산화막 CMP에서 패드 두께가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향

배재현,이현섭,박재홍,니시자와 히데키,키노시타 마사하루,정해도,Bae, Jae-Hyun,Lee, Hyun-Seop,Park, Jae-Hong,Nishizawa, Hideaki,Kinoshita, Masaharu,Jeong, Hae-Do 한국전기전자재료학회 2010 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.5

The polishing pad is important element for polishing characteristic such as material removal rate(MRR) and within wafer non-uniformity(WIWNU) in the chemical mechanical planarization(CMP). The result of the viscoelasticity measurement shows that 1st elastic modulus is increased and 2nd elastic modulus is decreased when the top pad is thickened. The finite element analysis(FEA) was conducted to predict characteristic of polishing behavior according to the pad thickness. The result of polishing experiment was similar with the FEA, and it shows that the 1st elastic modulus affects instantaneous deformation of pad related to MRR. And the 2nd elastic modulus has an effect on WIWNU due to the viscoelasticity deformation of pad.

80 MPa급 고강도 콘크리트를 적용한 RC 바닥판의 피로 성능 평가

배재현,황훈희,유동민,박성용,Bae, Jae-Hyun,Hwang, Hoon-Hee,Yoo, Dong-Min,Park, Sung-Yong 한국안전학회 2017 한국안전학회지 Vol.32 No.4

Recently, the use of high-strength concrete is increasing due to the trend of constructing high-rise and long span structures. The benefit of using the high-strength concrete is that it increases the durability and strength while it reduces the cross-sectional area of the bridge deck slabs. Moreover, it offers more safety as these bridge deck slabs applying high-strength requires strict structural performance verification. In this study, the fatigue performance of the bridge deck slabs applying 80 MPa high-strength concrete was verified through various experiments. The experimental results showed that the specimens satisfy the conditions of flexural strength, punching shear strength, deflection and cracking. In conclusion, the bridge deck slabs designed by 80 MPa high-strength concrete are enough safe despite of its low thickness.

240W급 고출력 LED 집어등의 광학적 특성

배재현,안희춘,김상우,Bae, Jae-Hyun,An, Heui-Chun,Kim, Sang-Woo 해양환경안전학회 2013 해양환경안전학회지 Vol.19 No.6

본 연구에서는 240 W급 고출력 LED 집어등의 특성을 기존 메탈 집어등과 비교하여 배광 패턴의 특성 및 광효율을 분석하고, 파장 대역의 특성을 해양 투과 특성 및 시감도를 고려하여 집어등 광원으로써 적정성을 분석하였다. 색온도 6500 K, white LED 패키지를 적용한 240 W LED 집어등의 특성을 보면 배광각은 ${\pm}45^{\circ}$, 조도 변화률이 0.8로 개선되었으며, 광효율은 98.8 lm/W로 향상되었다. LED 집어등의 해수의 투과율과 인간의 암순응시 시감도를 1,500 W 메탈등 1개와 4개의 240 W LED 집어등에 적용하여 비교한 결과, 방사출력이 수심 50 m에 이르면 거의 동등하였으며, 암순응시 시감도만을 적용한 경우에도 LED 집어등이 약 5 % 정도 높은 광속을 나타내었으며, 수심 50 m의 방사출력에 암순응시 시감도를 적용한 경우 LED 집어등의 광속이 14 % 높게 나타나 메탈등의 대체 가능성을 확인할 수 있었다. This study analyzed characteristics of 240 W high power LED lamps by comparing with those of traditional metal halide lamps. In addition, it analyzed the propriety of LED lamps as a source of light, considering seawater transmission characteristics. When Applying white LED package with the color temperature color temperature of 6500K, a 240W-LED fishing lamp has a characteristics of the luminous angle to be expanded to ${\pm}45^{\circ}$, the illumination change was improved to 0.8, as well as the luminance efficiency was improved to 98.8lm/W. As results of comparison between one 1,500W-metal halide lamp and four 240W-LED lamp with considering a seawater transmission and a luminous efficiency of scotopic vision, the radiant flux of two lamps were almost equal level at 50m depth and the luminous flux was 5% higher LED lamp than metal-halide lamp even if only applying the luminous efficiency of scotopic vision. As the luminous flux of LED lmap was 14% higher than that of metal-halide lamp with applying the luminous efficiency of scotopic vision to radiant flux at 50m depth, so LED fishing lamp was verified to alternative possibility of metal-halide lamp.

