MOCVD를 이용한 $HfO_2/SiNx$ 게이트 절연막의 증착 및 물성

이태호,오재민,안진호,Lee Taeho,Oh Jaemin,Ahn Jinho 한국마이크로전자및패키징학회 2004 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.11 No.2

65 nm급 게이트 유전체로의 $HfO_2$의 적용을 위해 hydrogen-terminate된 Si 기판과 ECR $N_2$ plasma를 이용하여 SiNx를 형성한 기판 위에 MOCVD를 이용하여 $HfO_2$를 증착하였다. $450^{\circ}C$에서 증착시킨 박막의 경우 낮은 carbon 불순물을 가지며 비정질 matrix에 국부적인 결정화와 가장 적은 계면층이 형성되었으며 이 계면층은 Hf-silicate임을 알 수 있었다. 또한 $900^{\circ}C$, 30초간 $N_2$분위기에서 RTA 결과 $HfO_2/Si$의 single layer capacitor의 경우 계면층의 증가로 인해 EOT가 열처리전(2.6nm)보다 약 1 nm 증가하였다. 그러나 $HfO_2/SiNx/Si$ stack capacitor의 경우 SiNx 계면층은 열처리후에도 일정하게 유지되었으며 $HfO_2$ 박막의 결정화로 열처리전(2.7nm)보다 0.3nm의 EOT 감소를 나타내었으며 열처리후에도 $4.8{\times}10^{-6}A/cm^2$의 매우 우수한 누설전류 특성을 가짐을 알 수 있었다. Hafnium-oxide gate dielectric films deposited by a metal organic chemical vapor deposition technique on a $N_2-plasma$ treated SiNx and a hydrogen-terminated Si substrate have been investigated. In the case of $HfO_2$ film deposited on a hydrogen-terminated Si substrate, suppressed crystallization with effective carbon impurity reduction was obtained at $450^{\circ}C$. X-ray photoelectron spectroscopy indicated that the interface layer was Hf-silicate rather than phase separated Hf-silicide and silicon oxide structure. Capacitance-voltage measurements show equivalent oxide thickness of about 2.6nm for a 5.0 nm $HfO_2/Si$ single layer capacitor and of about 2.7 nm for a 5.7 nm $HfO_2/SiNx/Si$ stack capacitor. TEM shows that the interface of the stack capacitor is stable up to $900^{\circ}C$ for 30 sec.

농업용저수지의 홍수특성 및 홍수기 운영기법

이태호 ( Taeho Lee ),양영진 ( Youngjin Yang ) 한국농공학회 2019 한국농공학회 학술대회초록집 Vol.2019 No.-

최근 지구온난화 등으로 인한 기후변화는 홍수, 가뭄, 지진 등 각종 자연재해의 발생빈도를 증가시키고 있으며 특히, 홍수를 발생시키는 집중호우, 태풍은 우리나라에서 가장 빈번하고 큰 피해를 발생시키고 있는 상황이다. 최근에는 국가물관리 정책이 건설위주에서 관리위주로 전환됨에 따라 이수측면 뿐만 아니라 치수측면에서도 효율적인 물관리 기술의 지속적인 개발과 적용이 필요하다. 다목적댐의 경우 설계당시부터 홍수조절용량을 반영하고 수문조작규정에 따라 수문을 운영하고 있으나, 대규모 농업용저수지의 경우 수문조작의 명확한 운영룰이 없이 과거의 경험에 의존하고 있어, 관리자 변경 등에 따른 홍수관리의 취약성을 가지고 있으며, 대규모 농업용저수지 수문조작과 관련하여 하류부에 위치한 마을 주민, 언론 등 저수지 안전관련 민원에 대한 신속한 대처가 필요하다. 따라서, 대규모 농업용저수지는 홍수조절 기능은 없으나, 효율적으로 수문을 조작하여 운영할 경우 하류부의 홍수 피해경감에 기여를 할 수 있으므로 공사 자체적으로 홍수대비 효율적 운영을 위한 연구를 지속할 필요가 있다. 농업용저수지는 농업용수 공급 단일목적 댐으로 건설되어, 홍수조절 기능을 가지고 있지 않으나 수문을 통하여 방류량을 조절할 수 있기 때문에 재해의 발생가능성을 예측하고, 지구 특성에 맞는 신뢰성 있는 예방기술 및 수문운영기술을 개발할 경우 하류부의 홍수피해 저감에 기여할 것으로 판단된다. 다만, 농업용저수지는 다목적댐과 달리 유역면적이 상대적으로 작고 홍수도달시간이 짧아 홍수를 대비할 의사결정시간이 매우 짧기 때문에 이를 고려한 신속한 의사결정지원이 필요하다. 전 세계적으로 재해에 대한 막대한 인명 및 재산 피해를 예방하기 위하여 여러 가지 구조적, 비구조적 대책을 강구하고 있으며, 농업용저수지에 투자되는 농업분야의 예산을 고려할 때 구조적인 대책보다는 운영의 효율화를 위한 비구조적 대책이 현실적인 대안이 될 수 있다. 따라서, 본 연구에서는 이를 위하여 현장의 농업용저수지 관리여건을 고려하고, 농업용저수지 유역특성에 맞는 홍수특성분석을 통하여 농업용저수지의 현장여건에 맞는 비구조적 대책인 홍수기운영기법을 제시하고자 하였다.

