양혈거풍탕(養血風湯)을 투여한 두통을 동반한 경추 추간판 탈출증 환자 치험 2례

조남훈,김미령,정훈,양승희,Cho, Nam-Hoon,Kim, Me-Riong,Jeong, Hoon,Yang, Seung-Hee 척추신경추나의학회 2011 척추신경추나의학회지 Vol.6 No.2

양혈풍탕(養血風湯)을 처방하여 경추 추간판 탈출증으로 인한 극심한 통증 및 두통이 호전된 2례를 통하여 신경학적 결손이 없는 요추 방출성 골절에 대해 양혈풍탕(養血風湯)이 환자의 자각적인 증세 및 NRS, NDI 상으로 유효한 효과가 있었음을 확인하였다. 이에 저자는 두통이 동반된 경추 추간판 탈출증으로 입원하여 양혈풍탕(養血風湯)을 복용한 후 호전된 2케이스를 보고하는 바이다. Objectives : The purpose of this study is to investigate the clinical application of Yanghyeolgeopung-tang(yangxuequfeng-tang) to two patients with cervical disc herniation and headache. Methods : The patients were hopitalized at the Dept. of Oriental Rehabilitation Medicine, Jaseng Oriental Medicine Hospital, and diagnosed as cervical disc herniation and treated mainly with herbal medicine; Yanghyeolgeopung-tang(yangxuequfeng-tang). Additional acupuncture and pharmaco-puncture was provided. NRS(Numeric Rating Scale) and NDI(Neck Disability Index) scores were used as outcome measures. Results : After taking Yanghyeolgeopung-tang(yangxuequfeng-tang), the patients' pain was controlled and the patients slept well after treatment. NRS and NDI scores both decreased. Conclusions : As seen in these two cases of cervical disc herniation with headache, Yanghyeolgeopung-tang(yangxuequfeng-tang) has a positive effect in controlling neck pain and headahce due to cervical disc herniation.

MeV Si 자기 이온주입된 단결정 Silicon내의 결함 거동

조남훈,장기완,서경수,이정용,노재상,Cho, Nam-Hoon,Jang, Ki-Wan,Suh, Kyung-Soo,Lee, Jeoung-Yong,Ro, Jae-Sang 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.7

본 연구에서는 MeV Si 자기 이온주업을 실시하여 주업원자와 모재 원자와의 화학적 영향이 배제된 결함 형성 거동을 관찰하였다. 자기 이온주업을 위하여 Tandem Accelerator가 사용되었고 1~3 MeV의 에너지 범위의 이온주입이 실시되었다. MeV 이온주입된 시편의 격자결함은 표면으로부터 고립된 $R_p$ 근처에 집중된 것이 관찰되었다. 주입에너지 변화에 따른 격자결함 생성 거동을 관찰하기 위하여 조사량을 $1{\times}10^{15}/cm^2$으로 고정하고 주입에너지를 1~3 MeV로 증가하였다. RBS 분석 결과 격자결함의 형성층 깊이는 에너지 증가에 따라 증가하였고 표면층에는 에너지 증가시 더욱 좋은 결정성을 유지하였다. 또한 주입에너지가 일정한 경우 조사량 증가시 $R_p$ 부근에 집중된 결함층의 농도는 증가하였으나 표면부근의 결함농도는 임계조사량 이상에서 포화되는 것이 관찰되었다. XTEM 분석 결과는 RBS의 결과와 잘 일치하였다. XTEM 관찰 결과 이온주업 상태의 결함층은 dark band의 형태로 관찰되었고 열처리시 이차결함은 이곳으로부터 생성되었다. 2MeV $Si^+$ 자기 이온주입시 이차결함이 형성되는 임계조사량은 $3{\times}10^{14}{\sim}5{\times}10^{14}/cm^2$ 사이로 관찰되었다. 열처리시 dark band의 하단부의 위치는 변화하지 않고 상단부만이 제거되었다. 실험을 통하여 얻은 결과들은 Monte-Carlo technique을 이용한 TRIM-code를 사용하여 해석하였다. SIMS 분석을 통하여 이차결함은 모재내에 존재하는 oxygen 불순물을 gettering함을 관찰하였다. In this study MeV Si self ion implantations were done to reveal the intrinsic behavior of defect formation by excluding the possibility of chemical interactions between substrate atoms and dopant ones. Self implantations were conducted using Tandem Accelerator with energy ranges from 1 to 3 MeV. Defect formation by high energy ion implantation has a significant characteristics in that the lattice damage is concentrated near Rp and isolated from the surface. In order to investigate the energy dependence on defect formation, implantation energies were varied from 1 to 3 MeV under a constant dose of $1{\times}10^{15}/cm^2$. RBS channe!ed spectra showed that the depth at which as-implanted damaged layer formed increases as energy increases and that near surface region maintains better crystallinity as energy increases. Cross sectional TEM results agree well with RBS ones. In a TEM image as-implanted damaged layer appears as a dark band, where secondary defects are formed upon annealing. In the case of 2 MeV $Si^+$ self implantation a critical dose for the secondary defect formation was found to be between $3{\times}10^{14}/cm^24$ and $5{\times}10^{14}/cm^2$. Upon annealing the upper layer of the dark band was removed while the bottom part of the dark band did not move. The observed defect behavior by TEM was interpreted by Monte Carlo computer simulations using TRIM-code. SIMS analyses indicated that the secondary defect formed after annealing gettered oxygen impurities existed in silicon.

