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        유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 극판 전력 인가의 영향

        이효창,정진욱,Lee, Hyo-Chang,Chung, Chin-Wook 한국진공학회 2012 Applied Science and Convergence Technology Vol.21 No.3

        진공을 기초로 한 극판 전력이 인가된 유도 결합 플라즈마 소스에 관한 대부분의 연구는 자기 바이어스 효과에만 한정되어 있으며, 다양한 반도체 및 디스플레이 식각 공정에서 공정 결과와 소자 품질에 결정적인 역할을 하는 플라즈마 변수들(전자 온도, 플라즈마 밀도)과 극판 전력의 상관관계에 대한 연구는 거의 없는 실정이다. 본 연구에서는 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향에 관한 내용을 다루고 있으며, 최근의 연구 결과에 대한 리뷰를 포함하고 있다. 플라즈마 밀도는 극판 전력 인가에 의하여 감소 또는 증가하였으며, Fluid global model에 의한 결과와 잘 일치하는 경향을 보였다. 전자 온도는 RF 바이어스에 의하여 증가하였으며, 전자 에너지 분포 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 관찰하였다. 또한, 플라즈마 밀도의 공간 분포는 극판 전력에 의하여 더욱 균일해짐을 알 수 있었다. 이러한 극판 전력과 플라즈마 변수들의 상관관계와 전자 가열 메커니즘에 대한 연구는 방전 특성의 물리적 이해뿐만 아니라, 반도체 식각 공정에서 소자 품질 및 공정 개선을 위한 최적의 방전조건 도출과 외부 변수 제어에 큰 도움을 주리라 예상된다. RF biased inductively coupled plasma (ICP) is widely used in semiconductor and display etch processes which are based on vacuum science. Up to now, researches on how rf-bias power affects have been focused on the controls of dc self-bias voltages. But, effect of RF bias on plasma parameters which give a crucial role in the processing result and device performance has been little studied. In this work, we studied the correlation between the RF bias and plasma parameters and the recent published results were included in this paper. Plasma density was changed with the RF bias power and this variation can be explained by simple global model. As the RF bias was applied to the ICP, increase in the electron temperature from the electron energy distribution was measured indicating electron heating. Plasma density uniformity was enhanced with the RF bias power. This study can be helpful for the control of the optimum discharge condition, as well as the basic understanding for correlation between the RF bias and plasma parameters.

      • KCI등재

        수질오염물질 감소의 편익 추정 -수질총량제하 가상배출권시장 개념의 적용-

        한택환 ( Tak Whan Han ),이효창 ( Hyo Chang Lee ) 한국환경경제학회·한국자원경제학회(구 한국환경경제학회) 2014 자원·환경경제연구 Vol.23 No.4

