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      • SCOPUSKCI등재

        Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구

        문호성,김상훈,안진호,Mun, Ho-Seong,Kim, Sang-Hun,An, Jin-Ho 한국재료학회 2000 한국재료학회지 Vol.10 No.6

        실리콘 소자가 더욱 미세화되면서, 발생되는 power consumption, crosstalk와 interconnection delay 등을 감소시키기 위해 $SiO_2$ 대신에 저유전 상수막의 적용이 고려되어진다. 본 논문에서는, 저유전 상수 층간 절연막 재료로 유망한 폴리이미드의 식각 특성에 $O_2/SF_6$ 가스가 미치는 영향을 연구하였다. 폴리이미드의 식각률을 SF(sub)6 가스의 첨가에 따라 산소와 hydrocarbon 폴리머 간의 반응을 억제하는 비휘발성 물질은 fluorine 화합물의 형성에 의해 감소되었다. 반면에, 기판 전극의 전압 증가는 물리적인 충격을 통해 식각 공정을 증가시켰다. 또한 작은 량의 SF(sub)6 가스 첨가는 식각 topography에 바람직하였다. 폴리이미드 식각을 위한 $SiO_2$ hard mask 사용은 산소 플라즈마 식각 하에서 효과적이었다(선택비-30). 반면에 $O_2SF_6$ 가스 조성은 식각 선택비를 4로 저하시키게 되었다. 이러한 결과를 기초로, $1-2\mu\textrm{m}$ 선폭을 가진 PI 2610의 식각을 원활히 수행할 수 있었다. For further scaling down of the silicon devices, the application of low dielectric constant materials instead of silicon oxide has been considered to reduce power consumption, crosstalk, and interconnection delay. In this paper, the effect of $O_2/SF_6$ plasma chemistry on the etching characteristics of polyimide-one of the promising low-k interlayer dielectrics-has been studied. The etch rate of polyimide decreases with the addition of $SF_6$ gas due to formation of nonvolatile fluorine compounds inhibiting reaction between oxygen and hydrocarbon polymer, while applying substrate bias enhances etching process through physical attack. However, addition of small amount of $SF_6$ is desirable for etching topography. $SiO_2$ hard mask for polyimide etching is effective under $O_2$plasma etching(selectivity~30), while $O_2/SF_6$ chemistry degrades etching selectivity down to 4. Based on the above results, $1-2\mu\textrm{m}$ L&S PI2610 patterns were successfully etched.

      • 산림작업원의 심박수 측정을 통한 풀베기작업의 작업강도 분석

        문호성,조구현,김철상,송태영,김현섭 한국산림공학회 2014 산림공학기술 Vol.12 No.2

        본 연구는 산림작업원의 심박수 측정을 통한 풀베기작업의 작업강도를 분석하여 산림작업의 안전과 생력화 방안을 모색하기 위한 기초자료를 제공하고자 수행하였다. 전체 작업시간동안 작 업원의 심박수 및 요소작업시간을 측정하여 풀베기작업의 작업강도를 분석하였다. 그 결과 풀베 기작업의 요소작업 비율은 풀베기가 약 61%, 휴식 27%, 이동 5% 등의 순으로 나타났다. 풀베기 작업의 평균 작업공정은 0.228ha/day이며, ha당 평균 소요인력은 4.4인으로 나타났다. 이는 당해 년도 2차 풀베기작업으로 숲가꾸기 품셈 적용기준(풀베기, 모두베기 1ha당 소요인력 7.0)보다 적 게 소요된 것으로 나타나 풀베기작업이 적절히 이루어졌다고 할 수 있다. 풀베기작업의 진행방향 에 따른 작업강도는 위, 대각선 위, 대각선 아래, 아래, 수평방향 순으로 높게 나타났다. 또한 평 균 작업심박수는 114±5.2(SD)beat/min, 평균 심박수증가율은 68.9%이며, 평균 작업강도지수는 44.1%로 나타났다. 조사된 전체 작업원이 피로한도 이상의 작업을 진행하였으며, 50%수준의 심 박수에 대한 작업심박수의 비율이 0.95로써 지속적으로 높은 강도에 가까운 작업이 이루어지고 있다고 할 수 있다. This study was conducted to analyze the physical strain measuring heart rate of forest-workers in weeding in order to seek ways of work safety and laborsaving. The heart rate of four forest-workers were recorded throughout the working day. As results, ratio of composition in weeding was showed that weeding, rest and moving were about 61%, 27% and 5% respectively. The productivity in weeding was 0.228ha/day and manpower needs was 4.4man/ha. Because of second weeding, the manpower needs was lower than standard for quality per unit(manpoer needs of weeding : 7.0man/ha) of forest tending. It said that weeding was worked properly. According to direction of weeding, uphill weeding imposed the most severe workloads on the forest-worker and workload was higher in order uphill, diagonal uphill, diagonal downhill, downhill, horizontality direction in weeding. It showed that the mean working heart rate(HRw) was 114±5.2(SD)beat/min and mean ratio of increasing heart rate(IHR) was 68.9% in weeding. The workload index(WLI) of weeding was 44.1% and all workers conducted work over the Endurance limit(EL). As mean of 50% level indices was 0.95, weeding was considered continuous heavy work.