인공임신중절(人工姙娠中絶)에 미치는 요인(要因)의 변화(變化)에 관한 분석(分析)

조남훈 ( Nam-hoon Cho ),안남기 ( Namkee Ahn ) 한국보건사회연구원 1993 保健社會硏究 Vol.13 No.2

우리나라는 지난 30년에 걸친 家族計劃事業의 성공적인 추진으로 出産力 감소와 避姙實踐의 보편화라는 사업의 기본 목표를 달성했음에도 불구하고 아직도 우리나라의 인공임신중절은 매우 높은 수준을 유지하고 있다. 이는 원치 않는 姙娠을 사전에 예방할 수 있도록 기존사업의 질적 개선방안이 강구되어야 할 것이다. 따라서 본 연구는 1991년도 전국 출산력 조사자료를 이용하여 임신결과에 관한 시계열적인 분석을 통하여 인공임신중절에 미치는 제반 要因의 변동추이를 규명하는데 목적을 두었다. 이 분석결과에 의하면 인공임신중절은 多子女婦人層에서 높으며, 이는 인공유산이나 가족계획이 모두 희망하는 수의 자녀를 두고난 후 斷産을 목적으로 수용되어 왔음을 의미한다고 하겠다. 출산 순위별로 보면 이전에 출생한 자녀의 性構成은 임신결과를 결정하는 가장 중요한 변수로 浮刻되고 있다. 즉 임신이 인공임신 중절로 歸着되는 확률은 부모가 이미 아들을 두고 있는 경우에 일관성 있게 증가되고 있다. 지난 30년에 걸친 우리나라의 출산력 감소는 남아선호관의 緩和速度보다 더욱 급진적으로 발전되어 남아선호도의 强度는 더욱 높아지게 되었고 따라서 자녀의 性은 임신결과를 결정하는 주요변수로서뿐 아니라 아들을 갖기 위한 선택적인 인공임신중절로 인한 性比의 불균형을 초래하는 要因으로 작용하고 있음이 본 연구를 통하여 규명되었다. 한편 부인의 교육은 인공임신중절에 正的인 효과를 나타내고 있으나 시간이 경과됨에 따라 이 효과는 감소하는 경향을 보이고 있으며, 婚前姙娠이나 都市地域의 경우 임신이 인공임신중절로 처리되는 확률은 증가되고 있다. 우리나라는 이미 人口代置水準 이하의 낮은 출산율과 높은 피임실천율을 이룩했기 때문에 향후의 가족계획사업은 과거와 같이 출산억제를 위한 量的인 人口學的 접근에서 性比의 균형유지와 터울조절 목적의 피임실천 유도와 피임의 효율적 실천으로 인공임신중절의 예방에 기여할 수 있도록 保健學的 접근으로 정책방향을 전환해야 할 것이고, 동시에 가족계획은 모자보건사업과 완전 통합운영하여 人口資質의 향상에 기여토록 해야할 것이다. 특히 성비의 불균형을 초래하는 선택적 인공임신 중절을 예방하기 위한 제도적인 장치의 강화와 더부러 남아선호관을 불식시키기 위한 사회지원 시책은 계속 강화되어야 한다. 따라서 인구목표가 달성되었다 할지라도 가족 계획의 必要性이나 當爲性이 評價切下 되어서는 안될 것이다. Despite the fact that national family planning program in Korea has accomplished its primary goals of fertility reduction and universal contraceptive use, the induced abortion is still high. This indicates that much of the current family planning program needs to be overhauled, so that the program quality could be better controlled, by preventing the number of unwanted pregnancies. This paper aims, therefore, to examine the determinants of induced abortion through the investigation of pregnancy outcomes and their changes over time in Korea. This study was based on the 1991 National Fertility and Family Health Survey conducted by KIHASA. The abortion rate had increased rapidly until the mid-1980s when there were about the same number of abortions as live births. Thereafter, the abortion rate has been maintained at the maximum level. By parity it shows a much higher abortion rate for a higher parity at all time. From the first parity, the sex composition of previous children /Stands out as the most important factor in deciding the pregnancy outcome at all time. The probability of a pregnancy ending in an abortion increases substantially when parents already had a son. The decline of the desired family size and the sustained strong son preference has made the sex of children a more important factor in the determination of the pregnancy outcome. Woman`s education has consistently positive effects on the probability of a pregnancy to end in an abortion, but the effect shows a steady decline over time. The premarital pregnancy and urban residence also increase the abortion probability. This study implies that the main concerns of the family planning program should be shifted from current quantitative approach which focuses on fertility reduction to qualitative health approach which emphasizes a balanced sex ratio and prevention of induced abortions. In addition, the family planning program should be fully integrated with maternal and child health(MCH) services for the improvement of population quality, and the importance of family planning should not be underrated just because of low fertility rate.

