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전자 렌즈 Aperture 구조에 따른 마이크로칼럼의 전자빔 특성
최상국,이천희,Choi, Sang-Kuk,Yi, Cheon-Hee 한국광학회 2005 한국광학회지 Vol.16 No.5
마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈는 MEMS 공정으로 정밀하게 가공되어 기존의 전자칼럼에 비하여 광학수차를 최소화 할 수 있으며, 이는 전자칼럼의 성능 향상에 주요한 요소로 작용한다. 따라서 반도체 공정 방식(습식식각과 건식식각)에 의해 형성되는 렌즈구조에 따른 전자 광학계 연구는 중요한 의미가 있다. 마이크로칼럼을 구성하고 있는 전자방출원, 소스렌즈, 디플렉터, 포커스렌즈(Einzel lens) 중에서 전자빔의 특성에 가장 큰 영향을 주는 것은 소스렌즈이다. 본 연구에서는 소스렌즈의 extractor와 limiting aperture의 구조에 따른 전자빔 특성을 조사하였다. Microlens precisely fabricated by MEMS process, is a key component of the Microcolumn, Since, miniaturization can reduces aberrations, microcolumn is expected to have better performance than conventional columns. Depending on the fabrication techniques, the sectional view of micro lens has different shape. In the paper, the effect of the sectional shape of extractor lens and limiting aperture on the focusing property of microcolumns have been studied.
직업능력개발훈련교사의 분산적 지도성이 직무만족에 미치는 영향 - 조직시민행동과 교사 임파워먼트의 매개효과 -
최상국,황찬규,권두순 (사)디지털산업정보학회 2019 디지털산업정보학회논문지 Vol.15 No.1
The goal of this research is to empirically examine how vocational skill development teachers' distributed leadership influences on job satisfaction, through organizational citizenship behavior and teacher empowerment. A nation-wide survey was conducted among vocational skills development teachers, the unemployed and teachers who have used a government-subsidized education card. First, the study revealed that vision has no significant influence on organizational citizenship behavior and teacher empowerment. Second, leader-plus has a significant influence on organizational citizenship behavior and teacher empowerment. Third, situation has no significant influence on organizational citizenship behavior and teacher empowerment. Fourth, organizational culture has a significant influence on organizational citizenship behavior and teacher empowerment. Fifth, a significant influence was found between teacher empowerment and organizational citizenship behavior. Lastly, organizational citizenship behavior and teacher empowerment has a significant influence on job satisfaction.
최상국,이천희,Choi, Sang-Kook,Yi, Cheon-Hee 한국광학회 2005 한국광학회지 Vol.16 No.3
생산성 향상을 위하여 정렬된 마이크로칼럼을 이용하여 멀티-전자빔 리소그라피 장치를 개발하였다. 마이크로칼럼은 매우 작은 크기를 가지고 있어 병렬구조로 정렬하여 작동시킬 수 있다. Single Column Module(SCM) 구조의 멀티 전자빔 리소그라피 시스템과 전자칼럼을 제작하여 250 eV에서 300 eV 에너지 범위에서의 저에너지 마이크로칼럼 리소그라피를 성공적으로 수행하였다. 전자방출원에서 방출되는 전자빔의 총 전류가 $0.5\;{\mu}A$일 때, 샘플에서의 전류는 >1 nA으로 측정되었으며 리소그라피 패텅닝에서 사용된 working distance은 $\~1\;mm$였다. A Multiple electron beam lithography system with arrayed microcolumns has been developed for high throughput applications. The small size of the microcolumn opens the possibility for arrayed operation on a scale commensurate. The arrayed microcolumns based on of Single Column Module (SCM) concept has been fabricated and successfully demonstrated. Low energy microcolumn lithography has been operated in the energy range from 250 eV to 300 eV for the generation of nano patterns. Probe beam current at the sample was measured about >1 nA at a total beam current of $0.5\;{\mu}A$ and a working distance of $\~1\;mm$. The magnitude of probe beam current is strong enough for the low energy lithography. The thin layers of PMMA resist have been employed. The results of nano-patterning by low energy microcolumn lithography will be discussed.