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      저자 : 남기홍(K. H. Nam) (검색결과 1 건)
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        ZnO - SAW 필터의 주파수 응답

        김영진(Y. J. Kim),남기홍(K. H. Nam),조상희(S. H. Cho),김기완(K. W. Kim) 한국진공학회(ASCT) 1995 Applied Science and Convergence Technology Vol.4 No.4

        고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용하여 ZnO막을 제조하고 유리기판 위에 ZnO-SAW필터를 제작하였다. ZnO막의 제조 조건은 고주파 전력 150W, 기판용도 200℃, 분위기압 5 mTorr 및 O₂/(Ar+O₂)비 50%였다. 한편 IDT(Inter-digital transducer) 전극은 전극 폭을 2.56 ㎜, 전극 거리를 2.936 ㎜, λ/8 폭을 8 ㎛로 설계하였다. 제작된 ZnO-SAW필터의 주파수 응답을 측정하기 위해 소자는 mount(TO8)에 고정시켰다. ZnO SAW필터의 통과 대역 (3 dB대역폭)은 35.2~44.8 ㎒로 9.6 ㎒의 대역 폭을 나타내었으며 중심주 파수는 40 ㎒를 나타내었다. 또한 삽입 손실은 39 dB, 통과 대역에서의 리플(ripple)은 ±0.8 dB 및 rejection은 17 dB를 나타내었다. The zinc oxide thin films were prepared by the RF magnetron sputtering method and the ZnO-SAW filters were fabricated on glass substrates. Fabrication conditions of the ZnO films were such that RF power, substrate temperature, working pressure, and gas flow rate of Ar and O₂ were 150 W, 200℃, 5 mTorr, and 50%, respectively. On the other hand, IDT electrodes were electrode width of 2.56 ㎜, electrode length of 2.936 ㎜, and λ/8 width of 8 ㎛. In other to measure the frequency response of ZnO-SAW filter, device was grounded by cantype mount(TO8). The ZnO-SAW filter showed pass band of 9.6 ㎒, 35.2~44.8 ㎒, center frequency of 40 ㎒, insertion loss of 39 dB, pass band ripple of ±0.8 dB, and rejection of 17 dB.

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