채낚기 집어등 어선 주변에 유집된 살오징어, Todarodes pacificus의 분포 패턴

배재현 ( Jae-hyun Bae ),이경훈 ( Kyounghoon Lee ),조현정 ( Hyeon-jeong Jo ) 한국어업기술학회 2016 수산해양기술연구 Vol.52 No.3

This study investigated luring distributions by water layer of common squid which were targeted by angling fishing vessels equipped with LED and metal-halide lamps using a scientific echosounder with a 120 kHz frequency in order to develop energy-effective underwater fish aggregation devices. In the analysis, angles of a transducer were changed from 0° to 45° and were rotated every 10° horizontally. It was shown that common squid were densely distributed from the surface to 40 m and they were also distributed in directions of 10°∼+30°, -30°∼-60°, and -120°∼-130°with the head of vessel as the center. Comparative results of angles of transducer on acoustical densities of common squid distributing in 21~40 m water depth showed an average 101.8 m2/nm2 in vertical direction of 0°, 12.3 m2/nm2 in angle of 30°, and 42.4 m2/nm2 in angle of 45°, respectively. It implied that more considerations on acoustic scattering strength by incidence angle direction of the transducer and swimming oriental angle direction of common squid would be required.

산화막 CMP에서 리테이너 링 압력이 연마 형상과 응력분포에 미치는 영향

배재현(Jae Hyun Bae),이현섭(Hyun Seop Lee),정문기(Moon Ki Jeong),이영균(Young Kyun Lee),신운기(Woon Ki Shin),정해도(Hae Do Jeong) 대한기계학회 2010 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2010 No.4

뜸 자극용 초음파 치료기기의 음향렌즈 설계를 위한 초음파 집속 특성 연구

배재현(Jae-Hyun Bae),송성진(Sung-Jin Song),김학준(Hak-Joon Kim),김기복(Ki-Bok Kim) 한국비파괴검사학회 2015 한국비파괴검사학회지 Vol.35 No.2

전통적인 뜸 요법은 시술자의 주관적이고 정성적인 치료로 인해 환자의 피부에 강한 열 자극이 가해져 심한 통증을 주거나 화상을 입히는 문제점을 갖고 있다. 이러한 한계를 극복하기 위한 대안으로 객관성과 정량화가 가능한 초음파를 활용한 뜸 자극 치료기술이 주목받고 있다. 하지만, 초음파 에너지를 열에너지로 변환하기 위해서는 초음파 치료기기의 음향렌즈에 따른 초음파 집속 특성 분석이 필요하다. 따라서, 본 논문에서는 초음파 집속 특성에 영향을 주는 음향렌즈의 형태(오목렌즈, 계단형 렌즈)에 따른 집속 시뮬레이션을 통해 각 렌즈의 음압 분포, 음압의 크기, 초점의 위치를 계산하였으며, 설계한 렌즈를 제작하여 음압 측정 실험을 통해 음향렌즈의 집속 성능을 검증하였다. Traditional moxibustion therapy can cause severe pain and leave scarring burns at the moxibustion site as it relies on the practitioner’s subjective and qualitative treatment. Recently, ultrasound therapy has received attention as an alternative to moxibustion therapy owing to its objectiveness and quantitative nature. However, in order to convert ultrasound energy into heat energy, there is a need to precisely understand the ultrasound-focusing characteristics of the acoustic lens. Therefore, in this study, an FEM simulation was performed for acoustic lenses with different geometries a concave lens and zone lens as the geometry critically influences ultrasound focusing. The acoustic pressure field, amplitude, and focal point were also calculated. Furthermore, the performance of the fabricated acoustic lens was verified by a sound pressure measurement experiment.

