반도체 실리콘 웨이퍼 가공용 폴리싱머신의 구조해석에 관한연구

정선환(Seon-Hwan Cheong),최성대(Seong-Dae Choi),권현규(Hyun-Kyu Kwon),손현수(Hyon-Su Son) 한국기계가공학회 2006 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 Vol.2006 No.-

Although Korea is now the top nation to produce non-memory semi-conductors in the world, but there are lacked informations about the researches and developments for the domestic equipments to manufacture the accurate silicon wafer such as a lapping, and polishing machine. Therefore in this study, as the consideration to develop a domestic polishing machine in the future, some trials were carried out to take some basic design data being useful to improve the structure of a specified polishing machine for silicon wafer. It was focused in plate and frame part that is base part in a polishing machine. Through its' 3D modeling, and structural analysis, the problems were investigated the deformation and stress of major parts, and the improvement methods were proposed by the results of analysis. As results, the thermal deformation in plate that contacts directly with silicon wafer was dominated, and they were known that it was very important to review the design factors to get a stability of thermal, and a structural robustness, too.

유전체내의 전계를 급수전걔로 표시한 각스펙트럼 영역의 역산란 방법

김하철,손현,최현철,Kim, Ha-Chul,Son, Hyon,Choi, Hyun-Chul 한국통신학회 1996 韓國通信學會論文誌 Vol.21 No.5

An angular spectral inverse technique, applying the moment method procedure with a series expansion for the induced field in each enlarged cell, is suggested to reconstruct permittivity profiles of inhomogeneous dielectric objects and to reduce the ill-posedness inherent to inverse scattering problems. The angular spectral inverse scattering using the pulse basis function in enlarging the scatterer has the ill-posedness due to the input data of higher spectra. To reduce the number of higher spectra, enlarging the cell size and averaging over the cell with a suitable weighting function are found to play improtant roles for the reduction of ill-posedness of the angular spectral inverse scattering problems.

Radiation Characteristics of Dielectric-Coated Conducting Cylinder Loaded with Periodic Corrugation

김중표,손현,Kim, Joong-Pyo,Son, Hyon The Korean Institute of Electromagnetic Engineerin 2000 한국전자파학회논문지 Vol.11 No.3

주기적인 구형격자를 갖는 유전체 코팅된 도체 실린더에 대해 무한 주기 구조와 유한 주기 구조에 대한 누설 파 안테나의 복사 특성을 이론적으로 해석하였다. 무한 주기 구조에 대하여는 모드 정합 법을 적용하여 해석하 였고, 유한 주기 구조에 대하여는 퓨리에 변환과 모드 전개를 사용하여 적분 방정식을 유도하고 선형 연립 방정 식을 얻는다. 구형격자의 폭, 깊이, 유전체 코팅두께, 도체 실린더의 반경, 유한 구형격자 개수의 영향이 위상 상 수, 누설 상수 및 복사패턴 등과 복사 특성에 미치는 영향을 조사하였고, 유한 주기 구조와 무한 주기 구조의 결 과를 비교하고 잘 일치함을 확인할 수 있었다. 균일 유한 주기 구형격자에 의한 높은 측엽을 줄이기 위해 안테나 의 전후단 부에 테이퍼링과 비균일 준주기 슬롯배열을 고려하였다. 또한 구형격자 표면파 안테나에 사용되는 구 형격자 주기. 폭, 깊이에 대해 테이퍼링을 통해 낮은 측엽을 갖는 endfire 복사패턴을 얻을 수 있었다. The radiation characteristics of leaky antenna from the dielectric-coated conducting cylinder with periodic corrugation are investigated theoretically for the infinite and finite periodic structures. For the infinite periodic structure, mode-matching method is applied. The integral equation is derived for the finite periodic structure by use of the Fourier transform and mode expansion and a simultaneous linear equation is obtained. The influences of the corrugation slot width, corrugation depth, dielectric thickness, cylinder radius, and finite corrugation number on the radiation characteristics (leakage constant, phase constant, and radiation pattern) are investigated. The results of the finite periodic corrugations are compared with those of the infinite extent structure and good agreement is found. To reduce high side lobe levels of the uniform finite periodic structure, tapering process on the beginning and end section of antenna and nonuniform quasi-period slot arrays are considered. Especially, for the corrugation period, width and depth used for a corrugated surface wave antenna, through the proper tapering process, end-fire radiation pattern with reduced side lobe levels is given.