석탄재와 소각재를 이용한 왕겨의 촉매가스화

이태호 ( Taeho Lee ),정상재 ( Sangjae Jeong ),김승도 ( Seungdo Kim ) 한국폐기물자원순환학회(구 한국폐기물학회) 2018 한국폐기물자원순환학회 추계학술발표논문집 Vol.2018 No.-

지구온난화와 화석연료의 고갈로 인해 대체에너지에 대한 수요가 급격히 증가하고 있다. 가스화는 폐기물 혹은 바이오매스의 불완전 연소를 통해 가스상 연료를 생산하는 기술이다. 가스화 기술의 적용 시 수소와 일산화탄소의 함량이 높아야 부생가스의 발열량이 높으며, 타르의 생성량이 작아야 가스화기와 발전기의 막힘을 방지할 수 있다. 본 연구에서는 유동상 가스화 장치를 이용해 왕겨의 촉매가스화를 진행하였다. 가스수율의 향상과 타르의 저감을 위해 석탄재와 소각재를 유동사 대체재로 도입하였다. 가스화는 600℃, 700℃, 800℃에서 진행되었다. 유동사는 규사, dolomite, 석탄재 바닥재, 소각재 바닥재를 이용하였다. 완전연소대비 산소 공급비중인 ER(Equivalence ratio)는 0.3으로 설정하였다. 모든 유동사에서 온도가 높아짐에 따라 가스 수율이 증가하며, 수소와 일산화탄소 농도가 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 또한 온도 증가에 따라 부생가스 내 타르의 함량이 감소하였다. 대체유동사를 적용한 결과, Al2O3 함량이 높은 석탄재는 규사에 비해 큰 차이를 나타내지 않았지만, dolomite와 소각재는 수소 수율 향상과 타르 저감에 효과적인 것으로 나타났다. 이는 dolomite와 소각재 내 높은 알칼리토금속(Ca, Mg) 함량에 따른 것으로 판단된다. 따라서 소각재 바닥재를 dolomite를 대체하는 촉매 유동상으로 활용할 수 있을 것으로 예상된다. 사사: 이 논문은 2018년도 환경부의 폐자원에너지화특성화대학원사업(YL-WE-17-001)의 지원을 받아 수행되었습니다.

재해대비 농업용저수지 취수시설 개선연구

이태호 ( Taeho Lee ),양영진 ( Youngjin Yang ),장은철 ( Unchul Jang ),허준 ( Joon Heo ) 한국농공학회 2017 한국농공학회 학술대회초록집 Vol.2017 No.-

과거 농업용저수지 축조는 기술적 수준이 낙후되고 예산의 부족으로 인해 복통을 공사 시 홍수배제 및 취수시설로 주로 활용해 왔으며, 복통은 주로 제체의 중앙부를 관통하여 설치되기 때문에 안전진단 시 제체의 주요한 결함요인 중 하나이다. 또한, 소규모 저수지에 설치된 복통은 내경이 800mm미만으로 매우 작아 안전진단 및 보수보강이 어려워 제체 파괴의 주요한 원인이 되고 있다. 복통은 취수된 용수를 하류부 용수로에 도수하는 시설이므로 저수지 사수위보다 낮은 곳에 위치한다. 그리고 제당 방향과 직각방향으로 제체를 관통하여 낮은 곳에 설치됨으로 우선 큰 토압을 받게되며, 커튼그라우팅이 부실할 경우에는 복통 기초에도 양압력이 작용할 수 있다. 또한 제체가 토사와 서로 이질적인 재료인 콘크리트 구조물과 접하게 됨으로 접촉면을 따라 유로가 형성될 수 있는 취약점이 있다. 이러한 안전에 취약하고 노후화된 복통으로 인한 사고들로 인해 저수지 하부지역의 인명과 재산손실 등 결제적인 피해가 발생하고 있으며 이를 개선하기 위한 대책이 필요한 실정이다. 농업용저수지 중 제고 8m 미만이고 총저수용량이 10만㎥ 미만인 지구는 13,031개소로서 전체의 75%에 달하고 있으며 이 저수지들의 복통 개보수공사에 대체 취수시설을 적용한다면 개착에 의한 콘크리트개거공법 또는 보수보강공법과 비교해 경제성은 물론 재해대비 안전성도 더 높을 것으로 판단된다. 본 연구의 목적은 이러한 복통의 취약점을 개선하기 위한 대책으로 사이펀을 활용한 소규모 저수지 취수시설 대체공법을 제시하고, 현장시험시공과 수리모형실험을 통하여 활용방안을 제시하는 것이다. 농업용저수지의 대부분인 약 97%는 복통과 사통이 설치되어 있으며 복통의 평균직경이 약 0.4m로서 매우 작아 시설에 대한 안전진단 및 개보수가 어려운 것으로 판단되었다. 제체내부에 복통이 설치된 소규모 농업용저수지에서 시설이 노후화 되었을 경우 토공과 구조물의 접속부를 통한 파이핑 우려가 크고 이를 극복하기 위해 본 연구에서 제시된 사이펀공법을 각각의 항목에 대해서 비교해 본 결과 시설운영시 복통의 기능(사전방류 및 취수)을 대신할 수 있으며 제체의 내측이 아닌 바깥부분에 설치되어 제체안정에 유리하고 유지관리 및 개보수가 용이하였다. 또한, 최초 작동시 펌프를 통한 기동이 필요하지만 그 이후로는 복통과 마찬가지로 밸브조작에 의해서 작동이 가능하여 큰 차이가 없었다. 규모가 큰 여수로 사이폰 시설에 작동하는 진동 및 소음에 대해서는 현장시험시공에서는 발생하지 않았으며, 하류유출부 세굴에 대해서는 유출부 밸브로 유량조절이 가능하였다.

