RISS 학술연구정보서비스

검색
다국어 입력

http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.

변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.

예시)
  • 中文 을 입력하시려면 zhongwen을 입력하시고 space를누르시면됩니다.
  • 北京 을 입력하시려면 beijing을 입력하시고 space를 누르시면 됩니다.
닫기
    인기검색어 순위 펼치기

    RISS 인기검색어

      β-Ga2O3의 내재 결함 특성에 따른 온도 의존 전도 및 소자 특성 변화 연구 = Temperature-Dependent Transport and Device Behavior in β-Ga2O3 as Governed by Native Defect States

      한글로보기

      https://www.riss.kr/link?id=T17396571

      • 0

        상세조회
      • 0

        다운로드
      서지정보 열기
      • 내보내기
      • 내책장담기
      • 공유하기
      • 오류접수

      부가정보

      다국어 초록 (Multilingual Abstract) kakao i 다국어 번역

      In this study, we investigated the influence of defect states formed in β-Ga2O3 single crystals on charge transport and Schottky diode characteristics. β-Ga2O3 is a wide-bandgap semiconductor with strong potential for applications in extreme environments covering both high and low temperature regimes. However, the actual device performance is highly sensitive to the amount of defects generated during crystal growth and to the degree of compensation between donors and acceptors. Therefore, understanding how defect distributions affect electrical behavior and establishing strategies for precise defect control are essential.
      In this study, we analyzed two types of single-crystal samples with different acceptor/donor ratios to understand how defect states influence high-field diode characteristics and temperature-dependent conduction mechanisms. In samples with high concentrations of both donors and acceptors, resulting in a high compensation ratio, localized defect states were densely distributed, forming abundant conduction pathways. In such sample, the carrier concentration did not completely freeze out even at low temperatures, allowing hopping conduction paths to remain active and enabling stable diode operation over a wide temperature range. However, the high defect density led to strong local electric-field concentration around specific defect sites, which significantly reduced the breakdown voltage under high electric-field conditions.
      In contrast, sample with reduced concentrations of both donors and acceptors exhibited a lower defect density and a lower compensation ratio. In these low-defect samples, the electric-field distribution became more uniform, resulting in an enhanced breakdown voltage. As the temperature decreased, donor ionization was increasingly suppressed, leading to a rapid reduction in the number of conduction-band electrons and a transition in the dominant conduction mechanism to hopping transport between localized defect states. This transition proceeded from nearest-neighbor hopping, dominated by hopping between spatially adjacent defect states, to Mott variable range hopping at lower temperatures, where electrons preferentially hop to energetically closer states over longer distances. At the lowest temperatures, Efros–Shklovskii variable range hopping (ES VRH), governed by Coulomb interactions between localized states, became the dominant transport mechanism.
      Notably, in the low-temperature regime where ES VRH dominates, the electrical response to an external magnetic field became significantly enhanced. In samples with high defect density and high compensation, the hopping network was overly dense, resulting in negligible magnetic-field-induced changes. In contrast, low-defect samples with sparse hopping networks exhibited pronounced magnetic-field dependence, as the applied magnetic field restricted the electronic trajectories and modified the diode behavior. These results demonstrate that defect structures not only determine the number of available conduction paths but also govern the degree of electronic localization and the effective hopping distance under magnetic fields. This highlights the strong coupling between hopping transport and magnetic-field effects in low-defect β-Ga2O3 crystals.
      Taken together, our results establish that the density and relative ratio of defect states in β-Ga2O3 are key factors governing high-field breakdown voltage, temperature-dependent conduction mechanisms, and low-temperature magnetic-field dependence. By appropriately controlling acceptor/donor compensation, the density and topology of the defect network can be engineered, enabling simultaneous optimization of high electric field reliability, wide-temperature range operation, and magnetic-field responsive charge transport.
      This study experimentally demonstrates that defect engineering plays a critical role not only in improving the performance of β-Ga2O3 based power devices but also in realizing novel operation modes under cryogenic and magnetic-field environments.
      번역하기

      In this study, we investigated the influence of defect states formed in β-Ga2O3 single crystals on charge transport and Schottky diode characteristics. β-Ga2O3 is a wide-bandgap semiconductor with strong potential for applications in extreme environ...