고압 커패시터 투입시 전압확대에 따른 사고 사례 연구

조남훈(Nam-Hoon Cho),정점수(Jum-Soo Jung),박용우(Yong-Woo Park),하복남(Bok-Nam Ha),이흥호(Hyung-Ho Lee) 한국조명·전기설비학회 2008 조명·전기설비학회논문지 Vol.22 No.9

대전 관내에서 송전계통 및 배전계통의 고장발생이 없었음에도 불구하고 고압 수용가의 2차측에서 플리커(형광등 깜박거림), 엘리베이터 정지 등의 문제가 수차례 발생하였다. 순간 전압변동의 원인을 해당 변전소 캐패시터 소손, 캐페시터 투입과 OLTC 조작으로 인한 전압변동, 고조파 공진 등을 원인으로 추정하고 같은 전압변동 원인 분석을 실시하였다. 분석 개소는 정전이 발생된 변전소 모선 전압과 전류, 캐패시터 뱅크의 전압과 전류, 덕진과 항공 D/L의 전류, 세종아파트의 MOF와 엘리베이터 전용의 변압기 2차측의 전압과 전류이다. 분석결과 변전소의 캐패시터 뱅크의 콘덴서, 리액터, 방진코일의 조사 결과 열화 및 소손이 없었으며, 4차 고조파에 공진이 되도록 설정된 것도 측정을 통해 이상 없음을 확인하였다. 사고재현을 위해 이전과 동일하게 변전소 캐패시터 조작을 수행했으나 엘리베이터가 중단되는 현상이 재현되지 않았지만 고압측의 콘덴서를 투입하였을 때 수용가측의 저압변압기 2차측에 서 15[%] 이상 전압이 확대됨을 확인하였다. 다양한 분석과 시뮬레이션 결과 공진에 의해 진압이 확대되었음을 규명하였다. Capacitor switching is essential for the economic operation, and proper voltage control of KOREA electric utility distribution system Voltage transients produced by capacitor switching (around 2.0 per unit at substation and 2.5 or less per unit at customer site, and lasting less then I[㎳]) do not have the magnitude or duration to interfere with the operation of computers, but they do disrupt the operation of adjustable speed drivers, The result of our research, ASD manufacturers should learn from the computer industry and design products that will operate satisfactory in the electrical envelopment in which they will be placed. In this case history, the inductors on the input to ADSs in order to prevent nuisance tripping from capacitor switching(and other causes within the apartment) proved to be an effective, low-cost solution.

