단일 영상 분광 타원계측기 기반 다층 박막 분석 기술 연구

김진섭 조선대학교 대학원 2020 국내석사

Recently, precise film structures have become essential for integrated circuit (IC) and flat panel display (FPD) products because of their multi-functional purposes and compactness. In these products, thin films are deposited on a silicon or glass substrate with various materials and thicknesses for conductivity, insulation and packaging. For the successful operation and performance, film structure should be manufactured as designed. In addition, the measurement or inspection of the geometrical dimensions and material properties of film layers becomes an important issue in order to confirm their functional uniformity. Ellipsometry has been very important for the characterization of thin film structures as a non-destructive metrological tool. Comparing the measured quantities such as ellipsometric angles of ψ and Δ with their counterparts of theoretical model, ellipsometry can determine the thin film thicknesses with high sensitivity and even a spectroscopic ellipsometry (SE) provides the reliability and robustness of the measurement results with sufficient spectral data of ψ(λ) and Δ(λ). However, most of SE only measure film thicknesses at a single point of the interest and adopt polarization adjustment of the light by using rotation of polarizing optic elements or electrical phase modulation, which leads to time consumption. Imaging ellipsometry has capability of obtaining 3D or line profile of film thicknesses, but it still needs rotating mechanisms for the polarization changes. In this study, I propose two types of spectroscopic ellipsometers, a spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer and a polarization pixelated spectroscopic ellipsometer that can measure the multi-layered film thicknesses with a single image. The spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer can collect all information, necessary to characterize film structures, with a single image acquisition. Instead of using temporal phase retardation devices, a spatial phase retardation plate is used and an imaging spectrometer can obtain the intensity variations by polarization states and wavelengths. As an optical source, a broadband light is used and the light with a small beam size is linearly polarized by a linear polarizer. Then, the light is incident to a film specimen and reflected off with the polarization changes caused by the ratio of p-pol and s-pol waves. The reflected light passes through a beam expander and the large size of the light goes through spatial phase retardations by a spatial phase retardation plate (SPR), designed to provide the periodic phase retardation along a horizontal axis. The spatially phase retarded light passes through an analyzer and detected in an imaging spectrometer. Then, the imaging spectrometer only images one of the horizontal lines of SPR at the center and spectrally resolve this line. The horizontal axis of the image indicates the polarization changes caused by the periodic phase retardations while the vertical axis means the spectral axis. As the result, the intensity variations by various polarization states and wavelengths can be obtained at once in a single acquisition of the image. In the polarization pixelated spectroscopic ellipsometer, the ellipsometric parameters can be acquired by adopting a polarization-pixelated CMOS camera and an imaging spectrometer without any mechanical or electrical moving parts and their spectral and spatial profile are obtained with a single image. As a light source, a spatially coherent broadband light is used and the light beam size is enlarged by beam expander to fully illuminate the measurement line of a film specimen (S). The light beam goes through a 45° rotated polarizer and is incident to S with the semi-Brewster angle of S. The reflected beam from S passes through a 45° rotated quarter-wave plate and is incident to an imaging spectrometer through an imaging lens. Then, the spectral density is distributed along the vertical axis of the captured image while each spectral density set corresponding to the point on the measurement line is horizontally located at the image of a polarization pixelated CMOS camera (PCMOS). In PCMOS, an individual pixel of the image sensor has its own polarizer, oriented by 0°, 45°, 90°, and 135° while a (2⨯2 pixels) unit cell block is repeatedly arranged in whole imaging area. In this case, these four kinds of polarizers of the unit cell in PCMOS can act as a role of rotating an analyzer with a step of 45° under the assumption that the light obtained in the unit cell is from the same point on the measurement line and its wavelength is the same. Then, the whole image obtained by PCMOS can be split as four images according to polarizing angles and the ellipsometric information can be obtained by these polarization changes. Subsequently, the proposed system is equivalent to a number of rotating-analyzer type SE, and it can obtain the ellipsometric spectral data for the line at once with a single image only. In order to verify the spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer and the polarization pixelated spectroscopic ellipsometer, single and multi layered film structures were used as specimens, and it was confirmed that multi-layered film thicknesses could be successfully obtained at a point and a line, respectively, with each single image.