플라즈마 용사방식에 의해 형성된 탄화규소-페라이트 표면층의 마이크로파 흡수특성(I)

신동찬,손현,Shin, Dong-Chan,Son, Hyon 한국통신학회 1992 韓國通信學會論文誌 Vol.17 No.6

비행물체에 대한 레이다의 추적 및 탐색거리를 축소시키는 전자방어책의 일환으로 물리적, 기계적 특성이 우수한 전자파 흡수층을 제작하기 위해서 플라즈마 용사방삭을 이용하였다. 이 코팅층은 종래의 M/W흡수층 제작에 사용하던 도전재료인 탄소대신에 탄화규소를, 자성손실재료로는 Ni-Zn ferrite를, 그리고 보지재를 사용하는 대신에 이들 재료분말을 기계적으로 혼합하여 플라즈마 용사코팅으로 모재 표면에 직접 흡수층이 형성되도록 했다. X-band(8~13 GHz)레이다용 탄화규소-페리이트 전자파 흡수체를 실험적으로 설계하고 시험제작하여 전기적 특성을 평가한 결과, -6dB(M/W 에너지 흡수율 75%)의 반사량을 허용한도로 했을경우 약 7.6~8.4%의 대역폭이 얻어졌으며, 최대 흡수두께가 0.5~0.55mm로 매우 양호한 박층형 전자파 흡수체가 얻어졌다. Plasma-spraying was conducted to produced the microwave absorbing surface films on the alumi-num-alloy used for the fuselage to protect the aircraft against the RADAR detction. The surface films were produced by plasma-splaying the mecharucally mixed composite powders of the silicon carblde and Ni-Zn ferrite. This M /W absorbers were designed experimentally and fabricated trialty, as a result of which the rolative frequency bandwidth of 7.6 to 8.4% were obtained under the tolerance limits of the re-flection coefficients lower than -6dB(absorption ratio 75%), and the maximum absorption thickness becomes 0.5 to 0.5.imm, which Is much thinner than that of the conventional ones.

플라즈마 용사방식에 의해 형성된 페라이트-탄화규소 표면층의 마이크로파 흡수 특성(II)

신동찬,손현,Shin, Dong-Chan,Son, Hyon 한국통신학회 1993 韓國通信學會論文誌 Vol.18 No.8

레이다의 추적 및 탐색으로 부터 비행 물체를 보호하기 위한 목적으로, 알루미늄 합금표면에 페라이트-탄화규소 복합물인 마이크로파 흡수층을 플라즈마 용사방식으로 제작하였다. 본 논문에서는 페라이트-탄화규소층(I) 제조시 사용했던 탄화규소 입자의 평균크기인 34[rm]대신에15[rm]가 사용되었으며, 플라즈마 용사변수들 중에서 분말의 공급비율은 70[Kg/h]대신에 50[Kg/h] 그리고, 용사거리는 80[mm[ 대신에 100[mm]가 사용 되었다. X-band(8~12.4(GHz)레이다용 페라이트-탄화규소 전자파 흡수체를 실험적으로 설계하고 시험제작하여 전기적 특성을 평가한 결과, -lOdB의 반사량을 허용한도로 했을 때 약 2.8%의 대역폭이 얻어졌으며, 최대 흡수두께는 0.5(mm)로 매우 양호한 박층형 전자파 흡수체가 얻어졌다. Plasma spraying method was used to fabricated the microwave absorbing ferrite-silicon carbide on the aluminum-alloy of the fuselage of an aircraft to protect it from RADAR detection. In this paper 15[rm] instead of 34[rm], the mean size of SIC-powder for ferrite-silicon carbide surface films(I) was used. 50(Kg/h) Instead of 70(Kg/h), the powder feed and 100[mm] Instead of 80(mm), spray distance of spray parameters was used. This M/W absorbers were designed experimentally and fabricated trially, as a result of which the relative frequency bandwidth of 2.8% were obtained under the tolerance limits of the reflection coefficients lower than-10[dB], and the maximum absorption thickness becomes 0.5[mm], which is much thinner than that of the conventional ones.