우리나라 인구억제정책(人口抑制政策)의 현황(現況)과 전망(展望)

조남훈 ( Nam-hoon Cho ),서문희 ( Moon-hee Seo ) 한국보건사회연구원 1989 保健社會硏究 Vol.9 No.1

本稿는 韓國人口保健硏究院이 1988年에 실시한 全國出産力 및 家族保健實態調査結果를 토대로 1962年부터 人口抑制政策의 일환으로 추진하여온 家族計劃事業의 實態를 종합적으로 分析하여 向後 政策方向을 提示하는데 目的을 두었다. 周知하는바와 같이 政府家族計劃事業은 初期부터 弘報敎育을 전담하는 家族計劃要員과 避姙施術서비스를 提供하는 指定醫師(一般開業醫)를 근간으로 하여 政府의 保健所組織網을 통해 推進되어 왔으나 同事業이 政府各部處의 共同參與와 一線行政에서의 最優先事業으로 부각된 것은 政府의 第5次 經濟社會發展5個年計劃이 着手된 1982年以來라고 할 수 있다. 즉 政府는 上記 5個年計劃를 수립하는 과정에서 보다 强力한 人口抑制政策이 필요하다는것을 인지하고 종래에 추진해온 家族計劃事業을 활성화하기 위한 方案으로서 事業管理促進制度의 改善, 少子女規范 및 避姙實踐을 유도하기 위한 社會支援施策의 强化, 各部處間의 協調體制의 確立등을 골자로 하는 49個 人口抑制施策을 수립하여 1982年부터 강력히 推進하게 되었다. 이와 같은 政府의 施策에 따라 1982~1988年 期間中 政府支援에 의한 避姙施術 受害者의 數는 무려 378万名(不姙手術227万名, 子宮內裝置 151万名)에 이르고 있으며 이들 避姙受容婦人中 거의 90%가 2子女以下 受容者라는 點을 감안할때 1980年代에 이룩된 政府家族計劃事業은 비단 量的인 측면에서 뿐 아니라 事業의 人口學的 效果도 매우 지대하다고 評價될 수 있다. <表-5>에서와 같이 15~44歲 婦人의 避姙實踐率은 1982年의 70%에서 1988年에 77.1%로 증가되었고, 方法別로 보면 同期間中 不姙手術은 40.5%에서 48.2%로, 콘돔은 7.2%에서 10.2%로 각각 增加된 반면 子宮內裝置를 포함한 其他方式의 實踐率은 오히려 감소되는 추세를 보이고 있다. 한편 婦人의 現存子女數別 實踐率은 子女數가 2名또는 그 以上인 경우가 거의 90%以上의 높은 實踐率을 보이고 있는 반면에 子女數가 없거나 1名만의 婦人의 避姙實踐率은 각각 21 .0%, 58.1%로서 向後의 避姙普及對象을 당연히 이들 20代 젊은 婦人層에 집중되어야 할 것이다. 이들 集團은 追加子女를 희망하거나 斷産을 원해도 不姙受容을 주저하는 集團으로 예상될 뿐 아니라 全體婦人中 48.2%가 不姙受容婦人이라는 點을 감안할 때 콘돔을 포함한 一時的인 避姙方法의 普及에 力點을 두어야 할 것이다. 특히 避姙實踐率의 增大에 따라 婦人의 人工姙娠中絶率도 크게 감소는 되고 있으나 人工妊娠中絶의 대부분이 20代 婦人層에서 발생되고 있기 때문에 願치않은 妊娠이나 人工妊娠中絶을 豫防하기 위해서는 이들 婦人層에 대한 一時間的인 避姙方法 普及이 매우 중요한 것이다. 따라서 콘돔과 같은 方法을 政府事業에서 除外한다는 일부 主張은 잘못된 것이며, 政府事業에서 除外되는 避姙方法의 實踐率은 이들 方法에 대한 一線要員의 啓蒙敎育이 不在하여 계속 減少될 것이라는 點을 인지해야 할 것이다. 1980年代의 人口抑制政策에 관한 政府의 강력한 意志와 社會經濟的 發展에 힘입어 우리나라 婦人1人當 合計出産率은 1984年의 2.1名에서 1987年에는 1.6名으로 減少되어 政府가 당초 婦人의 合計出産率을 1995年까지 1.75名水准으로 低下시키고 人口增加率을 1993年까지 1%水准으로 抑制한다는 第6次計劃期間中의 人口目標는 이미 早起達成된 것으로 評價되고 있다. 이와 같은 最近의 人口動態率 變動에 따라 經濟企劃院(調査統計局)에서 작성한 새로운 人口推計에 의하면 우리나라의 人口는 2020年에 約5,019万名線에서 成長이 停止될 것으로 展望된다. 그러나 이와같은 人口推計는 1985年以來 婦人의 合計出産率이 1.7名水?이 지속된다는 前提下에 이룩된 것이나 이미 1.6水?으로 도달되었기 때문에 人口成長의 停止年度가 오히려 앞당겨 질 수도 있다. 그러나 새로운 人口推計대로 人口가 成長한다고 할 지라도 向後의 人口成長이 住宅, 食量, 雇傭등 社會經濟的 發展에 미치는 人口의 압박요인은 더욱 악화될 것으로 전망되기때문에 人口成長의 停止年度가 빠르면 빠를수록 유리하다는 理論도 있을 수 있겠으나 人口成長의 停止以后에 올 수 있는 否定的 結果도 충분히 검토되어야 할 것이다. 結論的으로 우리나라의 出産率(TFR)은 이미 人口代置水? 以下에 도달되었기 때문에 家族計劃事業의 基本目標도 出産低下보다는 기존의 事業이 지니고 있는 斷産爲主의 避姙實踐, 높은 避姙中段率, 높은 人工妊娠中絶率, 男兒選好에 의한 性比의 不均衡등을 해소할수 있도록 事業의 質的인 측면에 力點을 두어야 할 것이며, 避姙施術費의 검증적인 有料化, 民間主導型 家族計劃事業을 위한 基盤造成, 家族計劃事業과 其他 保健事業과의 실질적인 統合運營을 위한 組織 및 機能의 再編 등 家族計劃事業의 管理運營方式이 現今의 社會, 經濟, 人口學的 興件에 부합 되도록 과감하게 改善되어야 할 시기라고 본다. 특히 家族計劃은 人口抑制策으로서 뿐 아니라 우리가 追求하고 있는 家族 및 社會 福祉를 실현하기 위한 基本手段인것이므로 同事業은 社會開發次元에서 강력히 推進해 나가야 할 것이다.

