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김창교(Kim Chang Kyo),홍진수(Hong Chinsoo),이의식(Lee Eui Sik),박성훈(Park Sung Hoon) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회 학술대회 Vol.- No.-
나노미터 크기의 임의형상 패턴을 형성하기 위해서 새로운 프리어 변환 리소그래피법을 개발하였다. 나노미터급 리소그래피에서 자외선과 엑스레이 같은 전자기파가 나노미터 크기로 형상을 새긴 마스크 위에 조사되면 회절현상이 발생하여 불명확한 패턴을 얻게 된다. 극자외선을 사용하지 않고도 상대적으로 긴 파장의 레이저빔을 특수하게 제작된 마스크를 통해 볼록렌즈에 조사할 경우에 프리어 평면이라 알려진 평면위에 나노미터 크기의 패턴을 형성할 수 있다는 것을 증명하였다. 이 방법은 매우 단순한 장치로 구성할 수 있다는 장점을 가질 수 있다.
마이크로머니시닝 기술을 이용한 3차원 마이크로 챔버형 글루코스 센서의 개발
김창교(Kim Chang Kyo),김성호(Kim Sung Ho) 한국산학기술학회 2005 한국산학기술학회논문지 Vol.6 No.1
3차원 실리콘 챔버를 갖는 15.8×15.8㎟ 크기의 칩을 바이오 센서용으로 마이크로머시닝 기술을 이용하여 개발하였다. 비등방성 식각기술을 이용하여 (100)방향의 P형 실리콘 웨이퍼위에 마이크로 챔버를 형성하였다. 마이크로 챔버를 갖는 웨이퍼와 백금전극이 도포된 Pyrex 유리를 DGF-48S 접착제를 이용하여 접합하였다. 백금전극과 Ag/AgCI 기준전극에 의한 전기화학적 특성을 조사하였다. A micromachined biochip with a three dimensional silicon chamber was developed for the construction of biosensors. Anisotropic etching was used for the formation of the chamber on the p-type silicon wafer(100) and then was glued to the Pyrex glass bottom-substrate with pre-deposited platinum electrode. The electrochemical characterization of its Pt electrode and Ag/ Agel reference electrode was investigated.
박막 알루미늄을 이용한 규칙적으로 정렬된 나노급 미세기공 어레이 제조기술 개발
이재홍,김창교,Lee, Jae-Hong,Kim, Chang-Kyo 한국전기전자재료학회 2005 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.8
An alumina membrane with nano-sized pore array by anodic oxidation using the thin film aluminum deposited on silicon wafer was fabricated. It Is important that the sample prepared by metal deposition method has a flat aluminum surface and a good adhesion between the silicon wafer and the thin film aluminum. The oxidation time was controlled by observation of current variation. While the oxalic acid with 0.2 M was used for low voltage anodization under 100 V, the chromic acid with 0.1 M was used for high voltage anodization over 100 V. The nano-sized pores with diameter of $60\~120$ nm was obtained by low voltage anodization of $40\~80$ V and those of $200\~300$ nm was obtained by high voltage anodization of $140\~200$ V. The pore widening process was employed for obtaining the one-channel with flat surface because the pores of the alumina membrane prepared by the fixed voltage method shows the structure of two-channel with rough surface. Finally, the sample was immersed to the phosphoric acid with 0.1 M concentration to etching the barrier layer.