도시교통수단으로서의 자전거이용 활성화 방안 연구 : 대전광역시를 중심으로

김진섭 한밭대학교 산업대학원 2010 국내석사

최근 산업화와 더불어 자동차수는 급속히 증가하여 현재 1732만 대를 넘어섰으며, 자동차 중심의 교통정책은 만성적인 교통체증과 주차난 등 도시교통 문제를 야기할 뿐만 아니라 소음과 매연 등 도시환경은 날로 악화되어 심각성을 더해가고 있으며, 화석연료 사용 증가로 인한 지구온난화 등 기후변화가 국제사회에서 최우선 의제로 급부상하고 있다. 지금까지의 자동차 중심의 공급관리 교통정책은 자동차의 폭발적인 증가에 효과적으로 대응하기에 한계가 있으므로 날로 악화되는 도시의 교통 및 환경 문제를 해결하고, 국민 삶의 질 향상을 위해서는 대중교통과 녹색교통 중심의 교통수요관리 정책으로의 전환이 시급한 실정이다. 최근 정부에서도 기후변화 협약, 고유가 등 국제환경의 급격한 변화에 대응하고 국민의 삶의 질 제고와 물류 및 교통혼잡 비용을 획기적으로 줄이기 위하여 친환경적 대중교통체계로의 전환과 자전거 이용 활성화를 위한 각종 정책을 마련 중에 있다. 이러한 노력에 힘입어 자전거를 도시교통수단으로 정착시키기 위한 국민적 공감대가 확산되고 있으며, 지방자치단체별로 자전거 이용 촉진을 위한 각종 사업의 시행과 다양한 논의가 활발히 진행되고 있다. 대전시의 경우, 2008년 말 현재 496㎞의 자전거도로가 개설되어 운영 중에 있으며, 2015년까지 자전거 수단분담률을 10%까지 높이기 위하여 자전거전용도로 등 인프라 구축과 함께 시민 공용자전거 운용 등 다양한 정책을 추진 중에 있다. 그러나 대전시 자동차 수는 2008년 말 현재 53만9천여 대에 이르고, 승용차 수단 분담률(도보 제외 경우)도 급격하게 상승하여 55.7%로 이르는 등 도시교통 및 환경은 날로 악화되고 있는 실정이다. 현재 대전시에 설치된 자전거도로는 대부분 보행자겸용도로로서 주로 보행자들이 이용하고 있으며, 자전거이용자는 이를 피해 보도를 이용하는 사실상 이름뿐인 경우가 많다. 또한 주요 시설과의 연계성이 부족하고 지역적 편중이 심각하며, 각종 안전 및 편의시설이 정비되어 있지 않아 자전거이용을 활성화하기에는 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 대전시가 추진해온 자전거이용시설 정비 및 정책의 현황 및 문제점을 살펴보고, 대전시민의 자전거이용 실태 및 의식 등을 분석하여 대전시를 쾌적하고 살기 좋은 도시로 발전시키기 위한 도시교통수단으로서의 자전거이용 활성화 방안을 제시하고자 한다. Due to rapidly increasing numbers of vehicles which are up to more than seventeen million now, coming along with urbanization, motor-car-oriented transportation policies cause not only chronic traffic congestion problems and parking problems but also noise and fumes so that urban environment keeps on worsening seriously day by day. And climate change issue such as global warming according to increasing use of fossil fuel has become a number one agenda in the international society. As there has been a limit in our transportation policies headed for motor-car-oriented supply management system when it comes to dealing with its explosive increase in an efficient way, the whole policy has to turn into public and green transportation-centered demand management policies in order to improve living condition of the people and to solve environmental and transportational problems. Currently the government has been making various policies to activate bicycle use and turning into eco-friendly public transportation system in order to deal with rapid change of global environment such as convention on climate change, high oil price as well as to enhance quality of people's lives and to lessen traffic congestion charge. Thanks to these efforts, it was reached to national consensus to settle bicycle as an urban transportation method. Besides, local self-government bodies are actively on the progress under promotion of bicycle use and activation of its related business and various discussion. In Daejeon, for example, bicycle use takes 2.6% of all transportation methods by installation of 496㎞ of bicycle roads that would be increased upto 10% by 2015. However, traffic congestion problem and urban environmental sickness are getting worse as now numbers of motor vehicles are reached upto more than half million(5.39 hundred thousands) and the using rate of motor vehicles rapidly increased upto 55.7%. Moreover, 98% of current bicycle roads has designed along with pedestrian roads that resulted in lack of linkage with other main facilities, local imbalance, avoidance of using by lack of safety and convenient facilities. This study is to solve urban transportational and environmental problems in Dae-jeon city and to seek how to develop bicycle as a proper means of main transportation to make the city comfortable and livable by researching distinctive features and theories of bicycle and home and abroad model policies and documents in that field. Also, this study suggested possible plans to activate bicycle use as a means of urban transportation based on research of present status on bicycle facilities and analysis of customer survey on its problems in Daejeon.