80 MPa급 고강도 콘크리트를 활용한2거더교 RC 장지간 바닥판의 최소두께

배재현 ( Jae Hyun Bae ),유동민 ( Dong Min Yoo ),황훈희 ( Hoon Hee Hwang ),김성태 ( Sung Tae Kim ) 한국안전학회(구 한국산업안전학회) 2014 한국안전학회지 Vol.29 No.5

To ensure durability and light weight of bridges, high-strength concrete is required for long-span deck slabs. Such a technology eventually extends the life of bridges and improves the economic efficiency. The results of this study suggests a formula for calculating the minimum thickness of long-span deck slabs built with high strength concrete. The minimum thickness is proposed based on the limit states indicated in the CEB-FIP Model Code and the Korean Highway Bridge Design Code(limit state design). The design compressive strength of concrete used for the study is 80MPa. Moreover, the required thickness for satisfying the flexural capacity and limiting deflection is estimated considering the limit state load combination. The formula for minimum thickness of deck slabs is proposed considering the ultimate limit state(ULS) and the serviceability limit state(SLS) of bridges, and by comparing the Korean Highway Bridge Design Code and similar previous studies. According to the research finding, the minimum thickness of long-span deckslab is more influenced by deflection limit than flexural capacity.

지방정부의 네트워크 거버넌스에 관한 연구: 부산시 하천환경개선 사업을 중심으로

배재현 ( Jae Hyun Bae ) 서울대학교 한국행정연구소 2010 行政論叢 Vol.48 No.3

본 연구에서는 기존의 네트워크 거버넌스의 조건들을 종합하여 주요 조건들을 도출하고 이를 제도분석틀에 적용하여 행정사례를 분석함으로써 네트워크 거버넌스의 운영을 제고하기 위한 정책적 함의를 모색하였다. 이에 대한 사례로는 초기 비공식적 네트워크로 운영되다 이후 공식적 네트워크화된 부산시 온천천의 하천환경개선사업을 분석하였다. 기존의 이론적 논의를 종합적으로 검토한 결과 네트워크 거버넌스의 조건으로 물리적 속성에는 ①자연조건, ②수요의 불확실성, ③문제의 복잡성, 제도의 속성에는 ①권한규칙, ②감시와 제재장치, ③갈등해소장치, ④투명성 확보장치, 공동체 속성에는 ①공통된 목적, ②이해관계의 동질성, ③상호의존성, ④사회자본, 행위자의 속성에는 ①참여자의 다양성, ②참여자의 독립성, ③참여자의 전문성, ④참여자의 유연성, 그리고 행동의 장의 속성에는 ①네트워크 형태, ②네트워크 관리자, ③지속적인 상호작용, ④개방성, ⑤접근성 등을 구성요소로 한 제도분석틀이 설정되었다. 이 사례에 대한 질적연구에서 발견한 정책적 함의로는 첫째, 수요의 불확실성은 정부가 네트워크의 형태를 결정하도록 하는 중요한 요인으로, 수요의 불확실성이 높을 때 정부는 수평적 형태의 네트워크를 취하지만, 수요가 확실할 때에는 수직적 형태의 네트워크를 취함으로써 관료제 방식으로 운영하려 하였다. 둘째, 공식적 제도의 중요성이다. 특히 비공식적이었던 네트워크가 공식화되었을 때, 제재장치 및 갈등해소장치 등의 제도들도 반드시 공식화되어야 한다. 셋째, 수평적 네트워크는 거버넌스의 운영과 결과에 있어서도 성공적이었던 반면, 수직적인 네트워크 형태는 그렇지 못하였다. 따라서 네트워크 거버넌스에 있어서 참여자들간의 관계는 반드시 수평적이어야 한다. This study explores the conditions of network governance applied to the movement to save the Oncheon River in Busan. It can be divided into two periods. One is the informal network period horizontally managed by NGOs/local government and the other is the formal network period (Busan river movement) vertically managed by government. To do this, the factors working as the conditions of network governance were determined from the outcomes of previous studies and the factors were arranged into the five attributes of the IAD framework. As the conditions of network governance among the IAD framework, physical attributes are ① social-material conditions, ② demand uncertainty, ③ task complexity, rules are ① authority rules, ② monitoring and regulation rules, ③ conflict dissolution rules, ④ transparency ensuring rules, attributes of the community are ① sharing a common goal, ② homogeneity of interest, ③ interdependency, ④ social capital, and attributes of participants are ① diversity of participants, ② independence of participants, ③ specificity of participants, ④ flexibility of participants. and the action arena consists of ① shape of network, ② network manager, ③ constant interaction, ④ openness, ⑤ accessibility. Some policy implications as a result of the qualitative analysis are first, demand uncertainty is an important factor for governments in deciding the shape of network. The network takes a horizontal form when demand uncertainty is high. Second, formal rules are needed, especially in formal network governance. Third, horizontal networks make successful operations and governance outcomes but vertical networks do not. Thus, participant relationships in network governance should be horizontal.

