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비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 CrZrN 박막의 마모특성 분석
김정택,이상율,한준희 한국표면공학회 2007 한국표면공학회 학술발표회 초록집 Vol.2007 No.-
Chromium nitrids(Cr-N)박막은 경질박막재료이며 특히 PVD법으로 제조한 CrN 박막은 다른 이원계 박막에 비해 높은 내마모성을 갖는다고 알려져 있다. 본 실험에서는 CrN박막에 Zr을 첨가하여 3원계의 CrZrN 박막을 합성하여 박막의 Zr 함량에 따른 표변경도 및 조도를 측정하고 Ball-on-disk type의 마모실험과 습도제어 하에서의 마모실 험을 실시하였다. 박막의 Zr 함량이 증가함에 따라 박막의 표변경도가 증가하고 표면조도는 낮아지는 것을 알수 있었고, 그에 따라 마찰계수 값 또한 낮게 측정되었다. 습도제어하에서도 마찰계수 값은 비슷한 경향을 보였으나 습도가 매우 낮은 건조한 환경에서는 박막의 마찰계수 값이 높게 나타나는 경향을 보였다.