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RF 플라즈마에 의해 생성된 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼
김도엽,김민수,김태훈,김군식,최현영,조민영,전수민,박성동,김진하,김은도,황도원,임재영,Kim, Do-Yeob,Kim, Min-Su,Kim, Tae-Hoon,Kim, Ghun-Sik,Choi, Hyun-Young,Cho, Min-Young,Jeon, Su-Min,Park, Sung-Dong,Kim, Jin-Ha,Kim, Eun-Do,Hwang, Do-Weon 한국진공학회 2009 Applied Science and Convergence Technology Vol.18 No.2
본 연구에서는 ZnO 박막을 성장하기 위한 plasma-assisted molecular beam epitaxy (PAMBE)에 장착된 플라즈마건에 13.56 MHz의 rf 전력을 인가하였을 때 발생되는 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼을 광발광 분광기(optical emission spectroscopy: OES)를 이용하여 조사하였다. 실험은 산소 가스 유량을 1 sccm에서 20 sccm, rf 전력을 25W에서 250 W 범위에서 플라즈마건의 오리피스의 직경을 각각 3 mm 와 5 mm로 달리하여 행해졌다. 산소 플라즈마를 발생시켰을 때 오리피스의 직경에 상관없이 전형적인 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼이 관측되었다. 특히 776.8 nm와 843.9 nm에서 $3p^{5}P-3s^{5}S^{0}$, $3p^{3}P-3s^{3}S^{0}$ 천이에 기인하는 강한 산소 원자 발광선이 관측되었다. 산소 유량과 rf 파워가 증가함에 따라 776.8 nm와 843.9 nm의 발광 세기는 증가하였고, 776.8 nm의 스펙트럼 발광 세기의 증가율이 843.9 nm의 스펙트럼 발광 세기 증가율보다 컸다. 또한 오리피스 직경이 3 mm일 때가 5 mm일 때보다 산소 플라즈마가 더 안정적으로 발생하였다. We investigated optical emission of oxygen plasma discharged by 13.56 MHz radio frequency (rf) by using optical emission spectroscopy (OES). Experimental measurement is done at a range of oxygen flow rate of 1$\sim$20 seem, rf power of 25$\sim$250 W, and orifice 3 and 5 mm in diameter. When oxygen plasma was generated, typical emission spectra for oxygen plasma were observed regardless of diameter of orifice. Strong atomic emission lines are observe at 776.8 an 843.9 nm, corresponding to the $3p^{5}P-3s^{5}S^{0}$ and $3p^{3}P-3s^{3}S^{0}$ transitions, respectively. The emission intensity of line at 776.8 and 843.9 nm increased with increasing the oxygen flow rate and rf power. The increasing rate of emission intensity of 776.8 nm line was larger than that of 843.9 nm line. When the diameter of orifice was 3 mm, the oxygen plasma was more stably generated than orifice 5 mm in diameter.
김도엽 ( Do Yeob Kim ),정봉진 ( Bongjin Jeong ),윤조호 ( Joho Yun ),박춘상 ( Choon-sang Park ),배규태 ( Gyu Tae Bae ),태흥식 ( Heung-sik Tae ),이형근 ( Hyung-kun Lee ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-
마이크로시스티스 (microcystis) 및 아나베나 (anabaena), 오실라토리아 (oscillatoria), 아파니조메논 (aphanizomenon)과 같은 유해남조류에 의해서 발생하는 녹조현상 (algal bloom)의 주된 원인으로 지목되는 부영양화 (eutrophication)의 정도 관리를 위해서는 인 또는 질소와 같은 영양물질과 클로로필-a 등의 부영양화 지표에 대한 주기적인 모니터링이 필요하다. 현재는 호소·하천의 인 정량분석을 위해서 시료를 현장에서 채수한 후 수질자동측정기기 또는 원격지 (실험실)에서 다양한 형태로 존재하는 인을 용존무기인 (PO<sub>4</sub><sup>3-</sup>)으로 분해시키는 화학적 전처리를 진행하고, 시료의 발색 반응에 의한 흡광도 측정법을 주로 이용하고 있다. 하지만, 이러한 분석 방법은 화학물질 사용으로 인한 환경 영향성뿐만 아니라 고가의 시설 투자비용 및 운전비용 등의 문제점이 있다. 이에 본 연구에서는 친환경적이며, 저가의 비용으로 현장에서 실시간으로 용존총인 농도 모니터링이 가능한 경·소형 분석 시스템에 대해 보고한다. 해당 분석 시스템은 필터, 마이크로 펌프, 밸브 등의 부품을 포함하며, 자동·반복적으로 시료 취·배수 동작이 가능하다. 또한, 유·무기 화합물 형태의 용존총인을 산화 분해하기 위해서 기존의 화학적 전처리 방법 대신 상압 플라즈마를 이용한 전처리 기술을 도입함으로써 처리비용과 시간을 획기적으로 줄일 수 있으며, 이온선택성전극을 이용하여 단시간에 용존총인 농도 분석이 가능하다.