      • KCI등재후보

        염소 플라즈마를 이용한 알루미늄 식각 공정이 저유전상수 층간절연막 polyimide에 미치는 영향

        문호성,김상훈,이홍구,우상균,김경석,안진호 한국마이크로전자및패키징학회 1999 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.6 No.1

        차세대 저유전상수 층간 절연막중 하나로 대두되고 있는 polyimide를 플라즈마에 노출시키고 이때 나타나는 전기적 특성변화를 살펴보았다. polyimide를 알루미늄 식각시 사용되고 있는 Cl-based 플라즈마에 노출시켰을때 유전상수가 약간 증가함을 볼 수 있었고, F-based 플라즈마로 $SF_{6}$ 플라즈마에 노출시켰을 때는 유전상수 감소를 볼 수 있었다. 이는 fluorine또는 chlorine bond의 생성과 관련된 것으로 FTIR과 XPS분석을 통해 확인할 수 있었다. 따라서 Cl-based 플라즈마로 알루미늄 식각 후 $SF_{6}$플라즈마에 노출시킴으로써 이 부식문제의 해결뿐만 아니라 po1yimide의 유전상수도 낮출 수 있으리라 기대된다. We have studied electrical properties of polyimide for the next generation interlayer low dielectric during plasma etching. Dielectric constant of polyimide exposed to Cl-based plasma, which is used in aluminum etching, increased, while that of polyimide exposed to $SF_{6}$ plasma decreased. The results are related to fluorine or chlorine bonds as examined by FTIR ana XPS analyses. So, we expect that Cl-based 1)miasma etching of aluminum followed by $SF_{6}$ plasma exposure results in the prevention of post-etch corrosion and decrease of dielectric constant.

      • KCI등재

        김용택 시의 서정미학

        문호성 현대문학이론학회 2003 現代文學理論硏究 Vol.0 No.20

        In this paper we attempt to discuss the lyrische vorgang represented in Kim Yong-taek's poetry : how does the lyrische vorgang get along with his work, how does it formalize the aesthetic frame? Two main themes of his poet 「seomjingang」 are 'lyricism' and 'history'. Lyricism is represented as an image of the river which is the symbol of a comfort place for tough life, a shape of the river which is the symbol of the live nature. The shape of the river is an aesthetics which is often occurred in the 「seomjingang 1」 text. The writer of the 'seomjingang' text gives the antagonism world. This can be regarded as his popularism formated through his rural life. The contrasting world built by the foreshadow of 'kohyang' and 'seomjingang' is elastically established. The lyric aesthetics and antagonism discourse world will be in the end united as an ideal world if we consider them in terms of the whole poet text structure. The antagonism discourse, incorporated in the clear lyricism, is the contrasting world represented by 'seomjingang' test. The poet Kim Yong-taek's elastically construct the contrasting world by mutual interaction.

      • KCI등재
      • KCI등재

        뉴 라운드 해운·물류 서비스 협상에 대한 논의와 시장개방에 대비한 운송업종의 경영효율성 비교 분석

        문호성 한국해운물류학회 2004 해운물류연구 Vol.43 No.-

        The opening about the sphere of maritime and distribution service is under discussion in WTO and OECD. The pursuit of management efficiency a field of distribution is the very important problem for carry forward the kingpin nation of northeastern asia in external given conditions. The transport cost is the very expensive in the structure of Korea transportation industry so that cut down on transport cost is the first important problem for development of the industry. The effective business inside enterprise achieve to cut down transport cost. This paper analysis on what production factor effects on earing by estimating marine, land and air transport industrial classification earning function by estimate fixed effect model using panel data. This paper shows an empirical evidence that the elasticity of capital investment is larger and elasticity of labor is small compare with other transport industries. This empirical evidence suggests that the capital investment is more effective than labor investment to management efficiency of maritime industry. WTO체제와 OECD내에서 해운분야를 비롯한 물류서비스 분야의 개방에 관한 논의가 진행 중이다. 이러한 대외여건과 동북아 중심국가 추진을 위하여 국가경쟁력을 확보라는 과제에서 물류분야의 효율성 추구는 매우 중요한 과제이다. 한국 물류산업의 비용구조를 살펴보면 수송비가 차지하는 비중이 가장 커 한국 물류산업의 발전을 위해서는 수송비 절감이 가장 시급한 과제이다. 수송비의 절감은 기업내부의 효율적인 경영을 통하여 달성할 수 있다. 이 논문은 패널자료를 이용한 고정효과 모형을 통하여 해운·항공·육상운송업의 업종별 수익성 함수를 추정하고 각 생산요소가 수익성에 미치는 영향을 분석하였다. 그 결과 해운업은 타 운송업에 비해 자본투자의 탄력성이 크고 노동의 탄력성은 작다는 계량분석을 통한 실증결과를 제시하고 있다. 이러한 실증결과는 해운업의 경영효율성을 달성하기 위하여 노동투자보다 자본투자가 효율적임을 시사한다.

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