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      • SCOPUSKCI등재

        RTP로 $N_2$O 분위기에서 제조한 Oxynitride Gate 절연체의 물질적 전기적 특성

        박진성,이우성,심태언,이종길,Park, Jin-Seong,Lee, Woo-Sung,Shim, Tea-Earn,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1992 한국재료학회지 Vol.2 No.4

        Si(100) 웨이퍼를 사용하여 RTP 장비에서 $O_2$와 $N_2$O 분위기에서 8nm의 oxynitride를 제조 하였다. 기존의 로(furnace) 열산화막과 비교해서 oxynitride는 I-V, TDDB 특성이 우수하였고, flat-band voltage shift도 적었으며 $BF_2이온$ 주입에 의한 붕소 투과 억제 특성도 우수하다. 유전상수는 oxynitride가 열산화막에 비해서 크다. Oxynitride는 순수한 Si$O_2$유사하게 V 〉${\varphi}_0$ 구간에서 Fowler-Nordheim 터널링 특성을 나타낸다. SIMS, AES, 그리고 XPS 분석 결과 질소 pile-up이 Si$O_2$/Si 계면에서 나타나고, 이것은 oxynitride 산화막 특성 향상과 깊은 관련이 있다. Ultrathin(8nm) oxynitride (SiOxNy) film have been formed on Si(100) by rapid thermal processing(RTP) in $O_2$and $N_2$O as reactants. Compared with conventional furnace $O_2$ oxide, the oxynitride dielectrics shows better characteristics of I-V and TDDB, and less flat-band voltage shift. The oxynitride has a behavior of Fowler-Nordheim tunneling in the region of V 〉${\varphi}_0$ simialr to pure Si$O_2$oxide. The relative dielectric constant of oxynitride is higher than that of conventional pure oxide. Excellent diffusion harrier property to dopant(B$F_2$) is also observed. Nitrogen depth profiles by SIMS, AES, and XPS show nitrogen pile - up at Si$O_2$/Si interface, which can explain the improved properties of oxynitride dielectrics.

      • SnO_2-ZnO계 후막구조의 CO 기체 센싱 특성

        박진성 조선대학교 환경연구소 2001 環境硏究 Vol.17 No.2

        Reliable sensor structure of SnO_2 with 3 mol% ZnO(SnO_2·3ZnO) and ZnO with 3 mol% SnO_2(ZnO·3SnO_2) were fabricated by thick-film processes. Microstructure, electrical properties, and sensing properties were studied as a function of composition, temperature, atmosphere, and the structure of mono-layer, double-layer, and hetero-layer. The conductance of SnO_2 was increased by the addition ZnO, but it was decreased with the addition of SnO_2 in ZnO. The conductance was increased with temperature and the inlet of CO. There was no improvement of sensitivity in the structure of mono- and double-layer. the hetero-layer structure, however, of SnO_2·3ZnO-ZnO·3SnO_2 showed the higher resistivity and the highest sensitivity. Ohmic behavior of the thick film sensors was confirmed by the measurement of I-V based on two-prove method.

      • SCOPUSKCI등재

        EMMI(Emission Microscope)와 FIB(Focused Ion Beam)를 이용한 Thin Oxide 불량분석

        박진성,이은구,이현규,이우선,Park, Jin-Seong,Lee, Eun-Gu,Lee, Hyeon-Gyu,Lee, U-Seon 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.6

        MOS 소자의 얇은산화막(thin oxide)불량을 화학적으로 식각하지 않고 불량부위를 광전자방사(photon emission)반응을 이용하여 위치를 확인하고, 이곳을 FIB로 절단하여 불량부위의 단면을 관찰했다. 20nm 두께의 SiO2불량은 셀(cell)영역의 위치에 따른 의존성은 없고, 불량은 저전계의 입자(particle)성 불량과 중간전계의 Si 기판 핏(pit)과 관련된 불량이 주였다. 고전계에서는 전형적인 SiO2 산화막의 절연파괴가 일어난 것이 관찰된다.

      • KCI등재

        예비유아교사의 공감과 문제해결성향이 창의적 인성에 미치는 영향

        박진성 인문사회 21 2020 인문사회 21 Vol.11 No.4

        본 연구는 예비유아교사의 공감과 문제해결성향이 창의적 인성에 미치는 영향을 알아보고자 하는데 목적이 있다. 본 연구의 대상은 서울, 경기도, 대전, 충청남도에 위치한 유아교육과 5곳에 재학 중인 예비유아교사 264명이다. 본 연구를 위해 수집된 자료는 SPSS를 사용하여 상관분석과 단계적 회귀분석을 통해 분석하였다. 연구결과, 첫째, 예비유아교사의 공감, 문제해결성향, 창의적 인성은 밀접한 상관이 있는 것으로 나타났다. 둘째, 예비유아교사의 창의적 인성에는 공감의 하위영역 중 인지적 공감과 정의적 공감, 문제해결성향의 하위영역 중 문제해결에 대한 자신감, 접근-회피양식이 영향을 주는 변인으로 나타났다. 본 연구는 예비유아교사의 창의적 인성 교육 환경 개선을 위한 자료를 제공하는데 의의가 있다. 본 연구를 바탕으로 향후 예비유아교사의 공감과 문제해결성향을 고려한 창의적 인성 프로그램이 개발되어야 할 것이다. The goal of this study was to investigate the influence of empathy and problem-solving styles on pre-service early childhood teachers’ creative personality. The sample of the study was 264 pre-service early childhood teachers. The data were analyzed by Pearson’s correlation and regression. The results of this study were as follows: first, the pre-service early childhood teacher’s empathy, problem-solving styles, and creative personality were significant related. Second, the pre-service early childhood teachers’ creative personality was influenced by empathy and problem-solving styles. The result of this study to provide the data for establishing support plans which increase pre-service early childhood teacher’s creative personality. Based on this study, a creative personality program for pre-service early childhood teacher should be developed in consideration of the empathy and problem solving.