Effects of Induced Abortion and Son Preference on the Imbalance of Sex Ratio in Korea

Nam-Hoon Cho(趙南勳),Moon-Sik Hong(洪文植),Il-Hyun Kim(金日炫) 한국인구학회 1994 한국인구학 Vol.17 No.2

Despite the fact that the national family planning program in korea has accomplished its primary goals of fertility reduction and universal contraceptive use, the induced abortion is still high and there has been an increasing trend in the population sex ratio at birth. It seems that the changes in the imbalance of sex ratio have originated from traditonal boy preference. This indicates that much of the current family planning program can be overhauled, so that the program quality could be better controlled, by preventing the number of unwanted pregnancies and the imbalance of sex ratios. This paper aims, therefore, to examine the determinants of induced abortion through the investigation of pregnancy outcomes and their changes over time and to study the interaction between induced abortion, boy preference and the imbalance of sex ratio in Korea. The abortion rate had increased rapidly until the mid─1980s when there were about the same number of abortions as live births. Thereafter, the abortion rate has been maintained at this high level. By parity it shows a much higher abortion rate for a higher parity at all time. From the first parity, the sex composition of previous children stands out as the most important factor in deciding the pregnancy outcome at all time. The probability of a pregnancy ending in an abortion increases substantially when parents already had a son. The decline of the desired family size and the sustained strong son preference has made the sex of children a more important factor in the determination of the pregnancy outcome. Women's education has had consistently positive effects on the probability of a pregnancy ending in an abortion, but the effect shows a steady decline over time. The premarital pregnancy and urban residence also increase the abortion probability. This study suggests that the main concerns of the family planning program should be to strengthen the social support policies so as to weaken the son preference value leading to a balanced sex ratio and prevention of induced abortions.

