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        Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과

        윤상원,이우영,양충모,하종봉,나경일,조현익,남기홍,서화일,이정희,Yun, Sang-Won,Lee, Woo-Young,Yang, Chung-Mo,Ha, Jong-Bong,Na, Kyoung-Il,Cho, Hyun-Ick,Nam, Ki-Hong,Seo, Hwa-Il,Lee, Jung-Hee 한국반도체디스플레이기술학회 2007 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3

        The NiSi is very promising candidate for the metallization in 45 nm CMOS process such as FUSI(fully silicided) gate and source/drain contact because it exhibits non-size dependent resistance, low silicon consumption and mid-gap workfunction. Ni film was first deposited by using ALD (atomic layer deposition) technique with Bis-Ni precursor and $H_2$ reactant gas at $220^{\circ}C$ with deposition rate of $1.25\;{\AA}/cycle$. The as-deposited Ni film exhibited a sheet resistance of $5\;{\Omega}/{\square}$. RTP (repaid thermal process) was then performed by varying temperature from $400^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ in $N_2$ ambient for the formation of NiSi. The process temperature window for the formation of low-resistance NiSi was estimated from $600^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$ and from $700^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$ with and without Ti capping layer. The respective sheet resistance of the films was changed to $2.5\;{\Omega}/{\square}$ and $3\;{\Omega}/{\square}$ after silicidation. This is because Ti capping layer increases reaction between Ni and Si and suppresses the oxidation and impurity incorporation into Ni film during silicidation process. The NiSi films were treated by additional thermal stress in a resistively heated furnace for test of thermal stability, showing that the film heat-treated at $800^{\circ}C$ was more stable than that at $700^{\circ}C$ due to better crystallinity.

      • KCI등재

        페라이트 층을 갖는 유전체 슬랩 도파관 격자 구조의 해석

        윤상원,Yun, Sang-Won 대한전자공학회 1989 전자공학회논문지 Vol. No.

        페라이트 층을 갖는 유전체 도파관이 갖는 비가역 전자파 전파특성을 아이솔레이터와 같은 비가역 소자에 응용 가능하도록 페라이트로 되어 있는 격자 구조를 제시하였다. 격자 구조를 유전체 도파관의 계단형 불연속이 cascade로 연결된 것으로 보고, 모드 정합법으로 구한 계단형 불연속의 산란 행렬을 이용하여 격자 구조의 특성을 해석하였다. 주기적인 격자 구조의 저지 주파수 대역이 사용하고자 하는 주파수 근처에 있을 때와 상당히 떨어져 있는 두 경우의 비가역 산란 특성을 35GHz 근처에서 해석하였으며, X-Band에서 제안된 격자 구조를 제작 실험하였다. In this paper, dielectric waveguide gratings, which can be applied to the nonreciprocal devices such as isolators, are proposed. Those grating structures can be considered as cascade connections of step discontinuities between uniform dielectric waveguides and another uniform dielectric waveguides with a ferrite layer. Therefore, the nonreciprocal scattering characteristics of such gratings can be obtained form the scattering characteristics of step discontinuities and uniform dielectric wave guides. For the periodic grating structures, band-reject characteristics can be located inside or outside the frequency range of interest. Numerical analyses are performed at 35GHz and experimental results at X-band are also presented.

      • Report_Invention & Creation - 발명창의력 증진을 위한 전문블록 개발

        윤상원,Yun, Sang-Won 한국발명진흥회 2010 發明特許 Vol.35 No.6

        본 연구에서는, 방명창의력 증진을 위한 전문 블록(다모블록)개발을 시도하고, 대학생들의 사용성 평가를 통해 통계적 검증이 이루어졌다. 개발된 다모블록은 각 면을 오목과 블록구조로 형성하여, 4면을 자유롭게 결합하는 슬라이드 방식의 특허기술이 적용된다. 결론적으로 개발된 다모블록은 발명교구로 사용될 수 있음은 물론, 발명원리를 발견하고 학생들의 다양한 발명사고 능력개발에 유용한 블록으로 평가된다.