V2X 통신과 Camera Sensor를 통한 주변차량 차선변경 예측 알고리즘

이태호(Taeho Lee),이상선(Sangsun Lee) 한국자동차공학회 2019 한국자동차공학회 학술대회 및 전시회 Vol.2019 No.11

PreScan simulator is a simulation platform used in the automotive industry for the development of ADAS based on sensor technologies such as radar, rider, camera, and GPS. PreScan is also used to design and evaluate V2V and V2I communications applications and autonomous driving applications. In this study, PreScan simulator is used to collect information predicting lane change of vehicle through camera sensor and V2X communication data. After that, the data collected using Pycharm will be trained to find out how it correlates with the factors necessary for lane change, and the predicted lane change probability is compared and analyzed with the accuracy of prediction of SVM(Support Vector Machine) and RF techniques.

무기체계 소프트웨어 신뢰성 시험 현황 및 발전방향

이태호(Taeho Lee),백옥현(Ockhyun Paek),김태현(Taehyoun Kim) 한국정보보호학회 2018 情報保護學會誌 Vol.28 No.6

무기체계의 대형화 및 복잡도가 증가함에 따라 무기체계에서 소프트웨어의 비중이 큰 부분을 차지하고 있으며 이로 인해 소프트웨어 결함에 따른 잠재적인 위험성도 증가하고 있다. 무기체계 분야에서는 무기체계 소프트웨어 개발 및 관리매뉴얼을 통하여 개발 단계별 활동 및 검토사항들을 정의함으로써 단계별로 소프트웨어의 품질을 확보할 수 있도록 하는 한편, 소스코드 내의 잠재적인 결함을 체계적으로 제거하여 품질을 높일 수 있도록 소프트웨어 신뢰성 시험 제도를 도입하여 운영하고 있다. 본 글에서는 무기체계 소프트웨어 신뢰성 시험 현황에 대하여 소개하고 발전방향을 제시하고자 한다.

지식기반 경로 빅데이터를 이용한 웹 내비게이션 시스템 구현

이태호(Taeho Lee),구광민(Kwangmin Koo),한재선(Jaesun Han),박희민(Heemin Park) 한국정보과학회 2015 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.2015 No.12

실세계에서 소셜 웹 콘텐츠를 운반하는 Moving Interests의 설계

이태호(Taeho Lee),안건태(Guntae Ahn) 한국정보과학회 2010 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.37 No.1D

Proactive Display 시스템은 소셜 웹 콘텐츠를 대형 디스플레이 장치에 표시하여 실세계에서의 상호관계 증진을 도울 수 있는 시스템을 말한다. 지금까지의 Proactive Display 시스템은 개인적인 웹 콘텐츠를 표현할 수 있지만 표현하는 콘텐츠에 초점이 맞춰진 상호활동에 적합한 구조를 가지고 있다. 따라서 웹콘텐츠 소유자에게 초점이 맞춰진 상호활동에서 소셜 웹 콘텐츠를 사용하기 위하여 새로운 구조의 Proactive Display 시스템이 필요하게 되었다. 본 논문에서는 개인적인 소셜 웹 콘텐츠를 소유자가 이동함에 따라 주변에 배치된 대형 디스플레이 장치에 표현하도록 하는 Moving Interests 시스템의 설계에 대하여 기술한다. 설계된 시스템을 통하여 사용자는 외모뿐만 아니라 생각과 관심사 등을 드러내어 자신을 소개하는데 사용할 수 있다. 또한 시스템 사용자의 상대방도 내형적인 정보를 직관적으로 확인하여 시스템 사용자와 상호관계를 맺을 수 있으므로 설계된 시스템을 이용하면 보다 폭 넓고 깊은 상호관계활동을 수행할 수 있다.