김도엽 ( Do Yeob Kim ),정봉진 ( Bongjin Jeong ),윤조호 ( Joho Yun ),박춘상 ( Choon-sang Park ),배규태 ( Gyu Tae Bae ),태흥식 ( Heung-sik Tae ),이형근 ( Hyung-kun Lee ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-
마이크로시스티스 (microcystis) 및 아나베나 (anabaena), 오실라토리아 (oscillatoria), 아파니조메논 (aphanizomenon)과 같은 유해남조류에 의해서 발생하는 녹조현상 (algal bloom)의 주된 원인으로 지목되는 부영양화 (eutrophication)의 정도 관리를 위해서는 인 또는 질소와 같은 영양물질과 클로로필-a 등의 부영양화 지표에 대한 주기적인 모니터링이 필요하다. 현재는 호소·하천의 인 정량분석을 위해서 시료를 현장에서 채수한 후 수질자동측정기기 또는 원격지 (실험실)에서 다양한 형태로 존재하는 인을 용존무기인 (PO<sub>4</sub><sup>3-</sup>)으로 분해시키는 화학적 전처리를 진행하고, 시료의 발색 반응에 의한 흡광도 측정법을 주로 이용하고 있다. 하지만, 이러한 분석 방법은 화학물질 사용으로 인한 환경 영향성뿐만 아니라 고가의 시설 투자비용 및 운전비용 등의 문제점이 있다. 이에 본 연구에서는 친환경적이며, 저가의 비용으로 현장에서 실시간으로 용존총인 농도 모니터링이 가능한 경·소형 분석 시스템에 대해 보고한다. 해당 분석 시스템은 필터, 마이크로 펌프, 밸브 등의 부품을 포함하며, 자동·반복적으로 시료 취·배수 동작이 가능하다. 또한, 유·무기 화합물 형태의 용존총인을 산화 분해하기 위해서 기존의 화학적 전처리 방법 대신 상압 플라즈마를 이용한 전처리 기술을 도입함으로써 처리비용과 시간을 획기적으로 줄일 수 있으며, 이온선택성전극을 이용하여 단시간에 용존총인 농도 분석이 가능하다.
해외건설 엔지니어링 경쟁력 확보를 위한 역량 계층 구조 분석
김도엽(Kim, Do-Yeob),김화랑(Kim, Hwa-Rang),장현승(Jang, Hyoun-Seung) 대한건축학회 2016 大韓建築學會論文集 : 構造系 Vol.32 No.8
Construction companies in Korea had advanced actively in overseas construction market in 2014, and had an outstanding performance in 2014 by ranking 5th in the world for overseas construction sales. However, global competitiveness and market share for Korean construction engineering companies is relatively low. This research analyzed previous studies and performed expert interviews in order to identify the necessary capabilities in performing overseas construction projects for Korean construction engineering companies. Through the extracted capabilities, Interpretive Structural Modeling (ISM) method was utilized to analyze the hierarchy of the various factors. Then, the derived hierarchy was portrayed using a Diagraph (directed graph), and the correlation between the factors were analyzed utilizing MICMAC analysis. Korean construction engineering companies may utilize the hierarchy of the derived capabilities in order to enhance its global competitiveness.
김도엽 ( Do Yeob Kim ),정봉진 ( Bongjin Jeong ),윤조호 ( Joho Yun ),박춘상 ( Choon-sang Park ),배규태 ( Gyu Tae Bae ),태흥식 ( Heung-sik Tae ),이형근 ( Hyung-kun Lee ) 한국물환경학회 2020 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2020 No.-
마이크로시스티스 (microcystis) 및 아나베나 (anabaena), 오실라토리아 (oscillatoria), 아파니조메논 (aphanizomenon)과 같은 유해남조류에 의해서 발생하는 녹조현상 (algal bloom)의 주된 원인으로 지목되는 부영양화 (eutrophication)의 정도 관리를 위해서는 인 또는 질소와 같은 영양물질과 클로로필-a 등의 부영양화 지표에 대한 주기적인 모니터링이 필요하다. 현재는 호소·하천의 인 정량분석을 위해서 시료를 현장에서 채수한 후 수질자동측정기기 또는 원격지 (실험실)에서 다양한 형태로 존재하는 인을 용존무기인 (PO<sub>4</sub><sup>3-</sup>)으로 분해시키는 화학적 전처리를 진행하고, 시료의 발색 반응에 의한 흡광도 측정법을 주로 이용하고 있다. 하지만, 이러한 분석 방법은 화학물질 사용으로 인한 환경 영향성뿐만 아니라 고가의 시설 투자비용 및 운전비용 등의 문제점이 있다. 이에 본 연구에서는 친환경적이며, 저가의 비용으로 현장에서 실시간으로 용존총인 농도 모니터링이 가능한 경·소형 분석 시스템에 대해 보고한다. 해당 분석 시스템은 필터, 마이크로 펌프, 밸브 등의 부품을 포함하며, 자동·반복적으로 시료 취·배수 동작이 가능하다. 또한, 유·무기 화합물 형태의 용존총인을 산화 분해하기 위해서 기존의 화학적 전처리 방법 대신 상압 플라즈마를 이용한 전처리 기술을 도입함으로써 처리비용과 시간을 획기적으로 줄일 수 있으며, 이온선택성전극을 이용하여 단시간에 용존총인 농도 분석이 가능하다.