Thermal Evaporation법에 의해 제조된 WO₃ 박막과 NiO-WO₃박막의 전기적 특성에 관한 연구

나은영,나동명,박진성,Na Eun-young,Na Dong-myong,Park Jin-seong 한국전기화학회 2005 한국전기화학회지 Vol.8 No.1

본 연구는 $WO_3$ 박막과 $NiO-WO_3$ 박막을 고진공 저항가열식 thermal evaporation 법으로 (100) n형의 실리콘 단결정 기판 위에 증착시켰고, 막의 결정성 증진을 위하여 공기 중 $500^{\circ}C$에서 30분 동안 열처리하였다. 박막의 결정성 및 결정구조를 분석하기 위해서 X선 회절분석기를 사용하였고, 표면 및 단면 관찰을 위해서는 주사전자현미경을 이용하였다. 그리고 화학 조성 결합에너지는 XPS를 이용하였다. 순수 $WO_3$ 박막의 결정 크기는 $500^{\circ}C$에서 30분 동안 공기중 열처리에 의해서 $0.6{\mu}m$로 성장하였고 $WO_3$ 박막의 두께가 증가할수록 거의 변화 없이 일정하였다. 반면, NiO가 첨가된 $WO_3$ 박막 두께별 결정크기는 각각 $0.12{\mu}m,\;0.28{\mu}m,\;0.32{\mu}m$및 $0.43{\mu}m$로 순수 $WO_3$ 박막에 비해 치밀한 표면을 형성하였고, 최대 5배정도 성장이 억제되었다. 가스감도 측정은 대기 중에서의 센서 저항 값을 기준으로 측정가스 저항 값의 비율 $(R_{NOx}/R_{air})$로 가스감도를 나타내었다. 전기적 성질은 MFC로 NOx가스 5ppm을 일정히 유지시켰고, Multimeter로 계측하여 컴퓨터에 자동 계측되는 시스템을 사용하였다. 순수 $WO_3$박막보다는 $NiO-WO_3$ 박막이 우수한 NOx 감도특성을 보였고 센서의 작동온도는 $250^{\circ}C$에서 우수한 감도를 나타내었다. [ $WO_3$ ] and $NiO-WO_3$ thin films were deposited on a Si (100) substrate by using high vacuum thermal evaporation. The effects of various film thicknesses on the surface morphology $WO_3$ and $NiO-WO_3$ thin films were investigated. X-ray diffraction (XRD), Scanning electron microscopy (SEM) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) were employed to characterize the deposited films. The results suggest that as $WO_3$ thin films became thick, their grain grew up to a $0.6{\mu}m$. On the other hand, NiO-doping to $WO_3$ thin films inhibited the grain growth five times less than undoped $WO_3$ thin films. This results show that NiO doping inhibited the grain growing of $WO_3$ thin films. Also, the variation of NOx sensitivity $(R_{NOx}/R_{air})$ to the thickness of $WO_3$ and $NiO-WO_3$ thin films were measured according to the thickness change of thin films and the working temperature of sensor in 5ppm NOx gas. As a result, $NiO-WO_3$ thin films showed more excellent properties than $WO_3$ thin films for NOx sensitivity.