두 변화검출 마스크를 이용한 3차원 영상분할 초저속 동영상 부호화

이상미,김남철,손현,Lee, Sang-Mi,Kim, Nam-Chul,Son, Hyon 대한전자공학회 1990 전자공학회논문지 Vol.27 No.10

A new 3-D segmentation-based coding technique is proposed for transmitting the motion video with reasonablly acceptable quality even at a very low bit rate. Only meaningful motion areas are extracted by using two change detection masks and a current frame is directly segmented rather than a difference frame itself so that a good quality of image can be obtained at high compression ratios. Through the experiments, the sequence of Miss America is reconstructed with visually acceptable quality at the very high compression ratio of 360:1. 아주 높은 압축률에서도 시각적으로 만족할 만한 동영상을 전송할 수 있는 3차원 영상 분할기반 부호화법을 제안하였다. 두개의 변화검출 마스크를 이용하여 동영상에서 의미있는 움직임 영역만을 효과적으로 추출하고 또한, 차영상을 분할하는 대신 현재 프레임을 직접 분할함으로써 높은 압축률에서도 우수한 품질의 영상을 얻을 수 있다. 실험을 통해, 제안된 방법은 Miss America의 연속영상을 360배 정도의 압축률로 전송하였을 경우에도 재생영상의 품질이 우수함을 확인하였다.

구형 마이크로스트립 안테나의 H-Plane 상호결합

고지환,조영기,손현,Ko, Ji-Whan,Cho, Young-Ki,Son, Hyon 대한전자공학회 1985 전자공학회지 Vol.22 No.6

본 논문은 구형 마이크로스트립 안테나의 H-plane 상호결합에 관한 연구이다. 두 안테나의 상호결합을 계산하기 위해서 단일 마이크로스트립 패치의 교사저항을 구하였으며 결합된 전송선로를 even mode와 add mode로 분발하여 각 mode의 특성저항와 실효 유전률을 계산하였다. 이로부터 자계적으로 결합된 안테나를 S-band 주파수에서 S-parameter를 구한 결과 이론치와 실험치가 거의 일치함을 확인할 수 있었다. A theoretical study of mutual coupling effects between two H-plane coupled microstrip patch antennas is presented. The radiation resistance and slot capacitance of a single micro-strip patch are calculated. To investigate the mutual coupling effects, the even and odd mode characteristic impedance and effective dielectric constants are obtained using the coupled microstrip line model. The S-parameter matrix elements 511,512 are used to study the mutual coupling e(facts in S-band frequency ranges for various patch spacings. Theoretical results and measurements are in good agreement.

다층 신경망을 사용한 항공기 인식 및 3차원 방향 추정

김대영,진성일,손현,Kim, Dae-Young,Chien, Sung-Il,Son, Hyon 한국통신학회 1991 韓國通信學會論文誌 Vol.16 No.1

본 논문에서는 Backpropagation 학습 이론을 사용한 다층 구조 신경 회로망을 이용하여 3차원적으로 왜곡된 항공기 인식과 항공기의 3차원 회전 방향 추정을 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 수행하였다. 항공기 영상으로 부터 2차원 영상에서 왜곡 불변 (distortion invariant)특정을 가지는 피치 $(L,\;{\Phi})$를 추출하여 신경 회로망 항공기 인식기의 학습(training)에 사용하였다. 그리고 신경 회로망 인식기 설계시 그 구조를 최적화 함으로써 높은 인식률을 가지는 항공기 인식기를 구성하였다. 신경 회로망 학습 과정에서 학습 이론으로는 변형된 backpropagation 학습 이론을 도입하고 아울러 학습 수행중에 학습 변수(learning parameter)값을 변화 시키는 방법을 사용하여 전체 학습 시간을 효과적으로 단축시킬 수 있었다. Multi layer neural network using backpropagation learning algorithm is used to achieve identification and orientation estimation of different classes of aircraft in the variety of 3-D orientations. In-plane distortion invarient$(L,\;{\Phi})$ feature was extracted from each aircraft image to be used for training neural network aircraft classifier. For aircraft identification the optimum structure of the neural network classifier is studied to obtain high classification performance. Effective reductioin of learning time was achieved by using modified backpropagation learning algorithm and varying, learning parameters.