      • KCI등재

        1920년대 전반기 김홍일의 항일무장투쟁

        윤상원(Yun, Sang-Won) 독립기념관 한국독립운동사연구소 2014 한국독립운동사연구 Vol.0 No.47

        이 글은 1918년 약관의 나이로 식민지 조선을 떠나 해방이 될 때까지 일제에 맞선 무장투쟁에 올곧게 헌신하였던 김홍일의 1920년대 전반기 항일무장투쟁 과정을 밝히려는 목적에서 작성되었다. 1918년 중국으로 망명한 김홍일이 목적지로 삼은 곳은 당시 중국 각 지역의 군벌들이 경쟁적으로 설립하여 운영하고 있던 군관학교였다. 그는 처음부터 무장투쟁으로 독립을 이루려는 뜻을 두고 있었던 것이다. 결국 그는 귀주육군강무학교를 졸업하고 본격적으로 항일무장투쟁의 길로 나서게 된다. 김홍일은 간도에서 군비단을 이끌고 러시아 연해주로 이동하였으며, 연해주 이만에서는 군비단을 대한의용군으로 재편하여 중대장에 임명되고, 사관학교의 교관으로 활동했다. 이후 1921년 12월에 시작된 원동해방전쟁에서 김홍일은 대한의용군을 이끌고 혁혁한 공적을 세웠다. 그 공적으로 대한의용군은 한인특립보병대대라는 이름으로 하바롭스크 주변 일대를 수비하는 임무를 맡게 되었다. 김홍일은 이 부대의 부대대장으로 임명되었다. 하지만 한인특립보병대대를 대규모 항일군단으로 조직하려던 김홍일의 꿈은 한인부대 내부의 갈등과 이를 핑계로 한 원동공화국 당국의 약속 불이행으로 사라지고 말았다. 한인특립보병대대는 해체되었고 김홍일은 이를 뒤로 한 채 중국령으로 돌아갔다. 이상 간도와 연해주에서 김홍일의 활동을 살펴보면 두 가지 사항을 알 수 있다. 첫째, 김홍일의 활동이 줄곧 항일무장투쟁에 집중되어 있다는 점이다. 이는 어쩌면 그가 귀주육군강무학교를 선택한 이후부터는 당연한 일일 수도 있다. 하지만 그는 이후까지도 항일무장투쟁의 노선에서 한 번도 눈을 돌린 적이 없다. 둘째, 김홍일은 개별적 전투를 이끌기도 했지만, 그의 궁극적 목표는 항상 대규모 항일군단의 건설에 놓여있었다는 점이다. 이를 위해 그는 군비단을 이끌고 자유시로 향했으며, 자유시에서의 노력이 실패로 돌아가고 난 뒤에는 연해주에서 항일군단을 조직하고자 하였다. 이는 그의 항일무장투쟁의 노선이 궁극적으로 독립전쟁론으로 이어져 있음을 뜻하는 것이라고 할 수 있다. 즉, 1920년대 전반기 김홍일의 항일무장투쟁은 대규모 항일군단을 조직해 일본과 독립전쟁을 벌이고자 하는 희망과 계획 아래 이루어졌다고 할 수 있다. The purpose of this article is to elucidate the process of the anti-Japanese armed struggle of the eminent patriot, Kim Hong-il, who left colonized Josun at his young age in 1918, dedicated himself for armed struggle against Japanese imperialism until the day of liberation. In 1918, after exiling in China, Kim Hong-il settled down at the military school. At that time, warlords from each region of China were competitively establishing and operating military schools. This suggests that from the very first, he had his mind in achieving liberation by armed struggle. Eventually, he began a journey for armed struggle against Japanese imperialism, after graduating from the Military school in Guijou. Kim Hong-il led Kunbidan in Kando and moved to Maritime province in Russia. In Iman, Kunbidan was reorganized as Taehanuiyonggun(Korean Voluntary Army). Consequently, he was nominated as a commander of Taehanuiyonggun and worked as an instructor in the military school. During the Liberation War in Far East, which started in December 1921, Kim Hong-il commanded Taehanuiyonggun and made a significant contribution. Thanks to this contribution, Taehanuiyonggun began in charge of defending the surroundings of Khabarovsk under the name of Korean infantry battalion. Hong-il Kim was appointed to general of this troop and had a dream to organize Korean infantry battalion into large-scale anti-Japanese troop. However, this dream put an end because of internal conflicts in Korean force and failure to keep the promise of the Far Eastern Republic. Thus, Korean infantry battalion was deactivated and Kim Hong-il went back to Chinese territory behind all these incidents. Following Hong-il Kim’s activities in Gando and Maritime province reveals two facts. Firstly, his activities were mostly concentrated in militant anti-Japanese movement, which might seem natural since he had chosen the Military school in Guijou. However, he never turned his attention away from the militant anti-Japanese movement even at later times. Secondly, although he had led individual battles, his ultimate aim was to build a large-scale anti-Japanese army. He led Kunbidan to the Jayu-si(city Svabodnii) to achieve this goal, and when his efforts proved futile, he tried to form an anti-Japanese army in Maritime province. This suggests that he intended his militant anti-Japanese movement to lead a war of independence. Therefore, it can be said that Kim Hong-il’s militant anti-Japanese movement in early 1920s was carried out under the hope and plan of forming a large anti-Japanese army and starting a war of independence against Japan.