a-IGZO TFT에서 illumination stability mechanism 및 memory로의 적용 연구

김진섭 忠南大學校 大學院 2015 국내석사

In this paper,The amorphous indium-gallium zinc oxide thin film transistors (a-IGZO TFTs) with different oxygen flow rate and different Post Deposition Annealing (PDA) temperature was fabricated to clarify the effect of oxygen interstitial and vacancy on the VTH degradation under the illumination. Additionally, the amorphous indium-gallium zinc oxide thin film transistors (a-IGZO TFTs) with nanoparticle (NP) embedded in IGZO channel layer was studied for the memory applications.

또래와의 특수체육활동 프로그램이 뇌병변장애아동의 사회성 발달에 미치는 영향

김진섭 청주대학교 사회복지 · 행정대학원 2010 국내석사

이 연구의 목적은 또래와의 특수체육활동 프로그램을 통해 뇌병변장애아동의 운동 능력향상에 어떠한 영향을 미치며 1:1 개별교육과 또래와의 2인 1조 교육이 사회성 발달에 미치는 영향, 특정 체육활동 프로그램의 실시로 사회성 발달에 어떠한 영향을 미치는지에 대해 알아보고자 하는 데 있다. 이를 위해 본 연구는 충청북도 청주시에 거주하고 있는 뇌병변 장애아동 2명을 대상으로 주 2회기씩 매 회기는 50분으로 구성하여 총 16주간 실험을 실시하였다. 이 연구는 단일대상 연구 방법 중 ABAB 설계를 활용하여 4주간의 기초선 단계(A1)를 거쳐 4주간의 개입 단계(B1)를 가진 후 다시 4주간의 제2기초선 단계(A2)를 지나 다시 4주간의 제2개입 단계(B2)를 거쳐 체육활동의 결과를 보고자 했다. 특수체육활동 프로그램이 사회성 발달에 어떠한 영향을 미치는지 알아보기 위하여 중재가 이루어지지 않은 기초선 단계(A1) 실시 직전과 각 단계가 끝나는 시점마다 사회적 능력을 측정하기 위해 사회성숙도 검사를 사용하여 분석하였다. 또한 특수체육활동 종목과 그에 따른 사회성 발달사항과 운동향상 항목을 매 회기마다 관찰일지에 기록하고 대상아동의 부모와 상담한 것을 분석하였다. 이상의 연구방법과 절차를 통하여 장애아동이 체육활동을 통하여 사회성 발달에 어떠한 영향을 미치는지에 대해 연구한 결과는 다음과 같다. 첫째, 프로그램을 실시하기 전, 각 단계를 마쳤을 때마다 대상아동 1, 2 모두 사회성숙도 검사 결과 사회지수(SQ)에서의 증가가 나타났다. 둘째, 개별적으로 프로그램을 실시할 때보다 2인 1조로 프로그램을 실시할 때 운동 능력뿐만 아니라 사회성 발달에서도 향상이 나타났다. 셋째, 2인 1조의 특수체육활동 프로그램을 통해 새로운 교육이나 의존적으로 해오던 일상생활에서 변화가 나타나 스스로 문제해결을 위한 시도를 하는 모습이 관찰되었다. 또래와의 특수체육활동 프로그램은 신체적인 운동능력 향상과 더불어 사회성과 같은 심리적인 측면에서의 발달에도 매우 효과적인 것으로 나타났다. 따라서 또래와의 특수체육활동 프로그램은 뇌병변장애아동의 사회성 발달에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 보여 진다.