이미지 검색을 이용한 사진입력 게임 인터페이스 구현

이태호(Taeho Lee),한재선(Jaesun Han),박희민(Heemin Park) 한국정보과학회 2015 정보과학회 컴퓨팅의 실제 논문지 Vol.21 No.10

시대의 흐름에 따라 게임 개발에 대한 패러다임 또한 변화하고 있다. 일반적인 게임은 사용자가 시스템에 내부적으로 정해진 선택지만을 이용하여 플레이를 할 수 있도록 설계 되고 있다. 미리 정해져 있지 않은 입력데이터를 분석하고 판별하여 게임을 진행할 수 있다면, 게임 내에서 사용자의 선택지는 제약이 없게 되며 따라서 게임 시나리오는 사용자의 다양한 입력데이터에 따라 다양하게 전개 될 수 있다. 본 논문에서는 기존의 네트워크 통신 및 API와 알고리즘을 게임에 접목함으로써 제약 없는 사용자의 입력에 따른 게임 시스템의 출력 방안을 제안한다. 실험을 위해 안드로이드 플랫폼 단말기 상에서 동작하는 게임을 구현하였다. 실험에서 선정한 사용자의 입력 데이터 포맷은 이미지 파일이며, 서버는 네이버 이미지 검색 API를 이용하여 입력 받은 이미지 파일과 획득한 참조 이미지와의 유사도 검사를 수행한다. 그에 따른 결과를 분석하여 판정 결과를 게임 단말기로 반환한다. 실험을 통해 게임 개발 프레임워크를 기초로 다른 분야의 컴퓨팅 기술 접목의 활용가치를 확인하였으며 또한 제안한 방식은 향후 다양한 게임 인터페이스로의 발전 가능성이 있음을 입증하였다. The paradigm of game development changes with technological trends. If the system can analyze and determine undefined inputs, users’ input choices are not restricted. Therefore, game scenarios can have multifarious flows depending upon the user"s input data. In this paper, we propose a method of including an output plan in the game system that is based on the user"s input but is not restricted to predefined choices. We have implemented an experimental game on the Android platform by combining network communication and APIs. The game interface works as follows: first, the user’s input data is transmitted to the server using HTTP protocol; then, the server carries out an analysis on the input data; and finally, the server returns the decision result to the game device. The game can provide users a scenario that corresponds to the decision results. In this paper, we used an image file for the user"s input data format. The server calculates similarities between the user"s image file and reference images obtained from the Naver Image Search API and then returns determination results. We have confirmed the value of integrating the game development framework with other computing technologies demonstrating the potential of the proposed methods for application to various future game interfaces.

실세계에서 다양한 소셜 웹 콘텐츠 표현을 지원하는 Proactive Display 애플리케이션의 설계

이태호(Taeho Lee),안건태(Geontae Ahn),유양우(Yang Woo Yu),이명준(Myung-Joon Lee) 한국정보과학회 2009 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.36 No.2D

웹 서비스 기술의 발전에 따라 인터넷의 이용자가 생산자이면서 동시에 소비자로서 인터넷 공간을 이용하는 웹 2.0이라는 개념이 도래하였다. 웹 2.0 개념의 인터넷 공간에서는 매일 다양한 형태의 웹 콘텐츠가 셀 수 없이 만들어지고 있다. 따라서 이러한 웹 콘텐츠를 실세계에서도 편리하게 접근하여 공유하고 이에 대한 의견을 남길 수 있도록 하는 방법이 필요하게 되었다. 본 논문에서는 실세계에서 다양한 소셜 웹 콘텐츠를 표현하고 공유할 수 있는 Proactive Display 애플리케이션의 설계에 대하여 기술한다. 사용자가 실세계에서 공유하고자 하는 소셜 웹 콘텐츠를 형태별로 웹을 통하여 관리할 수 있는 관리 도구를 설계 한다. Proactive Display 애플리케이션 클라이언트는 실세계에서 사용자를 인식하고 관리 도구를 통하여 사용자가 등록한 소셜 웹 콘텐츠를 대형 디스플레이 장치에 표현한다. 또한 클라이언트는 소셜 웹 콘텐츠에 대한 의견을 현장에서 남길 수 있도록 하는 방법을 제공한다.