최근(最近)의 출산력(出産力) 및 피임양상(避姙樣相)

조남훈 ( Nam Hoon Cho ),공세권 ( Sae Kwon Kong ),임종권 ( Jong Kwon Lim ) 한국보건사회연구원 1984 保健社會硏究 Vol.4 No.2

Since the inception of the national family planning program in 1962, there has been a great change in the contraceptive practice and fertility rates for the 15.44 group of married women. This change was not only due to the vigorous family planning program that constituted an integral part of the governments economic development plans that started in 1962 but also due to the various socioeconomic changes that took place since then. In drawing up the Fifth Five-Year Economic and Social Development Plan (1982-1986) in 1981, the government took into consideration the future population growth rate will seriously threaten efforts toward national socioeconomic developments unless the existing population policy measures are further strengthened. Ten ongoing demographic targets for the fifth five year plan period (1982-1986) was set up under the assumption that the estimated 1982 population of 39.3 million will reach the 41.8 million level in 1986, stabilizing at around 61.3 million in 2050. In order to achieve the planned demographic targets successfully, the government announced the new comprehensive population control policies in December of 1981 which call for; a) improvement of the current operation and management systems of the national family planning program, b) strengthening of the innovative social support policies including the incentive and disincentive schemes encouraging small family norm, c) integration of family planning programs with other developed programs, and d) establishment of a close for the population control programs. Since 1982, the government has been exerting its utmost effort to put into effect the above four points considered to be essential for the successful implementation of the various population programs. Thanks to this recent effort by the government to set up the population control measures, the number of sterilization acceptors with two children or less and the contraceptive acceptance rate have greatly increased since 1982. Again in table 7, one observes that the contraceptive practice rate for the 15-44 group of married women increased from 55 percent in 1979 to 58 percent in 1982, but in the recent two year period (1982-1984) the increases rate stands at a 12 percent points, that is, the pace at which the contraceptive practice rate increase is sharply accelerating in recent years. This rapid increase rate is attributed to the high acceptance rate of sterilization that stood at 28 percent in 1982 and jumped to 41 percent in 1984. In accordance with the rapid increase of contraceptive practice rate in recent years, the total fertility rate (TFR) dipped from 2.7 births per woman in 1981 to 2.4 in 1983. However, the re抑nal differentials in fertility rates are clearly observed. In the urban region the fertility 如 2.2,which contrasts with the rural fertility rate of 3.0 births, in spite of the same level of contraceptive practice rates in the urban and rural areas that stood at 71 percent and 70 percent. The regional differentials in fertility seem to arise from the strong parental son preference that is still very much arise in the rural area. In addition, the increase of the contraceptive practice rate in recent years has greatly contributed to the improvement of maternity health through the prevention of induced abortion. The 1984 survey data shows that the total abortion rate for the 15-44 group of married women has decreased 2.6 abortions per woman in 1981 to 1.8 in 1983 Since the inception of the family planning slogan focusing on the one child family (“A well bred girl surpasses ten boys”, ,”even two are too many", etc.), the proportion of the respondents who replied one child is enough increased from 16 percent in 1982 to 65 percent in 1984 (see table 10). The figure indicates that, given an appropriate incentive systems for one child family, the number of those who opt for one child would certainly increase. Given the above high contraceptive rate and fertility level, the population control policy in the immediate future would be strengthened to lower the fertility level of those in the 20-29 age category whose births account for over 80 percent of the total annual births, if it is to meet its goal of the population replacement level by 1988. As this point, the following areas must be considered for further strengthening; first, the current program management systems should be improved for recruiting new acceptors in the young age groups, and for persuading them to resort to temporary contraceptive methods for birth spacing. Second, the social support policies should be strengthened to provide preferential treatment to those with one child only, and to get rid of the boy-preference value. Third, the commercial sector programs should be strengthened by providing preferential treatment to the contraceptive manufacturing companies, and by providing educational programs for private physicians and parmacists. Among the future directions mentioned above, the foremost priority in Korea`s population control policy should be given to the eradication of the son preference value by instituting bold social support policies including incentive systems for one child family.