정부의 주택공급정책과 주택 임차가구 보호에 관한 연구

김진섭 서강대학교 1994 국내석사

Fractality and self-similarity in complex networks

김진섭 서울대학교 대학원 2010 국내박사

교육공무직원의 공공봉사동기가 조직몰입과 직무만족에 미치는 영향

김진섭 한국교원대학교 교육정책전문대학원 2021 국내석사

본 연구의 목적은 학생, 교사, 학부모 등 교육수요자를 대상으로 일선 교육현장에서 교육행정서비스를 수행하고 있는 서울특별시교육청 소속 교육공무직원의 조직몰입과 직무만족에 영향을 주는 변수로서 공공봉사동기의 역할과 수준을 확인하고, 구성원의 조직몰입과 직무만족에 개인-조직적합성과 개인-직무적합성이 매개 역할을 수행하는지를 검증하는 것이다. 이를 위하여 다음과 같은 연구문제를 설정하였다. 첫째, 서울특별시교육청 소속 교육공무직원의 공공봉사동기와 조직몰입 및 직무만족과 적합성의 수준은 어떠한가? 둘째, 공공봉사동기는 구성원의 조직몰입과 직무만족에 긍정적인 영향을 미치는가? 셋째, 구성원의 공공봉사동기는 개인-조직적합성과 개인-직무적합성에 긍정적인 영향을 미치는가? 넷째, 개인-조직적합성과 개인-직무적합성이 조직몰입과 직무만족에 긍정적인 영향을 미치는가? 다섯째, 공공봉사동기가 조직몰입과 직무만족에 미치는 영향에 있어 개인-조직, 개인-직무적합성이 매개하는가? 본 연구는 서울특별시교육청 소속 일선 유·초·중·고등학교에 근무하고 있는 교무행정지원사, 교육실무사(교무), 유치원에듀케어강사, 돌봄전담사, 전문상담사, 지역사회교육전문가, 영양사, 조리사, 조리원, 총 9개 직종 교육공무직원 1,100명을 대상으로 하였다. 연구문제 검증을 위해 SPSS 25.0 통계프로그램을 사용하였으며, 기술통계 분석, 평균차이 분석, 상관분석, 다중회귀 분석을 사용하였으며, 매개효과의 분석을 위해서는 Baron & Kenny(1986)의 3단계 회귀분석을 시행하였다. 이에 따른 분석 결과는 다음과 같다. 첫째, 서울특별시교육청 교육공무직원의 공공봉사동기는 5점 만점에 다소 높은 수준을 나타냈다. 하위차원 중에서는 공공가치몰입의 평균값이 가장 높았고, 동정심, 공공봉사호감도, 자기희생 순이었다. 종속변수인 직무만족의 평균값은 조직몰입에 비해 월등하게 낮은데, 서울특별시교육청 지방공무원의 직무만족과 비교했을 때 1 이상 낮은 것으로 나타났다. 매개변수의 경우개인-직무적합성의 평균값이 개인-조직적합성에 비해 월등하게 높은 것으로 나타났다. 또한 집단 간 차이를 분석한 결과 기혼이, 자원봉사 경험이, 연령이 많을수록 공공봉사동기에 긍정적인 영향을 나타냈으며, 헌혈경험은 집단 간 차이가 거의 없었다. 둘째, 공공봉사동기의 하위 요인 중에서 공공봉사호감도, 공공가치몰입, 자기희생은 조직몰입에 유의미한 정(+)의 영향을 미쳤고, 동정심은 부(-)의 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 공공봉사동기의 하위 요인 중에서 자기희생은 직무만족에 유의미한 정(+)의 영향을 미쳤고, 동정심은 부(-)의 영향을 미치는 것으로 나타났다. 특히 조직몰입과 직무만족에 공공봉사동기의 하위차원 중에서 자기희생이 가장 큰 영향력을 미치는 것으로 나타났다. 셋째, 공공봉사동기와 적합성의 영향력에서는 자기희생이 개인-조직적합성에 가장 큰 정(+)의 영향을 미쳤고, 동정심은 부(-)의 영향을 미쳤다. 공공봉사호감도는 개인-직무적합성에 가장 큰 정(+)의 영향을 미쳤다. 넷째, 매개변수인 개인-조직적합성과 개인-직무적합성은 구성원의 조직몰입에 긍정적인 영향을 나타냈다. 특히, 개인-조직적합성은 개인-직무적합성에 비하여 조직몰입에 큰 영향력을 보였다. 그러나 직무만족에 대해서는 개인-조직적합성은 긍정적인 영향을 미친 반면, 개인-직무적합성은 부(-)의 영향을 미치는 것으로 나타났다. 마지막으로, 공공봉사동기와 구성원의 조직몰입과 직무만족과의 관계에서 개인-조직적합성은 모두 매개하는 것으로 나타났으나, 개인-직무적합성은 조직몰입은 매개하나 직무만족은 매개하지 않는 것으로 나타났다. 위의 결과를 종합해보면 교육공무직원의 공공봉사동기가 조직몰입과 직무만족 그리고 개인-조직적합성과 개인-직무적합성과의 관계에서 모두 긍정적인 영향을 미치는 것은 아님을 알 수 있다. 이는 공공봉사동기가 직무태도와 적합성에 긍정적으로 작동하기 위해서는 우호적 조직문화와 성과에 대한 적절한 평가, 내·외재적 보상, 자신의 의사를 반영한 직무배치 및 전보 등 일정한 조건이 충족되어야 하며 그렇지 못할 경우 공공봉사동기가 교육공무직원들에게 항상 긍정적인 조건으로 작용하지 않을 수 있음을 확인하였다. 이 연구결과를 바탕으로 교육행정서비스의 양과 질에 지대한 영향을 미치는 서울특별시교육청 소속 교육공무직원의 공공봉사동기와 조직몰입 및 직무만족과 개인-조직적합성 및 개인-직무적합성을 높이기 위한 방안을 제시하였으며, 본 연구를 토대로 후속연구의 필요성을 언급하였다.