E-면 결합을 이용한 구형 마이크로스트립 안테나에 관한 실험적 연구 : 마이크로스트립 선로 급전

홍재표,조영기,손현,Hong, Jae-Pyo,Cho, Young-Ki,Son, Hyon 한국통신학회 1989 韓國通信學會論文誌 Vol.14 No.1

In this paper, applying the REC model which characterizes the coupling between the radiating edges to two coupled rectangular microstrip patch antenna, we obtain scattering parameters $\mid$ $S_{11}$ $\mid$ and $\mid$ $S_{12}$ $\mid$for the various coupling separations, Se=0.5mm, 1.0mm, 1.5mm, and 2.0mm, The calculated values are compared with the measured values. For the rectangular microstrip patch antenna with a parasitic element which is gap-coupled to the radiating edges of the rectangular patch, calculated return losses using the REC model are compared with measrued values. Here, the each microstrip antenna is fed by a 50 microstrip line. The purpose of the paper is to compare a 50$\Omega$ microstrip line fed case with a coaxial fed case treated in Ref. 본 논문에서는 복사면 가장자리가 결합된 두 구형 마이크로스트립안테나에, 패치 사이의 복사면 가장자리의 결합을 특성화하는 REC 모델을 적용하여 여러가지 결합간격에 대해 산란계수 $\mid$ $S_{11}$ $\mid$과 $\mid$ $S_{12}$ $\mid$를 구하였으며, 이를 실험치와 비교하였다. 그리고 복사면 가장자리에서의 결합을 이용한 기생소자를 갖는 구형 마이크로스트립 안테나에, REC 모델을 적용하여 궤환 손실을 구한 뒤 실험치와 비교하였다. 여기서 각각의 안테나는 50$\Omega$ 마이크로스트립 선로에 의해 급전한 결과를 다루었으며, 이는 REC 모델을 이론적으로 제시하여 동축선로로 급전한 결과$^{(10)}$와 비교하기 위한 논문이다.

유전체로 코팅된 유한한 두께의 주기 슬롯을 갖는 평행평판 도파관으로부터 누설파 복사 : H-편파

김중표,이창원,손현,Kim, Joong-Pyo,Lee, Chang-Won,Son, Hyon 한국전자파학회 1999 한국전자파학회논문지 Vol.10 No.2

유전체 코팅된 유한한 두께의 주기적인 슬롯을 갖는 명행명판 도파관으로부터 누설파 안테나를 H-편파 경 우에 대하여 해석하였다. 이러한 구조에 대해 슬롯영역의 전자계는 명행평판 도파관의 TM 모드의 합으로 전 개하고 그 외의 모든 영역의 전자계는 역퓨리에 변환을 이용하여 파수영역 형태로 표현되어진다. 경계조건을 적용하여 선형동차 방정식을 유도한다. 슬롯 폭과 슬롯 두께, 유전체층 두께, 슬롯 개수의 영향이 위상 상수. 누설 상수 및 복사패턴 등과 같은 복사 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 유한한 슬롯 개수의 결과와 무한 구조의 결과와 비교하여 잘 일치함을 확인하였다. The leaky wave emanated from the dielectric-coated parallel-plate waveguide with finite periodic thick slot in its upper plate is investigated theoretically for H-polarization case. For this structure, fields in slot regions are expressed as a summation of the parallel-plate waveguide TM modes, and in other regions are expressed in the spectral domain by use of the inverse Fourier transform. Boundary conditions at the interfaces are enforced, and the simultaneous linear equations are derived. The influences of the slot width, slot thickness, thickness of a dielectric coating, and finite slot number on the radiation characteristics (phase constant, leakage constant, radiation pattern) are examined. The results of the finite periodic slot are compared with those of the infinite extent structure and good agreement has been found.