『방약합편』중 생강 및 대조를 포함한 처방에 대한 고찰

배재현 ( Jae Hyun Bae ),윤일지 ( Il Ji Yoon ),오민석 ( Min Suck Oh ) 대전대학교 한의학연구소 2006 혜화의학회지 Vol.15 No.2

기혼자의 가족여가의례와 가족여가의례 후 긍정적 ․ 부정적 효과가 결혼만족도에 미치는 영향

배재현(Jae-Hyun Bae),박세정(Se-Jeong Park) 한국산학기술학회 2016 한국산학기술학회논문지 Vol.17 No.11

본 연구는 기혼자를 대상으로 가족여가의례와 가족여가의례 후 긍정적․부정적 효과가 결혼만족도에 미치는 영향을 살펴봄으로써 결혼만족도를 높일 수 있는 실천적 함의를 제공하는 데 목적이 있다. 이를 위해 기혼자 216명에 대한 설문조사 자료를 토대로 다변량분산분석과 위계적 회귀분석을 실시하였다. 주요 결과는 다음과 같다. 첫째, 가족여가의례의 주요활동은 ‘근교나들이’가 가장 높았고, 갈등요인은 ‘가족 공동의 시간을 갖기 어려워서’가 가장 높았다. 둘째, 가족여가의례는 연령에 따라 통계적으로 유의한 차이가 나타났다. 즉 30대 이상이 50대 이상보다 가족여가의례를 더 많이 실행하는 것으로 나타났다. 그리고 가족여가의례 후의 긍정적․부정적 효과는 성별에 따라 통계적으로 유의한 차이가 나타났다. 즉 기혼 남성이 기혼 여성보다 긍정적 효과를 높게 지각하였고, 기혼 여성이 기혼 남성보다 부정적 효과를 높게 지각하였다. 셋째, 가족여가의례와 가족여가의례 후 긍정적․부정적 효과는 결혼만족도에 통계적으로 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 즉 가족여가의례를 많이 실행할수록, 가족여가의례 후 긍정적 효과를 높이 지각할수록, 부정적 효과를 낮게 지각할수록 결혼만족도가 높아지는 것으로 나타났다. 이에 본 연구는 기혼자들이 가족여가의례 수행과정에서 긍정적인 인식을 높이기 위한 노력들이 필요함을 시사한다. This study investigated the effects of family leisure ritual and positive․negative outcomes of family leisure ritual on marital satisfaction of the married. A survey questionnaire was completed by 216 married people. SPSS Win program was used to perform MANOVA and Hierarchical Regression Analysis. The main study findings are as follows. (1)In the family leisure rituals, the main activity was "going out in the suburbs" and the main difficulty was "lack of mutually available time for all family members". (2)The family leisure ritual was significantly different according to age. Over 30 years participated in more family leisure ritual than over 50 years. The positive․negative outcomes of family leisure ritual were significantly different according to gender. Men evaluated more positive outcomes of family leisure ritual than women whereas women evaluated more negative outcomes of family leisure ritual than men. (3)The family leisure ritual and positive․negative outcomes of family leisure ritual affected marital satisfaction. This study indicated that it is necessary to make a positive outcome effort of family leisure ritual for increasing marital satisfaction in the married.