건축적 구성요소의 삽입을 통한 도시건축의 재생 : 인천시 중구 개항기 근대건축물 밀집지역 내 제물량길을 중심으로

김진섭 경희대학교 건축조경대학원 2005 국내석사

현장 교사 재교육을 위한 교수 블로그 개발에 관한 연구 : 청주교육대학을 중심으로

김진섭 충주대학교 산업대학원 2011 국내석사

A study on how to develop self-regulated learning strategies and to promote intrinsic motivation towards learning is becoming required due to the rapid development of the information society and lifelong learning. As an effective solution to such demand blogs are beginning to attract much attention. Blogs are believed to improve learning outcomes by promoting motivation for learning and increasing interaction between students. As a result, the importance of them in education is increasing as an effective cognitive tool. Many teachers have been adopting blogs in an attempt to promote students' learning. They have demonstrated the feasibility of implementing a cooperative e-Learning environment using blogs and are believed to have achieved their purposes. Using blogs in an e-Learning environment causes learners to participate with enthusiasm in learning and in the assessment process unlike the traditional classroom learning environment. Students in the e-Learning environment seem to have participated in learning process with more responsibilities due to the result of being able to make self-directed decisions regarding the learning time, learning space and learning period involved in such classes. Thus, in the e-Learning environment, self-regulated learning strategies learners use and how to get students interested in learning will become more important compared with the traditional learning environment. Unfortunately it is true that research in the e-Learning field has not met these demands. Moreover, blogs can be used to write students' thoughts, feelings, and perceptions in connection with particular circumstances and contexts, so practitioners in education see blogs as an imperative cognitive tool which can be used in enhancing students' motivation towards learning, the interaction between students and learning effectiveness. In this study, the effectiveness and usability of blogs for in-service teachers with reference to training and lifelong education have been verified. 정보 사회의 발달과 일반화에 따라 평생 학습이 중요시 되면서 e-Learning 학습 환경에서 자기 조절 학습 전략의 확립과 내재적 동기를 촉진할 수 있는 방법론에 대한 연구가 중요시 되고 있다. 이에 대한 효과적인 해결책으로 주목받고 있는 것이 블로그(BLOG)이다. 블로그는 학습자의 학습 동기 및 상호작용을 촉진시키고, 학습의 효과성을 증진시킬 수 있는 학습 도구로써 그 중요성이 점점 더 증가하고 있다. 이에 교육현장에서 블로그를 사용하는 방법론과 시도가 많이 나타나고 있으며 실제 많은 성과를 거두는 것으로 알려져 있다. 이러한 블로그를 이용하는 e-Learning 학습 환경에서는 전통적 교실 수업과는 달리 학습자가 학습 시간, 학습 공간, 학습 기간 등 수업에 관련된 많은 요소들을 자기 주도적으로 선택하고 결정하므로 많은 책임감을 가지고 적극적으로 학습에 임할 수 있다. 이렇듯 e-Learning 학습 환경에서는 학습자가 자기 조절 학습 전략을 얼마나 잘 활용하는지에 대한 여부와 학습에 대해 얼마나 흥미를 가지고 임하느냐에 대한 문제가 기존의 전통적인 학습 환경에서 보다 더 크게 부각되어야 한다. 그럼에도 불구하고, 이제까지의 e-Learning 연구들은 이러한 요구에 부응하지 못한 것이 사실이다. 반면에 블로그를 이용하는 방법은 특정 상황에 대한 자신만의 생각, 느낌, 인식, 시점 등을 상황별, 시간별 혹은 기간별로 작성할 수 있는 기능이 있어 블로그가 학습자의 학습 동기 및 상호작용성 그리고 학습의 효과성을 증진시킬 수 있는 도구로써 인식됨에 따라 교육 현장에 블로그를 사용하려는 시도들이 많이 나타나고 있다. 이에 본 연구에서는 교육대학을 졸업하고 현장에서 직접 학생들을 교육하고 있는 교사들의 재교육과 평생교육을 위한 블로그를 구축하여 그 효과성과 유용성에 대해 검증하고자 한다.