Micro Capillary Tube 방법을 이용한 430 스테인레스강 틈의 폭변화에 따른 틈부식의 전기화학적 평가

나은영,Na, Eun-Young 한국전기화학회 2003 한국전기화학회지 Vol.6 No.4

본 연구는 전기화학적 실험측정으로 페라이트계 430스테인레스강 시험편에 인위적으로 틈을 형성시켰다. 부식용액은 IN $H_2SO_4+0.1N\;NaCl$ 전해액을 사용하였고, 각 시험편의 틈의 크기를 달리하였다. 전기화학적 평가방법은 -600mV/5CE에서 정방향으로 +1,200mV/SCE까지 주사속도 600mV/hr로 동전위 분극시험을 실시하여 부식전위, 부동태 전류밀도 등의 부식거동을 분석하였다. 그리고 정전위 분극시험을 실시하여 부동태 구간 전위 -200mV/SCE를 일정하게 인가 한 후, 틈내에 부동태 전류밀도와 틈부식 발생시간을 계측하였다 실험방법에 있어 Microcapillary tube(MCT)를 이용한 방법으로 틈내 각 지점의 전위를 틈 깊이에 따른 틈내부의 전위강하(IR Drop)에 주목하고, 575 430 스테인레스강 금속에 대한 분극특성과 연계하므로써 틈부식의 발생 원인을 '전위의 이동'의 관점에서 규명 하였다. In this study, the IR drop theory was adopted to explain the initiation of crevice corrosion in the framework of IR drop in crevice electrolyte. Furthermore, the electrochemical polarization was measured to study the mechanism of crevice corrosion for type STS430 stainless steel. lest method adopts under condition that the size of specimen is $10\times20\times5mm,\;in\;1N\;H_2SO_4+0.1N\;NaCl$ solution, and the artificial crevice gap sizes are three kinds, the Micro capillary tube size is inner diameter 0.04 mm, outer diameter 0.08 mm. Crevice corrosion is measured under the applied voltage of passivation potential -200mV/SCE, resulted from anodic potentio-dynamic polarization to the external surface along the crevice. The potential difference was measured by depth profile by Micro capillary tube which inserted in the crevice. The obtained results of this study showed that 1) As artificial crevice gap size became narrow, the current density was increased, whereas no crevice corrosion was found in the crevice gap size $3\times0.5\times16mm\;in\;1N\;H_2SO_4+0.1N\;NaCl\;solution\;at\;20^{\circ}C$ 2) potential of the crevice was about from -220 to -358mV which is lower than that of external surface potential of -200mV The results so far confirmes that the potential drop(so-called IR drop) in the crevice is one of the major mechanisms the process of crevice corrosion for 430 stainless steel.

혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성

나은영,서용진,이우선,Na, Eun-Young,Seo, Yong-Jin,Lee, Woo-Sun 한국전기전자재료학회 2005 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.4

In this paper, the effects of oxidants on tungsten chemical mechanical polishing (CMP) process were investigated using three different oxidizers such as Fe(NO₃)₃, KIO₃ and H₂O₂. Moreover, the interaction between the tungsten film and the oxidizer was discussed by potentiodynamic polarization measurement with three different oxidizers, in order to compare the effects of W-CMP and electrochemical characteristics on the tungsten film as a function of oxidizer. As an experimental result, the tungsten removal rate reached a maximum at 5 wt% Fe(NO₃)₃concentration, and when 5 wt% H₂O₂was added in the slurry, the removal rate of W increased. Also, the microstructures of surface layer by atomic force microscopy(AFM) image were greatly influenced by the slurry chemical composition of oxidizers. It was shown that the surface roughness and removal rate of the polished surface were improved in Fe(NO₃)₃than KIO₃. The electrochemical results indicate that the corrosion current density of the 5 wt% H₂O₂ and 5 wt% H₂O/sub 2+/+ 5 wt% Fe(NO₃)₃was higher than the other oxidizers. Therefore, we conclude that the W-CMP characteristics are strongly dependent on the kinds of oxidizers and the amounts of oxidizer additive.

H₂O₂ 산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향

나은영,서용진,이우선,Na, Eun-Young,Seo, Yong-Jin,Lee, Woo-Sun 한국전기전자재료학회 2005 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.6

CMP(chemical mechanical polishing) process has been attracted as an essential technology of multi-level interconnection. Also CMP process got into key process for global planarization in the chip manufacturing process. In this study, potentiodynamic polarization was carried out to investigate the influences of $H_2O_2$ concentration and metal oxide formation through the passivation on tungsten and titanium. Fortunately, the electrochemical behaviors of tungsten and titanium are similar, an one may expect. As an experimental result, electrochemical corrosion of the $5\;vol\%\;H_2O_2$ concentration of tungsten and titanium films was higher than the other concentrations. According to the analysis, the oxidation state and microstructure of surface layer were strongly influenced by different oxidizer concentration. Moreover, the oxidation kinetics and resulting chemical state of oxide layer played critical roles in determining the overall CMP performance. Therefore, we conclude that the CMP characteristics tungsten and titanium metal layer including surface roughness were strongly dependent on the amounts of hydrogen peroxide oxidizer.

성취도 평가와 OPI의 관계 연구-CLS Korean Program 학습자를 대상으로 -

나은영 ( Na Eun-young ) 아시아문화학술원 2017 인문사회 21 Vol.8 No.6

일반적으로는 성취도 평가가 높은 학생이 숙달도 평가도 높을 것이라고 생각한다. 물론 반대로 숙달도 평가에서 좋은 점수를 받은 학생은 성취도 평가 또한 높을 것이라고 예측한다. 그런데 이제까지 한국어 교육 분야에서는 평가들 간의 이러한 예측이 타당성이 있는지를 실제 자료를 통해서 제시하지는 못하고 있다. 따라서 이 글에서는 CLS Korean Program에 참여한 학생들을 연구 대상으로 하여 숙달도 평가인 ACTFL OPI 실제 성적과 프로그램 기간 동안 실시된 성취도 평가 성적을 자료로 하여 그 관계를 살필 것이다. 이들의 상관관계를 밝히는 것은 이들 평가가 서로 어떤 영향을 주는가를 알게 하여 더 효과적인 평가 방법을 제안할 수 있는 근거가 될 것이다. In general, students receiving good scores on achievement test may have good scores on proficiency test. Also, students receiving good scores on proficiency test is expected to have good scores on achievement test. But these relationship between achievement test and proficiency test of Korean language education are not verified by actual materials. Thus, in this paper, the relationship between achievement test and ACTFL OPI is studied by analyzing the scores of students who are actually participated in CLS Korean Program. By doing so, the relationship between achievement test and OPI can be understood and the more effective test methodology can be developed.

