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      • UV/Cl₂(g)에 의한 Si-wafer 표면금속 오염물의 건식세정에 관한 연구

        손동수,정광진,최성호,천희곤,조동율 울산대학교 1998 공학연구논문집 Vol.29 No.2

        본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 표면에 존재하는 미량의 Zn, Fe, Ti 금속 오염물들이 UV-excited chlorine radical을 이용한 건식세정 방법으로 제거되는 반응과정을 연구 하였다. 실리콘 웨이퍼 상에 진공증착법으로 원형패턴이 있는 Zn, Fe, Ti 박막을 증착시켜 상온 및 200℃에서 UV/CI₂세정하였을 때, 염소 래디컬(CI*)이 Fe, Zn, Ti와 반응하여 제거되는 것을 반응 전후 광학현미경과 SEM을 통해 표면 형상 변화를 관찰하였고, in-line으로 연결된 XPS를 통해서 반응 후 웨이퍼 표면에 남아있는 화합물의 화학적 결합상태를 관찰하였으며, UV/CI₂세정 후 실리콘 기판이 손상받는 정도를 알기 위해 AFM으로 표면 거칠기를 측정하였다. 광학현미경과 SEM의 분석에 의하면 Zn와 Fe는 쉽게 제거되는 반면 염화물을 형성하기 보다는 휘발성이 적은 산화물을 형성하는 경향이 강한 Ti은 약간만 제거되는 것을 확인하였다. XPS 분석을 통해서 이들 금속 오염물들이 chlorine radical과 반응하여 웨이퍼 표면에 금속 염화물을 형성하고 있는 것을 확인하였고, UV/CI₂세정처리를 하였을 때 실리콘 웨이퍼의 표면 거칠기가 약간 증가하는 것을 알 수 있었다. 지금까지의 결과를 통해 볼 때, 습식세정과 UV/CI₂건식세정을 병행하면 플라즈마 및 레이저를 사용하는 다른 건식세정 방법에 비하여 보다 저온에서 실리콘 기판의 큰 손상 없이 비교적 용이하게 금속 오염물을 제거할 수 있음을 알수 있었다. The reaction mechanisms of dry cleaning of Zn, Fe and Ti trace contaminants on the Si wafer using UV/CI₂ have been studied by SEM, AFM and XPS analyses. The patterned Zn, Fe and Ti films were deposited on the Si wafer surface by thermal evaporation and changes in the surface morphology after dry cleaning using CI₂and UV/CI₂at 200℃ were studied by optical microscopy and SEM. In addition changes in surface roughness of Si wafer by the cleaning was observed by AFM. The chemical bonding states of the Zn, Fe and Ti deposited silicon surface were observed with in-line XPS analysis. Zn and Fe were easily cleaned in the form of volatile zinc-chloride and iron-chloride as verified by the surface morphology changes. Ti which forms involatile oxides was not easily removed at room temperature but was slightly removed by UV/CI₂at elevated temperature of 200℃. It was also found that the surface roughness of the Si wafer increased after CI₂and UV/CI₂cleaning. Therefore, the metallic contaminants on the Si wafer can be easily removed at lower temperature by continuous processes of wet cleaning followed by UV/CI₂dry cleaning.

      • 준와도 방정식을 이용한 동해 eddy의 수중음속 계산

        나정열,팽동국 漢陽大學校 環境科學硏究所 1995 環境科學論文集 Vol.16 No.-

        Munk가 제안한 대양에서의 “표준해양(Canonical Ocean)”을 근거로 한국 동해의 표준해양 음속분포를 구했다. 이 때 음속은 국립 수산진흥원에서 27년(1961-1987)동안 격월로 관측한 수온과 염분자료로 Medwin(1975) 공식을 사용해서 계산하였으며 최소 음속층은 대양과는 달리 400m에 존재했다. 이러한 표준해양에 eddy로 인한 음속 변화를 준와도 방정식(Scully-Power, 1988)을 이용해서 이론적으로 계산한 값과 현장관측으로부터 구한 한국 동해에 출현하는 eddy 내의 음속분포를 비교하였다. 1979년 4월 수산진흥원 정선 102에서 관측된 eddy는 이론적으로 계산된 값과 표층을 제외하고는 약 5m/s 이내의 오차범위내에서 잘 일치하였다. 1988년 4월과 1992년 4월 인공위성에서 찍은 표층 수온 분포를 통해 음속의 수직 분포를 이론적으로 계산한 결과 관측값과 약 10m/s의 차이를 보였다. 또한 eddy 내의 해류를 계산했는데 수평적 분포는 시계방향의 순환을 하는 warm eddy의 특성을 잘 보여준다. 수직적으로는 표층에서 최대값을 가지며 수심에 따라 지수함수적으로 감소하여 800m 에서 2㎝/s 값을 갖는다. The canonical ocean sound speed profile of the East Sea of Korea was obtained by using the Munk's model(1974) in that, the sound speed was calculated by the Medwin(1975)'s formula from the bimonthly temperature and salinity data of the FRDA(Fisheries Research & Development Agency) for 27 years(1961-1987). The depth of sound channel axis exists at the 400m depth in the East Sea of Korea. The sound speed perturbed by eddies of the East Sea of Korea was theoretically calculated in three dimensions by using the quasi-geostrophic potential vorticity equation(Scully-Power, 1988). The observed sound speed profiles of eddies in the East Sea of Korea were compared with the ones calculated theoretically. The sound speed profiles of the eddy observed along the Line 102 in April 1979, except the surface, showed the same tendency and magnitude with the one calculated theoretically within 5m/s error range. The vertical sound speed profiles in April 1988 and 1992 were also calculated from the satellite images of the sea surface temperature and showed the error range of 10m/s. The calculated surface current velocity within the eddy was anti-cyclonic which is characteristic of the warm eddy. In vertical structures, it showed the maximum current speed at the surface and is exponentially decreased with depth to the magnitude of 2㎝/s in the 800m depth.

