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유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 극판 전력 인가의 영향
이효창,정진욱,Lee, Hyo-Chang,Chung, Chin-Wook 한국진공학회 2012 Applied Science and Convergence Technology Vol.21 No.3
진공을 기초로 한 극판 전력이 인가된 유도 결합 플라즈마 소스에 관한 대부분의 연구는 자기 바이어스 효과에만 한정되어 있으며, 다양한 반도체 및 디스플레이 식각 공정에서 공정 결과와 소자 품질에 결정적인 역할을 하는 플라즈마 변수들(전자 온도, 플라즈마 밀도)과 극판 전력의 상관관계에 대한 연구는 거의 없는 실정이다. 본 연구에서는 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향에 관한 내용을 다루고 있으며, 최근의 연구 결과에 대한 리뷰를 포함하고 있다. 플라즈마 밀도는 극판 전력 인가에 의하여 감소 또는 증가하였으며, Fluid global model에 의한 결과와 잘 일치하는 경향을 보였다. 전자 온도는 RF 바이어스에 의하여 증가하였으며, 전자 에너지 분포 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 관찰하였다. 또한, 플라즈마 밀도의 공간 분포는 극판 전력에 의하여 더욱 균일해짐을 알 수 있었다. 이러한 극판 전력과 플라즈마 변수들의 상관관계와 전자 가열 메커니즘에 대한 연구는 방전 특성의 물리적 이해뿐만 아니라, 반도체 식각 공정에서 소자 품질 및 공정 개선을 위한 최적의 방전조건 도출과 외부 변수 제어에 큰 도움을 주리라 예상된다. RF biased inductively coupled plasma (ICP) is widely used in semiconductor and display etch processes which are based on vacuum science. Up to now, researches on how rf-bias power affects have been focused on the controls of dc self-bias voltages. But, effect of RF bias on plasma parameters which give a crucial role in the processing result and device performance has been little studied. In this work, we studied the correlation between the RF bias and plasma parameters and the recent published results were included in this paper. Plasma density was changed with the RF bias power and this variation can be explained by simple global model. As the RF bias was applied to the ICP, increase in the electron temperature from the electron energy distribution was measured indicating electron heating. Plasma density uniformity was enhanced with the RF bias power. This study can be helpful for the control of the optimum discharge condition, as well as the basic understanding for correlation between the RF bias and plasma parameters.
도시 저층주거지역의 안전한 육아환경 조성을 위한 범죄예방 환경설계 연구
이효창(Lee, Hyo-Chang),하미경(Ha, Mi-Kyoung) 대한건축학회 2022 대한건축학회논문집 Vol.38 No.6
It is necessary to apply crime prevention environmental design through improvement of the physical environment to relieve crime and fear of crime by children for the purpose of creating a safe childcare environment for urban low-rise residential area. This study proposes a plan for urban low-rise residential areas that factor such environmental characteristics and to support childcare by offering improvement measures for a safer space. A literature review was analyzed, and a survey conducted on 366 parents. The analysis results of this research indicated that expanding and designating various child protection zones in urban low-rise residential areas is essential to enable safer walking conditions, safeguard playgrounds and create more activities for children. Improving the walking environment is needed considering these spaces are frequently used by children. Safeguarding playgrounds to better monitor children’s activities, control access to criminals, and strengthen territoriality around them would contribute to a more secure space. Lastly, strengthening various local activities for the public and its residents would also significantly help to foster a safer environment in preventing crime towards children.
이효창(Hyo-Chang Lee) 한국진공학회 2018 진공 이야기 Vol.5 No.4
In the semiconductor and display industries, plasma is widely used throughout the entire process including etching, deposition, and ion implantation. In recent years, as the device structure has become complicated (for example, 3D NAND Flash, 3D-DRAM, and Fin-FET), line widths have become extremely narrower. In this situation understanding the plasma property, precise processcontrol, and tool matching through plasma measurements or process monitoring is highly needed. Thus, this paper discusses plasma diagnostic technology that can be used in the semiconductor and display industries.
Track 3 컴퓨터과학 : Data Matrix의 Reed-Solomon 오류 정정 코드 인코딩 알고리즘
이효창 ( Hyo Chang Lee ),한희준 ( Hee June Han ),이종연 ( Jong Yun Lee ) 한국컴퓨터교육학회 2014 한국컴퓨터교육학회 학술발표대회논문집 Vol.18 No.2
2차원 바코드는 기존에 사용되던 1차원 바코드에 비해 더 작은 공간에 더 많은 데이터를 표현 할 수 있는 혁신적인 바코드이다. 2차원 바코드가 1차원 바코드에 비해 가지는 이점은 데이터 용량 이외에도 많지만 그 중 가장 매력적인 장점으로 오류복원 기능이다. 현재 오류복원 기능을 가진 2차원 바코드중 Data Matrix, QRcode, PDF417, MaxiCode는 오류복원 방법으로 Reed-Solomon Error Correction 방법을 이용하고 있다. 본 논문에서는 2차원 바코드 중 Data Matrix에 적용된 Reed-Solomon Error Correction 기법과 적용 알고리즘을 소개하며 알고리즘에 맞춰 Data Matrix 코드에 Reed-Solomon Error Correction 기법을 적용에 초점을 두어 기술한다.
이효창(Hyo Chang Lee),하미경(Mi Kyoung Ha) 한국셉테드학회 2011 한국셉테드학회지 Vol.2 No.1
본 연구의 목적은 대학교 캠퍼스 시설에 대한 현장조사를 통해 범죄안전 환경을 조사하고 대학교 캠퍼스의 범죄안전 환경 조성에 필요한 계획 방안을 제시하는 것이다. 본 연구의 연구방법은 문헌조사 및 현장조사이며 조사대상은 대학교 캠퍼스 시설이다. 본 연구의 결론은 다음과 같다. 첫째, 대학교 캠퍼스 시설의 세부 방범요소 적용이 필요하다. 둘째, 범죄자의 침입 경로 차단을 위한 환경계획이 필요하다. 셋째, 주야간 범죄안전 환경조성이 필요하다. 넷째, 대학교 캠퍼스 시설의 감시환경 조성이 필요하다. The purpose of this study is to propose the direction of environmental planning of university campus for crime-free through field survey of university campus. The methods of this study are literature review and field survey, and spatial scopes of this study are facilities in university campus located in Seoul. The conclusions of this study are as following. First, the adaptation of detailed environmental elements for crime-free are needed in university campus. Second, the environmental planning for closing the criminals path is needed. Third, the development of crime-free environment at day and night is needed in University campus. Fourth, the development of surveillance environment for crime-free is needed.