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김승용(Seung-Yong Kim),육종민(Jong-Min Yook),남충모(Choong-Mo Nam) 한국전자파학회 2008 한국전자파학회논문지 Vol.19 No.2
본 논문에서는 열전도도가 우수한 AlN 기판에 CO₂ Laser 장비를 이용하여 Thru-hole과 scribing line을 형성하기 위해 CO₂ laser의 파라미터(촛점 거리, 공기량, 레이저 빔 시간, 펄스 개수)를 실험하고, 자체 정렬 마스킹 기법을 이용한 5 ㎛ 두께의 Cu 도금으로 AlN 기판에 전송 선로와 나선형 평면 인덕터를 제작하였다. AlN 기판에서의 마이크로스트립 라인의 전송 손실은 10 ㎓에서 0.1 ㏈/㎜, 6 nH 나선형 평면 인덕터는 1 ㎓에서 56의 품질 계수를 얻었고, 이를 통해 열전도도가 우수한 AlN 기판의 고전력 RF 응용이 가능할 것으로 기대한다. In this paper, the key parameters of CO₂ laser(focus depth, air blow rate, total laser beam time, number of pulse) are experimented for thru-hole and scribing line on AlN(aluminum nitride) substrate with high thermal conductivity. And, microstrip line & spiral planar inductor are fabricated on AlN substrate using 5 ㎛ Cu-plating with self-masking technique. The microstrip line of AlN has 0.1 ㏈/㎜ attenuation at 10 ㎓ and 6 nH spiral planar inductor has 56 maximum quality factor at 1 ㎓. Thus, the AlN substrate is promising for ㎓ applications of high power area.