연료유에 의한 선박 디젤엔진 손상에 관한 연구

나은영(Eun-Young Na),백신영(Shin-Young Baik) 한국해양환경·에너지학회 2009 한국해양환경·에너지학회지 Vol.12 No.3

비디오 클립을 활용한 말하기 수업 연구 - 학습자의 반응을 중심으로 -

나은영 ( Na Eun Young ) 아시아문화학술원 2016 인문사회 21 Vol.7 No.5

외국어로서의 한국어 교육에서 의사소통의 중요성이 강조되면서 한국어 학습자들이 자신의 생각과 감정을 보다 더 정확하고 유창하게 표현할 수 있는 방법들에 대한 논의가 계속되고 있다. 의사소통은 말과 글로 이루어지는 것이므로 쓰기, 읽기, 듣기, 말하기와 같은 기능별 교육이 모두 중요하다. 그러나 실제 생활에서 의사소통은 주로 말을 통해 이루어지므로 말하기, 듣기 능력이 더 중요하다고 할 수 있다. 따라서 이 글에서는 의사소통 능력 중에서도 말하기 능력을 신장시키기 위한 방법의 하나로 비디오 클립(Video Clip)을 활용하여 말하기 능력을 신장시킬 수 있는 방안들을 찾아보고, 이 방법들이 실제 수업 현장에서 학습자들에게 어떤 평가를 받는지 알아보고자 했다. 학습자들에게 긍정적인 반응을 얻는 이런 수업 방법들이 한국어 교육 현장에서 직접 활용된다면 한국어 교수·학습자들이 한국어를 가르치고 배우는데 많은 도움이 될 것이다. The importance of communication in Korean education as a foreign language is emphasized, and the discussion about the method in the precise and fluent expression of one`s thought and emotion is going on. Communication is composed of conversation and letters, so the all functional educations like writing, reading, listening, and speaking are important. However, communication in real life is mainly related with conversation, so the speaking and listening ability is considered more important. Thus, in this paper, as the way to increase speaking ability especially in the field of communication abilities, how to use video clips in real classroom and the learner`s response were to be researched. If these teaching methods, which obtain positive learner`s response, are adopted to Korean education field, it would be a lot of help for Korean professors and learners to teach and learn Korean.

말레이시아에서의 한국어 교육 현황과 말라야 대학교(UM)의 한국어와 한국문화의 통합교육 방안

나은영 ( Na Eun-young ) 한국언어문화교육학회 2007 언어와 문화 Vol.3 No.3

Learning a language means learning a culture. This means language and culture has close relations. In a language, national emotion and philosophy are reflected. So, to do a language teaching efficiently, it is essential to teach culture simultaneously. To learn Korean language outside of Korea is very difficult because the mutual reaction between culture and language is very weak. Therefore, the integrated education methodology outside of Korea should be different compared to the integrated education methodology inside of Korea. In this paper, the status of the current Korean language education in Malaysia is reviewed, and an integrated education methodology of Korean language and culture in Malaysia is suggested. The methodology suggested in this paper can be adopted to develope an integrated education of Korean language in the other foreign nations. (University of Malaya / Honam University)

인공지능은 부정적 감정을 가라앉힐 수 있을까? : 인공지능 작성 기사와 인간 작성 기사가 수용자의 감정과 판단에 미치는 영향

나은영(Eun-Yeong Na),사영준(Young June Sah),나은경(Eunkyung Na),호규현(Gyu Hyun Ho) 한국방송학회 2022 한국방송학보 Vol.36 No.2

해양환경 변화에 따른 해양오염 방제조치 개선에 관한 연구

나은영(Eun-Young Na),서광열(Gwang-Yeol Seo),황성훈(Sung-Hoon Hwang),김기연(Gee-Yeon Kim),전은지(Eun-Ji Jeon),김송(Song Kim) 한국해양환경·에너지학회 2018 한국해양환경·에너지학회 학술대회논문집 Vol.2018 No.5