      • KCI등재

        쌀의 특성요인이 소비자효용에 미치는 영향

        허무열,한동근 한국농업정책학회, 한국축산경영학회 2001 농업경영정책연구 Vol.28 No.1

        The best way to protect the Korean rice industry when the rice market opens is to improve the quality of domestic rice so as to best serve consumers' preferences. This study uses a logit model to examine the effects of rice attributes on the consumer's utility. The empirical result shows that the texture attribute is the most influential factor in determining an overall quality of rice. The odor also turns out to be a significant factor.

      • KCI등재

        경남지역의 채소류와 화훼류 해충에 관한 조사

        신현열,이동운,추호렬,박정규 경상대학교 농업생명과학연구원 2001 농업생명과학연구 Vol.35 No.-

        본 연구는 1996년 경남지역 주요 채소류와 화훼류 작물에 발생하는 해충과 기타 주요 해로운 동물의 종류를 알아보기 위하여 수행하였다. 오이에서는 오이총채벌레와 꽃노랑총채벌레를 포함하여 7과 8속 10종이 확인되었으며, 양파에서는 알톡토기를 포함한 4과 4속 4종이 조사되었고, 배추에서는 배추좀나방과 담배거세미나방을 포함한 10과 13속 14종이 확인되었다. 거베라에서는 아메리카잎굴파리와 점박이응애, 담배거세미나방을 포함한 8과 8속 10종이, 글라디올러스에서는 명주달팽이와 민달팽이, 들민달팽이를 포함하여 6과 7속 8종이, 국화에서는 민달팽이와 꽃노랑총채벌레를 포함한 10과 13속 14종의 해충이 확인되었다. Insect pests were surveyed on the major vegetable and floricultural crops in Gyeongnam province in 1996. In addition, some other important animal pests were included in this survey. Ten species of 8 genera in 7 families including Thrips palmi and Frankliniella occidentalis were found from cucumber; 4 species of 4 genera in 4 families including Bourletiella hortensis from onion; 15 species of 14 genera in 11 families including Plutella xylostella and Spodoptera litura from Chinese cabbage; 10 species of 8 genera in 8 families including Liriomyza trifolii, Tetranychus urticae and S. litura from gerbera; 6 species of 7 genera in 8 families including Acusta despecta, Incilaria contusa and Deroceras varians from gladiolus; and 14 species of 13 genera in 10 families including I. contusa and F. occidentalis from chrysanthemum.

      • KCI등재

        경남지역 주요 약용작물의 해충 종류 조사

        신현열,이동운,추호렬,정도철 경상대학교 농업생명과학연구원 2002 농업생명과학연구 Vol.36 No.4

        경남지역 주요 약용 작물 5종에 발생하는 해충과 기타 해로운 동물의 종류를 1999년과 2000년 2개년 동안 조사하였다. 홍화에서는 우엉수염진딧물과 꽃노랑총채벌레, 대만총채벌레, 오이총채벌레, 알락수염노린재를 포함한 13과 16속 20종이 확인되었으며, 산약에서는 꽃노랑총채벌레, 대만총채벌레, 애긴노린재를 포함한 6과 7속 10종이, 두충에서는 차주머니나방을 포함하여 6과 8속 8종이, 당귀에서는 대만총채벌레, 꽃노랑총채벌레, 차응애, 점박이응애, 복숭아혹진딧물을 포함한 11과 15속 16종이, 길경에서는 담배거세미나방, 파밤나방을 포함하여 10과 11속 14종의 해충이 확인되었다. Insect pests and some important arthropod pests infesting five medicinal crops were surveyed in Gyeongnam province in 1999 and 2000. Nineteen species of 16 genera in 12 families including Vroleucon gobonis, Frankliniella occidentalis, F. intonsa, Tetranychus cinnabarinus, Thrips parmi, and Dolycoris baccarum were identified from safflower. Ten species of 7 genera in 6 families including F. occidentalis, F. intonsa, and Nysius plebejus from yam, 8 species of 8 genera in 6 families including Eumeta minuscula from hardy rubber-tree, 16 species of 14 genera in 11 families including F. occidentalis, F. intonsa, T. kanzawai, T. urticae and Myzus persicae from Angelica gigas, 15 species of 14 genera in 11 families including Spodoptera exigua, and S. litura from balloon flower.

      • CMI(Customer Managed Interactions)에 기반한 모바일 인터엑티브 마케팅을 위한 비즈니스 모델의 개발에 관한 연구

        윤동주,정대율 동의대학교 경제경영전략연구소 2012 經濟經營硏究 Vol.7 No.1

        We suggest a business model and it's system architecture for the mobile advertising by smart-phone that is new trend in recent ITC(information technology and communication) application. It will be a new marketing tool with an intelligent agency that connect between user and business company automatically. The business model is developed as an application of MIM(Mobile Interactive Marketing) technique. The model's key concept is CMI(Customer Managed Interactions) in which the customers and service companies are actively interchange their information simultaneously by the Agency Web Server. If a customer input information by a application(Agency Web Client) in his smart-phone, the information is transmitted to the Agency Web Server, and saved in the customer database. Also, a company, advertiser, input advertizing information about his products or services, the Agency get the information. The matching algorism search a target that satisfy the requirement of each. The Agency, intelligent mobile advertizing system, could more efficiently advertise to the proper target customers. The business model will contribute to the optimal target selection and sales promotion of the company.

      • KCI등재

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