        본 연구는 수질오염물질에 대한 가상적 배출권거래시장을 상정하여 균형배출권가격을 도출함으로써 수질개선에 따른 편익을 추정하려고 시도하였다. 우리나라에서는 낙동강수계를 비롯하여 주요 수계에 수질오염물질 총량관리제도가 실시되고 있다. 사회적으로 바람직스러운 배출총량을 결정함으로써 국민과 정부는 암묵적으로 수질오염물질의 경제적 가치를 결정한 것과 같다고 할 수 있다. 각 지자체별로 수질오염물질 배출상의 제약으로 인하여 희생된 경제적 기회비용이 발생할 것이며 이 기회비용의 크기가 수질오염물질의 경제적 가치이기 때문이다. 이 가상적 배출권거래시장에서의 균형가격을 수질 총량제하의 수계전체의 배출총량과 지자체별 할당에 의하여 암묵적으로 결정된 수질오염물질 배출의 단위당 가치라고 해석할 수 있다. 배출량과 편익의 관계로부터 한계순편익함수를 도출하고 지자체별 배출허용총량을 이용하여 개별배출권 초과수요함수를 구성하여 균형배출권가격을 도출하였다. 추정 결과 배출권시장의 균형배출권가격이 1,409.3원/kg·BOD으로 추산되었다. 이는 외국의 사례와 비교하여 적정한 수준이라 평가되며 이러한 배출권가격은 수질 오염물질의 단위당 경제적 가치를 산정하여 수질 변화를 수반하는 사업의 B/C분석에 직접적으로 이용할 수 있을 것으로 기대된다. This study attempts to estimate the value of the water quality improvement by deriving the equilibrium price of the water pollutant emission permit for the imaginary water pollutant emission trading market. It is reasonable to say that there is already an implicit social agreement for the unit value of water pollutant, when the government set the Total Water Pollutant Loading System for the major river basin as a part of the Comprehensive Measures for Water Management, particularly for the Nakdong River Basin. Therefore, we can derive the unit value of water pollutant emission, which is already implied in the pollution allowance for each city or county by the Total Water Pollutant Loading System. Once estimated, it will be useful to the economic assessment of the water quality related projects. An imaginary water pollutant emission trading system for the Nakdong River Basin, where Total Water Pollutant Loading System is already effective, is constructed for the estimation of the equilibrium price of water pollutant permit. By estimating marginal abatement cost curve or each city or county, we can compute the equilibrium price of the permit and then it is regarded as the economic value of the water pollutant. The marginal net benefit function results from the relationship between the emission and the benefit, and then the equilibrium price of permit comes from constructing the excess demand function of the permit by using the total allowable permit of the local government entity. The equilibrium price of the permit would be estimated to be 1,409.3won/kg·BOD. This is within reasonable boundary compared for the permit price compared to foreign example. This permit price would be applied to calculate for the economic value of the water quality pollutants, and also be expected to use directly for the B/C analysis of the business involved with water quality change.

      • 도시유형별 도시통합운영센터 구축방안 연구

        이효창(Lee, Hyo Chang),유진수(You, Jinsoo) 한국IT서비스학회 2009 한국IT서비스학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.3

        2009년 현재 기완료된 바 있는 화성 동탄 신도시를 시작으로 국내 12개의 u-city가 건설 추진 중에 있다. 또한 39개의 지구가 추진예정 중에 있으며 더욱 많은 지자체들이 u-city사업에 관심을 가지고 있다. 이렇듯 지대한 관심을 받고 있는 u-city의 구성요소 중 핵심이라 할 수 있는 도시통합운영센터는 도시정보를 효율적으로 취합하고 정보서비스를 제공하는 요소라 할 수 있으며, 그 구축방안에 대한 연구들이 활발히 이루어지고 있다. 하지만 도시의 여러 특성에 따라 적합한 센터의 구축방안에 대한 연구는 거의 이루어지고 있지 않은 실정이다. 특히 도시개발 유형과 관련하여 신도시를 건설하면서 u-city를 구축하는 경우 도시의 기반시설물 구축과 함께 u-city시설물 구축이 동시에 가능하지만 기존 도시의 경우 이미 구축되어 있는 도시기반 시설물에 u-city구축을 위한 시설물과 관련 기술을 적용해야 하는 차이점이 있다. 따라서 이러한 차이로 인해 각 유형의 도시통합운영센터 구축방안에도 차이가 있을 수밖에 없다. 이에 이 연구에서는 우선 여러가지 도시특성 중 개발유형에 따라 도시의 유형을 구분하고 이를 중심으로 도시통합운영센터의 구축 시 고려해야 할 점에 대해 살펴본다.

      • 반도체 및 디스플레이 산업 플라즈마 측정 진단 기술

        이효창(Hyo-Chang Lee) 한국진공학회 2018 진공 이야기 Vol.5 No.4

        In the semiconductor and display industries, plasma is widely used throughout the entire process including etching, deposition, and ion implantation. In recent years, as the device structure has become complicated (for example, 3D NAND Flash, 3D-DRAM, and Fin-FET), line widths have become extremely narrower. In this situation understanding the plasma property, precise processcontrol, and tool matching through plasma measurements or process monitoring is highly needed. Thus, this paper discusses plasma diagnostic technology that can be used in the semiconductor and display industries.

