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담금 어닐링을 이용한 유·무기 코어-쉘 나노입자 파우더 합성법
최영중,정현성,방지원,박운익 한국마이크로전자및패키징학회 2018 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.25 No.4
다양한 디바이스 응용분야에 블록공중합체가 사용되기 위해, 블록공중합체의 형상을 제어하기 위한 간단하면서도 실용적인 합성방법이 필요하다. 하지만 콜로이드성의 형판을 사용하는 기존의 방식은 공정이 복합하고 비용이 많이발생하여, 고순도의 코어-쉘 나노입자를 대량생산하기에 적합하지 않다. 본 논문에서 PS-b-PDMS 블록공중합체를 담금어닐링하여, 20 nm 이하크기를 가지는 PS가 봉입된 코어-쉘 구조의 SiOx나노입자를 합성하였다. 또한, 어닐링 공정에 사용되는 헵테인과 에탄올의 혼합비율이 자기조립된 PS-b-PDMS 블록공중합체 나노입자의 형상에 어떠한 영향을 미치는지 분석하였으며, 최적의 담금어닐링 조건에서 나노입자가 worm-like구조로 변화하는 것을 확인하였다. 이러한 파우더합성법은 다른 용매기반의 블록공중합체 합성방법에 응용이 가능할 것으로 생각되며, 새로운 가이드라인을 제공할 것으로 예상된다. Simple and useful synthetic process to control the morphology of block copolymers (BCPs) is required for implementation in various device applications. However, the conventional method to use colloidal templates is not enough to realize the production of pure and massive core-shell nanoparticles due to the cost-intensive complex process. Here, we introduce a novel and facile synthesis method to realize the formation of core-shell SiOx nanoparticle power by employing an immersion annealing of a sphere-forming poly(styrene-b-dimethylsiloxane) (PS-b-PDMS) BCP. We successfully obtained a PS-encapsulated SiOx nanoparticle with a diameter of ~20 nm. In addition, we analyzed how the mixing ratio of heptane/ethanol affects the BCP morphology of self-assembled PS-b-PDMS nanoparticles, showing a worm-like structure under the optimum immersion conditions. This useful approach is expected to be extendable to other solvent-based BCP synthesis, providing a new guideline for unique BCP production.
반도체 설계 공정 D-FMEA를 통한 RCT(Root cause tracker) 시스템 구축에 관한 실증 연구
최영중,박재현,송관배 대한안전경영과학회 2017 대한안전경영과학회 학술대회논문집 Vol.2017 No.11
Semiconductor is one of the biggest export items in Korea and one of future foods. In this study, the development of the product due to the repetition of the engineer mistakes repeatedly occurred due to the experience and habit of the individual in the semiconductor design process until now, resulting in an increase in the development period of the product and the economic loss of sales. As a result, the need for database of engineers' knowledge and know-how has emerged. This study investigate show to integrate and utilize data that is not managed on On/off-line for semiconductor knowledge and know-how. To do this, we intend to construct a RCT(RootCauseTracker) system that enables statistical analysis of the data on design failure accumulated over the previous year in any company.
반도체 설계 공정 D-FMEA를 통한 RCT(Root cause tracker) 시스템 구축에 관한 실증 연구
최영중,박재현,송관배 대한안전경영과학회 2017 대한안전경영과학회 학술대회논문집 Vol.2017 No.04
Semiconductor is one of the biggest export items in Korea and one of future foods. In this study, the development of the product due to the repetition of the engineer mistakes repeatedly occurred due to the experience and habit of the individual in the semiconductor design process until now, resulting in an increase in the development period of the product and the economic loss of sales. As a result, the need for database of engineers' knowledge and know-how has emerged. This study investigate show to integrate and utilize data that is not managed on On/off-line for semiconductor knowledge and know-how. To do this, we intend to construct a RCT(RootCauseTracker) system that enables statistical analysis of the data on design failure accumulated over the previous year in any company.
이원용매 어닐링을 통한 높은 χ 값을 가지는 블록공중합체의 자기조립 유도
최영중,송풍근 한국표면공학회 2021 한국표면공학회 학술발표회 초록집 Vol.2021 No.6
가이딩을 통한 블록공중합체의 자기조립은 효율적으로 주기적인 5-50 nm 크기의 패턴을 형성할 수 있기 때문에 차세대 리소그리피를 대체할만한 기술로 많은 연구가 진행되었다. 하지만 높은 플로리-허긴스 상호작용 파라미터 (χ)를 가지는 블록공중합체의 경우 미세한 나노패턴을 만들 수 있으나, 자기조립 속도가 매우 느리다는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위해서, 높은 χ값을 가지는 poly(styrene-b-dimethyl siloxane) (PS-b-PDMS) 블록공중합체에 이원용매를 이용한 어닐링 방법을 적용하였다. 이원용매의 경우, PS 블록에 친화적인 톨루엔 용매와 PDMS 블록에 친화적인 헵테인 용매를 사용하였으며, 이 두 용매가 블록공중합체의 자기조립 속도에 어떠한 영향을 미치는지 분석하였다. 두 용매의 부피비를 조절하여, 다양한 분자량 또는 서로 다른 PDMS 블록의 부피비(f<SUB>PDMS</SUB>)를 가지는 블록공중합체에서 빠른 자기조립을 유도할 수 있는 최적의 부피비를 찾을 수 있었다. 이러한 두 용매의 최적의 혼합 부피비 조건을 사용하여 짧은 시간의 어닐링을 통해서도 정렬된 나노패턴을 형성할 수 있었다. 또한 보다 좁은 가이딩 템플릿을 이용하여, 10초 이내로 정렬된 나노패턴을 형성할 수 있었다. 자기조립을 통해서 형성된 나노패턴을 메탈주입공정에 사용하여 기능성 나노재료를 얻을 수 있었다. 이러한 결과는 다른 블록공중합체를 사용한 분야에 응용이 가능하며, 차세대 나노기술의 발전에 기여할 수 있을 것으로 예상된다.