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MOF를 이용한 F-gases/N2 흡착분리 특성 연구
문은희,유영우,안홍찬,오지영,홍지숙,신채호,서정권 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.0
반도체 및 LCD 산업에서 주로 발생하는 불화가스는 이산화탄소와 비교하여 대기 중 평균 체류 기간이 길고 지구온난화 지수(GWP)가 6,500~ 8,000배가 높다. 또한 대기 중에서 열적 화학적으로 안정하고 반감기가 길어 지구온난화에 미치는 영향이 높아 이를 저감방법하기위한 열분해법은 고온 가열에 따른 2차적인 문제가 유발될 가능성이 있다. 따라서 저 에너지 소비형이며 친환경적인 흡착분리 공정을 통해 불화 가스를 분리/농축하는 기술 개발이 필요하다. 최근에는 기존 흡착제 대비 높은 표면적과 기공부피를 가지는 3차원 구조의 물질인 Metal-Organic Framework (MOF)는 가스의 흡착, 분리 매체로써 뛰어난 성능으로 흡착제로써 활발히 연구되고 있다. 따라서 본 연구에서는 MOF의 물리적 및 화학적 특성을 XRD, BET를 통해 분석하였고, 불화 가스와 질소에 대한 MOF의 흡착 등온선을 여러 온도에서 측정하였다. 또한, 불화 가스/질소 혼합가스에 대한 파과 실험을 통해 흡/탈착 동적 거동을 살펴보았다. 또한 기존 흡착제와의 비교평가를 통해 불화 가스 흡착제로서의 MOF을 적용 가능성을 검토하였다.