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Laser Slit Beam을 이용한 광학용 반사경 유리 결함 검사방법에 관한 연구
구마끼,유영기,정경민,편영식 한국공작기계학회 1998 한국공작기계학회 추계학술대회논문집 Vol.1998 No.-
기존 연구에서는 반사 유리의 유리면에 빛을 방사시키고 반사면 쪽에서 CCD카메라를 이용하여 투과된 빛을 획득하는 방식을 사용한 바 있다. 이와 같은 방식은 반사 코팅이 유리면으로부터 완전히 이탈된 경우 빛이 투과하게 되는 원리를 사용한 것이므로 핀홀 결함이나 스크레치 결함등을 검출하는데 있어서 매우 신뢰성있는 검사를 할 수 있다. 하지만 일명 조개무늬 결함과 같이 유리면과 분리된 코팅이 유리면에 그대로 위치하는 경우에는 빛이 투과 하지 않기 때문에 검출이 불가능하다. 이와 같은 결함을 육안 검사할 경우에는 유리면과 분리된 코팅면이 불균일함으로 인해 불균일하게 반사되는 빛을 이용하고 있다. 따라서 본 논문에서는 레이저 슬릿 빔을 유리면에 방사하고 반사된 빛을 CCD카메라로 획득하여 결함을 검출할 수 있는 방안에 대해 기술하고 있다.