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전춘배,박효덕,최동한,이덕동 ( C . B . Jun,H . D . Park,D . H . Choi,D . D . Lee ) 한국센서학회 1994 센서학회지 Vol.3 No.1
112 rot. x-cut LiTaO₃ wafer was used as the substrate of SAW gas sensor. Dual delay line SAW device with IDTs ,which consist of the reference delay line and the sensing delay line was fabricated using photolithigraphy. Each IDTs had 10 forger pairs and finger spacing is 10 microns. One delay line channel is the reference, while the second is the sensing channel with Pb-phthalocyanine film in the propagation path. Pb-phthalocyanine film which is p-type organic semiconductor was evaporated in 10^(-5) torr vacuum using shadow mask selectively. Dual delay line oscillator was constructed by using the rf amplifier and AGC. Frequency of the IDTs had the range of 87-89 MHz oscillation frequency. Oscillation frequency shifts were investigated as a function of the temperature and the concentration of NO₂ gas.
최우석(W.S. Choi),이성현(S.H. Lee),김시동(S.D. Kim),박준식(J.S. Park),박효덕(H.D. Park),민남기(N.K. Min) 대한전기학회 2006 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2006 No.7
HVAC 시스템은 쾌적하고 깨끗한 운전환경을 만들어 줌으로써 운전자에게 향상된 안락성과 안전성을 제공한다. 이때 센서는 시시각각으로 변화하는 차실 내외의 환경변화에 대한 정보를 검출하여 HVAC 제어 유니트에 제공한다. 현재 HVAC 시스템에 사용되고 있는 후막 가스센서는 소자 크기와 소비전력이 크고, 제작공정이 까다로워 생산성이 낮은 단점이 있다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서 최근에는 초소형화, 저소비전력, 대량생산에 의한 저가격화가 가능한 MEMS 가스센서의 연구개 발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 MEMS 구조체를 이용한 마이크로 가스센서를 설계 및 제작하였고, 감도특성을 고찰하였다. 가스 감지막은 금속산화물 페이스트를 스크린 프린팅 하는 종래의 방법 대신 MEMS 구조체에 적용 가능한 sol-gel 프로세스에 의해 형성하였다. 또 가스 감지전극과 micro-heater를 동일 평면상에 제작, 공정을 간소화하여 저가화를 시도하였다. MEMS 구조체 위에 제작된 Pt 박막 micro-heater의 인가전압에 따른 발열특성을 조사한 결과, 발열온도가 인가전압에 비례하는 이상적인 선형성을 나타내었으며, 300℃의 동작 온도에 도달하기 위해 65㎽ 이하의 저전력 동작이 가능하였다. 가스 센서의 감도특성 확인 실험은 CO 가스 l0ppm, NO 가스 0.3ppm을 기준으로 수행되었으며, CO 및 NO에 대해 (sensitivity 가스반응 저항/초기저항) 값은 각각 0.753 과 2.416로 우수한 성능을 나타내었다.
Au 가 이산적으로 분포된 SnO₂_(-x) 박막의 가스감지 특성
심창현,정완영,박효덕,이재현,이덕동 경북대학교 센서기술연구소 1991 센서技術學術大會論文集 Vol.2 No.1
Sn thin film was deposited by thermal evaporation of Sn granulars. SnO_(2-x) thin film was obtained by thermal oxidation of the deposited Sn thin film. Au was deposited on the SnO_(2-x) and was annealed on 350℃ hot plate for 15 hours in air. Au thin film was dispersed as islands in this process. The dispersed gold film on tin oxide enhanced gas sensitivity to CO, C_(4)H_(10). Especially the SnO_(2-x) thin film had excellent selectivity for CO at low operating temperature.