      • KCI등재

        포렌식 분석을 위한 LockMyPix의 미디어 파일 복호화 방안 연구

        박진성,이창훈,김역,서승희 한국디지털포렌식학회 2020 디지털 포렌식 연구 Vol.14 No.3

        In recent years, as interest in personal information protection has increased, a number of applications have emerged that encrypt and store files such as photos, videos, and documents in a separate storage and allow access through user authentication. This is called 'Vault App' or 'Ghost App' and it not only encrypts and stores data, but also makes it difficult to recognize data or removes certain data. Data encryption using such a Vault App may be difficult to perform data analysis during a forensic investigation. In addition, some users are actually using it to conceal or encrypt evidence related to certain criminal activities. Accordingly, the data encrypted through the Vault App is highly likely to contain meaningful data from a forensic point of view, so a study on a decryption method for this is needed. Therefore, in this paper, we analyze LockMyPix, one of the Vault Apps that provide a secure folder function, and propose a method to recover the photo and video data encrypted by the application. A separate hidden directory path and key file for storing photos or videos designated by LockMyPix were identified through debugging analysis, and the encryption key generation and data file encryption process using a PIN were analyzed through reverse engineering analysis. Also, based on the analyzed encryption process, we propose a PIN number extraction method using a key file and an original-encrypted file pair and a method for decrypting all encrypted files. In addition, this paper suggests the limitations of the proposed decoding method and future research plans to improve it. 최근 개인 정보 보호에 대한 관심이 높아짐에 따라 사진, 동영상, 문서 등의 파일을 별도의 저장소에 암호화하여 저장하고 사용자 인증을 통한 접근을 허용하는 애플리케이션들이 다수 등장하였다. 이는 ‘Vault App’ 또는 ‘Ghost App’ 라 불리며 데이터를 암호화하여 저장할 뿐 아니라 데이터 인식을 어렵게 하거나 특정 데이터를 제거하는 기능을 수행하기도 한다. 이러한 Vault App을 이용한 데이터 암호화는 포렌식 수사 과정에서 데이터 분석 수행에 어려움이 될 수 있다. 또한 실제 일부 사용자들은 이를 특정 범죄 행위와 관련한 증거를 은닉 또는 암호화하는 데 악용되고 있다. 이에 따라 Vault App을 통해 암호화된 데이터들은 포렌식 관점에서 유의미한 데이터가 포함될 가능성이 크므로 이에 대한 복호화 방안 연구가 필요하다. 따라서 본 논문에서는 보안 폴더 기능을 제공하는 Vault App 중 하나인 LockMyPix를 분석하고 해당 애플리케이션이 암호화하는 사진 및 동영상 데이터를 복구하는 방안을 제시한다. LockMyPix가 지정한 사진 또는 동영상을 저장하는 별도의 숨김 디렉토리 경로와 키 파일을 디버깅 분석을 통해 식별하고, 역공학 분석을 통해 PIN을 이용한 암호화 키 생성 및 데이터 파일 암호화 프로세스를 분석하였다. 또한, 분석한 암호화 프로세스를 바탕으로 키 파일과 원본-암호화 파일 쌍을 이용한 PIN 번호 추출 방안과 모든 암호화 파일 복호화 방법을 제안한다. 더불어 제안하는 복호화 방안의 한계를 시사하고 이를 개선하기 위한 향후 연구 방안을 제시한다.

      • KCI등재

        Development of Criteria for Predicting Delamination in Cabinet Walls of Household Refrigerators

        박진성,김성익,이건엽,조종래 한국기계가공학회 2022 한국기계가공학회지 Vol.21 No.4

        Household refrigerator cabinets must undergo cyclic testing at -20 °C and 65 °C for quality control (QC) aftertheir production is complete. These cabinets were assembled from different materials, including acrylonitrile butadienestyrene (ABS), polyurethane (PU) foam, and steel plates. However, different thermal expansion values could beobserved owing to differences in the mechanical properties of the materials. In this study, a technique to predictdelamination on a refrigerator wall caused by thermal deformation was developed. The mechanical properties of ABSand PU foams were tested, theload factors causing delamination were analyzed, delamination was observed using ahigh-speed camera, and comparison and verification in terms of stress and strain were performed using a finiteelement model (FEM). The results indicated that the delamination phenomenon of a refrigerator wall can be definedin two cases. A method for predicting and evaluating delamination was established and applied in an actualrefrigerator. To determine the effect of temperature changes on the refrigerator, strain measurements were performedat the weak point and the stress was calculated. The results showed that the proposed FEM prediction technique canbe used as a basis for virtual testing to replace future QC testing, thus saving time and cost.

      • 호흡기 질병을 가진 돼지 개체 식별을 위한 데이터 수집 시스템

        박진성,김상철,김형석 제어로봇시스템학회 2021 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 Vol.2021 No.12

        It is very important to judge pigs with respiratory diseases during the change of seasons. This paper proposes a data collection system prior to developing deep learning technology capable of recognizing diseases and objects of pigs using voice and image data. We integrated the system for sensors and stored data using ROS.

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