      • Track 3 컴퓨터과학 : Data Matrix의 Reed-Solomon 오류 정정 코드 인코딩 알고리즘

        이효창 ( Hyo Chang Lee ),한희준 ( Hee June Han ),이종연 ( Jong Yun Lee ) 한국컴퓨터교육학회 2014 한국컴퓨터교육학회 학술발표대회논문집 Vol.18 No.2

        2차원 바코드는 기존에 사용되던 1차원 바코드에 비해 더 작은 공간에 더 많은 데이터를 표현 할 수 있는 혁신적인 바코드이다. 2차원 바코드가 1차원 바코드에 비해 가지는 이점은 데이터 용량 이외에도 많지만 그 중 가장 매력적인 장점으로 오류복원 기능이다. 현재 오류복원 기능을 가진 2차원 바코드중 Data Matrix, QRcode, PDF417, MaxiCode는 오류복원 방법으로 Reed-Solomon Error Correction 방법을 이용하고 있다. 본 논문에서는 2차원 바코드 중 Data Matrix에 적용된 Reed-Solomon Error Correction 기법과 적용 알고리즘을 소개하며 알고리즘에 맞춰 Data Matrix 코드에 Reed-Solomon Error Correction 기법을 적용에 초점을 두어 기술한다.

      • 대학교 캠퍼스의 범죄안전 환경조성에 관한 연구

        이효창(Hyo Chang Lee),하미경(Mi Kyoung Ha) 한국셉테드학회 2011 한국셉테드학회지 Vol.2 No.1

        본 연구의 목적은 대학교 캠퍼스 시설에 대한 현장조사를 통해 범죄안전 환경을 조사하고 대학교 캠퍼스의 범죄안전 환경 조성에 필요한 계획 방안을 제시하는 것이다. 본 연구의 연구방법은 문헌조사 및 현장조사이며 조사대상은 대학교 캠퍼스 시설이다. 본 연구의 결론은 다음과 같다. 첫째, 대학교 캠퍼스 시설의 세부 방범요소 적용이 필요하다. 둘째, 범죄자의 침입 경로 차단을 위한 환경계획이 필요하다. 셋째, 주야간 범죄안전 환경조성이 필요하다. 넷째, 대학교 캠퍼스 시설의 감시환경 조성이 필요하다. The purpose of this study is to propose the direction of environmental planning of university campus for crime-free through field survey of university campus. The methods of this study are literature review and field survey, and spatial scopes of this study are facilities in university campus located in Seoul. The conclusions of this study are as following. First, the adaptation of detailed environmental elements for crime-free are needed in university campus. Second, the environmental planning for closing the criminals path is needed. Third, the development of crime-free environment at day and night is needed in University campus. Fourth, the development of surveillance environment for crime-free is needed.

      • KCI등재
      • KCI우수등재

        도시 저층주거지역의 안전한 육아환경 조성을 위한 범죄예방 환경설계 연구

        이효창(Lee, Hyo-Chang),하미경(Ha, Mi-Kyoung) 대한건축학회 2022 대한건축학회논문집 Vol.38 No.6

        It is necessary to apply crime prevention environmental design through improvement of the physical environment to relieve crime and fear of crime by children for the purpose of creating a safe childcare environment for urban low-rise residential area. This study proposes a plan for urban low-rise residential areas that factor such environmental characteristics and to support childcare by offering improvement measures for a safer space. A literature review was analyzed, and a survey conducted on 366 parents. The analysis results of this research indicated that expanding and designating various child protection zones in urban low-rise residential areas is essential to enable safer walking conditions, safeguard playgrounds and create more activities for children. Improving the walking environment is needed considering these spaces are frequently used by children. Safeguarding playgrounds to better monitor children’s activities, control access to criminals, and strengthen territoriality around them would contribute to a more secure space. Lastly, strengthening various local activities for the public and its residents would also significantly help to foster a safer environment in preventing crime towards children.

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