung mit Hilfe von Ausdruckstechniken. Der Regisseur beleuchtet den Alltag der Mitarbeiter aus einer horizontalen Perspektive und bringt symbolisch die kapitalistische Hierarchiestruktur der deutschen Gesellschaft durch eine vertikale Perspektive zum Ausdruck. Dieser Film wird in drei Kapitel unterteilt. Bruno, Marion und Christian repräsentieren die Veränderungen des Lebens, die sie nach der Vereinigung erlebt haben. Die Vereinigung war eine intensive Veränderung bis zum Zusammenbruch der Identität. Außerdem war die Einheit für einige Menschen durch die Wunden der Kindheit und die Auflösung der Familie geprägt. Dieser Film beschränkt sich nicht darauf, die Nostalgie der DDR-Zeit darzustellen. Indem er die Geschichten verschiedener Generation symbolisch ausdrükt, zeigt er, dass ‘Vereinigung’ nicht nur eine Frage zwischen Ost- und Westdeutschen ist. Vielmehr wird betont, dass die Vereinigung je nach individuellen Erfahrungen und Umständen unterschiedliche Bedeutungen hat. <통로들에서>는 표면적으로 봤을 때 대형마트에서 일하는 남녀의 사랑 이야기 혹은 마트 노동자로 살아가는 삶의 외로움을 노래한 작품으로 소개될 수 있다. 실제로 이 영화에 대한 기사 중에는 “수줍은 청년 크리스티안이 대형 마트의 통로 사이에서 사랑, 우정 그리고 그에게는 완전히 신비롭고 새로운 세계를 발견해나가는 이야기를 그린 작품”(이동건 2018), “외로움을 기반에 둔 채, 섬세하고 직관적인 자세로 외로움의 반대편을 탐구하는 영화”(이지현 2018)로 정의하여 소개되었다. “영화는 사회를 ‘반영’할 뿐만 아니라 사회에 영향을 미치며, 다른 한편으로는 단순히 현실을 묘사하는 것이 아니라 동시에 해석하기도 한다.”라는 슈뢰어의 말처럼 영화를 온전히 이해하기 위해서는 표면적으로 드러나는 이야기구조를 감상하는 것에서 더 나아가 사회 문화적 차원에서 ‘해석’하는 과정이 필요하다. 이 영화는 주요 배경이 되는 마트가 독일 통일 이후에 기업 인수의 과정을 거쳐 생겨난 장소이며 이곳에서 일하는 사람들의 대부분이 구동독 출신의 사람들이라는 점으로 미루어보아 독일 통일의 상황과 관련지어 해석할 수 있는 여지가 많다. 때문에 본 연구에서는 영화 <통로들에서>를 감독의 관점에서 바라본 독일 통일의 의미를 중심으로 해석해보며 특히 영화의 주요 장소인 ‘대형마트’를 표현하는 영화적 영상 기법 및 연출 방식을 통해 장소가 내포하고 있는 상징적인 의미를 고찰해본다. 더불어 주요 등장인물인 브루노와 마리온, 크리스티안을 중심으로 이 세 인물이 독일 통일 이후의 사회와 독일인들의 삶을 어떻게 묘사하고 있는지, 이들의 삶을 통해 독일 통일이 개인의 삶에 어떤 모습으로 형상화되고 있는 지를 탐구해본다.

금주 구역 대상 장소에서의 간접음주폐해의 특성에 관한 신문기사 분석

백민아,함영은,강은정 알코올과 건강행동학회 2023 알코올과 건강행동연구 Vol.24 No.1

Objectives : Alcohol’s harm to others harms not only individual drinkers but also third parties and causes many socioeconomic costs. Although several previous studies have identified factors related to the occurrence of alcohol’s harm to others, the characteristics of alcohol‘s harm to others are largely unknown. For a more effective policy, it is important to understand the current status of alcohol’s harm to others. Therefore, this study aimed to understand the current status and types of alcohol’s harm to others by place of alcohol-regulated places using newspaper articles. Methods : Articles from August 16, 2021 to August 16, 2022 were searched through a news search analysis site called ‘Bigkinds’. Search keywords were ‘drinking’ or ‘drunken’ or ‘alcohol-regulated places’ in combination with the words related to alcohol-regulated places. The year, the place, and the type of even of alcohol’s harm to others were extracted from the articles. Frequency analyses and a chi-squared test were used. Results : From the initial search, 5,182 articles were found, of which 222 articles were included in the anlaysis excluding duplicate articles and articles containing political content. Forty eight percent of the events of alcohol’s harm to others occurred in the metropolitan area. The events of alcohol’s harm to others occurred more frequently in non-regulated places than in regulated places (68.5% vs 31.5%). Violence (36.9%), drunken driving (28.0%), and disturbance (13.7%) are the most frequent types of harm. The types of harm were statistically different between the regulated and non-regulated places. Conclusions : The study results have shown that alcohol’s harm to others occurs more frenquently in non-regulated places than in regulated places. We also found that felonies such as murder and robbery as well as misdemeanors inlcuding violence, disturbance occur in alcohol-regulated places. These results suggest that alcohol regulations need to be strengthened in alcohol-regulated places and alcohol-regulated places need to be expanded to some of the non-regulated places.