Demographic Transition ; Future Directions of the National Family Planning Program in Korea

Nam-Hoon Cho(趙南勳),Hung-Tak Lee(李興卓),Hwa-Ok Bae(裵花玉) 한국인구학회 1993 한국인구학 Vol.16 No.1

사찰 (寺刹) 조형물의 특성에 관한 연구

조남훈(Cho Nam Hoon),한병권(Han Byoung Kwon) 한국전통조경학회 1992 한국전통조경학회지 Vol.10 No.2

N/A N/A

3 MeV P+ 이온주입된 실리콘의 열처리에 따른 X - ray Rocking Curve 분석

조남훈(Nam-Hoon Cho),장기완(Ki-Wan Jang),김창수(Chang-Soo Kim),이정용(Jeong-Yong Lee),노재상(Jae-Sang Ro) 한국진공학회(ASCT) 1995 Applied Science and Convergence Technology Vol.4 No.1

고에너지 이온주입시 격자결함의 생성 및 열처리 거동이 double crystal X-ray 와 단면 TEM을 사용하여 연구되었다. 3 MeV P^+ 이온주입한 실리콘의 DCXRD 분석 결과 조사량 증가에 따라 모재 내의 변형량은 증가하였다. HRTEM 분석 결과 고에너지 이온주입시 결함은 표연 부근에 회박하고 Rp 부근에 집중되어 있었다. 또한 이온주입 상태의 결함층은 dark band의 형태로 존재하였으며 열처리시 이차결함은 이곳으로부터 생성됨이 관찰되었다. 3 MeV P^+, 1×10^(15)/㎠의 조건으로 이온주입된 실리콘 시편의 열처리에 따른 X-ray rocking curve 분석을 통하여 열처리 온도가 550℃에서 700℃로 증가함에 따라 모재 내부의 최대 변형량이 7×10^(-4)에서 2.9×10^(-4)으로 감소함이 관찰되었다. 특히 550℃ 열처리한 시편의 경우 표면으로부터~1.5 ㎛ 영역에 작은 변형층이 넓게 잔존하였으며 열처리 온도를 700℃로 증가한 경우 제거되었다. 이온주입시 생성된 일차결함들은 700℃ 열처리시 60˚전위와 <112> 막대 모양 결함, 1000℃ 열처리시 <110> 방향의 전위루프로 열처리 조건에 따라 여러 가지 모양의 이차결함으로 변화하였다. 고에너지 이온주입에 의해 발생한 이차결함은 고온에서도 안정하여 고온 열처리에 의한 제거가 용이하지 않았다. High energy ion induced damage and its annealing behavior were investigated using double crystal X-ray diffraction and cross sectional transmission electron microscopy. Results of DCXRD for 3 MeV P^+ implanted silicon indicated that the total lattice strain increases as ion dose increases. HRTEM observations confirmed that as-implanted damages are rare near the surface region but are concentrated around Rp. In a TEM image as-implanted damage layer appears as a dark band, where secondary defects are formed upon annealing. X-ray rocking curve analyses indicated that the maximum lattice (+) strain decreases from 7×10^(-4) to 2.9×10^(-4) as annealing temperature increases from 550℃ to 700℃. for 3 MeV P^+ implanted silicon at a dose of 1×10^(15)/㎠. Especially near the surface region, small amount of lattice strain was observed from the surface to ~1.5 ㎛ after annealing at 550℃, while it disappears by 700℃ annealing. Primary defects by implantation changes into secondary defects with various morphologies according to annealing temperatures such as 60° dislocations and <112> rodlike defects at 700℃, and <110> dislocation loops at l000℃. Once secondary defects are formed, they were stable and were difficult to be removed by thermal annealing in the case of high energy ion implantation.