      • KCI등재SCOPUS
      • KCI등재

        일제강점기 全一의 생애와 독립운동

        윤상원(Yun, Sang-won) 독립기념관 한국독립운동사연구소 2017 한국독립운동사연구 Vol.0 No.59

        경술국치 이후 곧바로 간도로 망명한 전일은 북간도에서 광성학교 교사가 되어 본격적인 독립운동에 뛰어 들었다. 광복단과 단지혁명결사대에 참여하였으며, 나자거우사관학교의 교사로 활동하였다. 러시아혁명 이후 1918년 하바롭스크에서 창립된 최초의 한인사회주의정당인 한인사회당에 참여하였으며, 한인사회당 적위군을 이끌고 백군과 일본군에 맞서 싸웠다. 이동휘와 한인사회당 중앙이 대한민국임시정부에 참여하기 위해 상해로 떠난 후 전일은 한인사회당의 연해주 지부로 설립된 일세당의 책임을 맡았다. 그는 일세당을 통해 사회주의운동을 전개하고, 승인-개조 분쟁 이후 복설된 대한국민의회를 통해 민족운동을 계속했다. 그러나 1920년 블라디보스토크에서 선전문 5만 장을 인쇄하여 배포하다가 일본군 헌병에게 체포되어 징역 5년을 선고받았다. 재판과정에서 전일은 자신의 직업을 ‘조선독립운동’이라고 대답하며 자신의 활동이 정당하다는 것을 강력히 주장하는 재판투쟁을 펼쳤다. 감옥에 수감된 후 동지 12명과 함께 비밀결사 적유의용단을 조직하고 탈옥을 결행하였다. 탈옥에는 실패하였으나 전일의 이름은 전 조선에 알려지게 되었다. 1927년 8년 만에 출옥한 전일은 조선공산당에 입당하여 당의 세력 확장을 위해 북간도 등지에 지부를 설치하는 임무를 맡아 활동하였다. 신간회 길주지회 대표로 복대표대회에 참석했다가 일제 경찰에 체포되어 징역 5년형을 선고받고 복역하였다. 전일은 1934년 9월 30일 만기 출옥하였다. 출옥 후 고향 길주로 내려간 전일은 얼마 후 소련으로 망명하였다. 하지만 소련의 스탈린 대숙청의 광풍에 휘말려 일제스파이 혐의로 체포되었다. 결국 1938년 5월 하바롭스크에서 총살당했다. 전일의 생애는 조국의 독립과 조선민중의 해방을 위한 가시밭길로 점철되어 있다. 전일이 일제의 감옥에 갇혀있던 시간만도 도합 14년에 달했다. 그의 생애와 독립운동 과정은 일제강점기 자신을 희생하며 대의를 추구했던 많은 독립운동가들의 전형을 보여주고 있다. The purpose of this article is to reveal the life and the independence movement of the unknown patriot, Chon-Il. Chon-Il was exiled to Kando of China after the Korea was colonialized by the Japan. He taught Korean students at Kwangseong school and Nazagou military academy. And He participated in the secret societies which were formed by exiled patriots. After the Russian Revolution, he joined the Korean Socialist Party, the first Korean socialist party founded in Khabarovsk in 1918, and fought against the White Army and the Japanese Army, leading the Red Army of the Korean Socialist Party. In 1920, he organized the Il Se-dang, the branch of the Korean Socialist Party in Vladivostok. During propaganda activities he was arrested by Japanese police and was sentenced to five years in prison. In prison, he organized a secret association faction ‘Jokyu-uiyongdan’ with 12 comrades and broke out of prison. The prison break failed, but his name ‘Chon-Il’ became known to the all Korean people. In 1927, as soon as he got out of prison, he joined the Korea Communist Party and go to the North Kando in order to expand the party’s power. However, he was arrested again by Japanese police and was imprisoned for five years. In 1934 he got out of prison. Shortly afterwards, he fled to the Soviet Union. However, he was sacrificed by the purge of Stalin. Unjustly his charge was Japanese spy. Eventually he was shot in Khabarovsk in 1938. Chon-Il’s life is dotted with a thorny path for the independence of the motherland and liberation of the Korean people. His life and the process of independence movement showed the stereotype of many patriots who pursued the independence of the motherland at their own expense.

      • KCI등재

        러시아 민족정책과 한인 소련의 민족정책 변화와 1937년 한인 강제이주

        윤상원 ( Sang Won Yun ) 수선사학회 2013 史林 Vol.0 No.46

        The purpose of this study is to elucidate the causes of Korean deportation from Russian Far East to Central Asia in 1937. From what has been discussed above, we can state the following two points. According to the decision of the Soviet government, the official aim of deportation is “to prevent the penetration of Japanese espionage in the Far Eastern Territory.” And given the international and domestic situations at that time, this concern of the Soviet government had a sufficient basis. In the late 1930s there was possibility of the Japanese invasion to the Russian Far East and some Japanese spies were doing espionage in the Maritimes. But if we have a little more in-depth study, we can find that the ultimate cause of deportation was to be changes in national polices of the Soviet Union. After the death of Lenin, the principle of national self-determination was not followed in the Soviet Union. Especially Stalin`s theory of socialism in one country encouraged Russian chauvinism. In the process of agricultural collectivization and construction of the socialist society, self-determination of the Minority and rights of the people were ignored. As a result, deportation of Koreans in Russia could be executed.

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