과산화수소 민감성 전구약물을 이용한 신생 혈관 형성 촉진 유도 및 항 염증 효과

김진섭 전북대학교 일반대학원 2017 국내석사

하지 허혈성 질환은 동맥경화성 하지동맥 협착 및 폐색증과 같은 원인해 의해 유발된다고 알려져 있다. 이러한 하지 허혈성 질환은 국소 부위에 저산소증을 유발하며[1], 이에 대한 자가 치유의 과정에서 과산화수소가 발현되게 된다[2]. 발현된 과산화수소는 허혈의 치유를 위하여 염증발생과 신생혈관 형성의 중재자적인 입장을 취한다[3]. 그러나 여러 이유로 과 발현된 과산화수소는 체내 독성을 가지기 때문에, 본래의 목적과는 다르게 주변 조직을 괴사시키거나 혹은 신생 혈관 형성 저해의 결과를 가져오기도 한다[4, 5]. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하고자 과발현된 과산화수소의 소거 및 항산화 약물 방출 기능을 갖는 항염증, 신생혈관 형성 촉진 전구약물을 설계하였다. 이 전구약물은 과산화수소에 의해 분해되며, 뒤이어 신생 혈관 형성 촉진을 한다고 알려져 있는 4-하이드록시 벤질알코올 (HBA)을 방출한다. 특히, 위 약물의 작용 기전을 이해하기 위하여 두 가능성을 제시하였다. 첫 번째로 과산화수소 농도 조절에 의한 생리 활성 기능과 두 번째로 HBA의 항염증 및 신생혈관 형성 촉진 기능이 그것이다[1]. 두 가능성 중 어떤 경로가 신생 혈관 형성 촉진 과정에 결정적 역할을 하는지 확인하기 위하여, 세포 실험 및 동물 모델에서 약물을 투여하였으며, 다양한 지표에서 특이적인 항 염증 효과와 신생 혈관 형성 촉진 효과를 확인하였다. 또한, 과산화수소 소거와 HBA 방출에 의한 효과가 중첩되어, 단일 치료 효과와 비교하여 월등한 항염증 및 신생 혈관 형성 촉진 작용을 확인하였다. 이러한 결과를 토대로, 말초 동맥 질환 (PAD)과 같은 저산소증 환경을 가진 병변 부위에 효과적인 혈관 형성 촉진 능력을 기대해 볼 수 있을 것이다[2, 5].