      In this study, we investigated the influence of defect states formed in β-Ga2O3 single crystals on charge transport and Schottky diode characteristics. β-Ga2O3 is a wide-bandgap semiconductor with strong potential for applications in extreme environments covering both high and low temperature regimes. However, the actual device performance is highly sensitive to the amount of defects generated during crystal growth and to the degree of compensation between donors and acceptors. Therefore, understanding how defect distributions affect electrical behavior and establishing strategies for precise defect control are essential.
      In this study, we analyzed two types of single-crystal samples with different acceptor/donor ratios to understand how defect states influence high-field diode characteristics and temperature-dependent conduction mechanisms. In samples with high concentrations of both donors and acceptors, resulting in a high compensation ratio, localized defect states were densely distributed, forming abundant conduction pathways. In such sample, the carrier concentration did not completely freeze out even at low temperatures, allowing hopping conduction paths to remain active and enabling stable diode operation over a wide temperature range. However, the high defect density led to strong local electric-field concentration around specific defect sites, which significantly reduced the breakdown voltage under high electric-field conditions.
      In contrast, sample with reduced concentrations of both donors and acceptors exhibited a lower defect density and a lower compensation ratio. In these low-defect samples, the electric-field distribution became more uniform, resulting in an enhanced breakdown voltage. As the temperature decreased, donor ionization was increasingly suppressed, leading to a rapid reduction in the number of conduction-band electrons and a transition in the dominant conduction mechanism to hopping transport between localized defect states. This transition proceeded from nearest-neighbor hopping, dominated by hopping between spatially adjacent defect states, to Mott variable range hopping at lower temperatures, where electrons preferentially hop to energetically closer states over longer distances. At the lowest temperatures, Efros–Shklovskii variable range hopping (ES VRH), governed by Coulomb interactions between localized states, became the dominant transport mechanism.
      Notably, in the low-temperature regime where ES VRH dominates, the electrical response to an external magnetic field became significantly enhanced. In samples with high defect density and high compensation, the hopping network was overly dense, resulting in negligible magnetic-field-induced changes. In contrast, low-defect samples with sparse hopping networks exhibited pronounced magnetic-field dependence, as the applied magnetic field restricted the electronic trajectories and modified the diode behavior. These results demonstrate that defect structures not only determine the number of available conduction paths but also govern the degree of electronic localization and the effective hopping distance under magnetic fields. This highlights the strong coupling between hopping transport and magnetic-field effects in low-defect β-Ga2O3 crystals.
      Taken together, our results establish that the density and relative ratio of defect states in β-Ga2O3 are key factors governing high-field breakdown voltage, temperature-dependent conduction mechanisms, and low-temperature magnetic-field dependence. By appropriately controlling acceptor/donor compensation, the density and topology of the defect network can be engineered, enabling simultaneous optimization of high electric field reliability, wide-temperature range operation, and magnetic-field responsive charge transport.
      This study experimentally demonstrates that defect engineering plays a critical role not only in improving the performance of β-Ga2O3 based power devices but also in realizing novel operation modes under cryogenic and magnetic-field environments.

      더보기

      국문 초록 (Abstract) kakao i 다국어 번역

      본 연구에서는 β-Ga2O3 단결정 내에서 형성되는 결함 상태가 전하 수송과 Schottky 다이오드 특성에 미치는 영향을 체계적으로 규명하였다. β-Ga2O3는 매우 큰 밴드갭을 갖는 재료로서 고온 및 저온을 모두 포함하는 극한 환경에서의 응용 가능성이 높지만, 실제 소자 성능은 성장 과정에서 형성되는 결함의 양, 그리고 도너와 억셉터의 보상 정도에 따라 크게 달라진다. 따라서 결함의 분포가 전기적 동작에 미치는 영향을 이해하고 이를 바탕으로 결함을 정밀하게 제어하는 것이 필수적이다.
      본 연구에서는 도너와 억셉터의 비율을 조절한 두 종류의 단결정 시료에서 결함 구조가 다이오드의 고전계 특성과 온도 의존 전도 메커니즘에 미치는 영향을 분석하였다. 도너와 억셉터가 동시에 많고 보상 정도가 높은 시료에서는 국소화된 결함 상태가 매우 촘촘하게 분포하여 전도 경로가 풍부하게 형성되었다. 이 경우 저온에서도 전하 운반자의 농도가 완전히 고갈되지 않고 호핑 경로가 유지되어 넓은 온도 범위에서 안정적인 다이오드 동작이 나타났다. 그러나 높은 결함 밀도로 인해 전계가 특정 결함 부근에 집중되는 현상이 심해 고전계 조건에서는 파괴전압이 낮아지는 한계를 보였다.
      반면 도너와 억셉터의 양을 동시에 줄여 결함 밀도를 감소시키고 보상 정도가 낮은 시료에서는 전계 분포가 균일하게 형성되어 파괴전압이 향상되었다. 또한 이러한 저결함 시료에서는 온도가 낮아짐에 따라 도너 이온화가 억제되어 전도대 전자의 수가 급격히 감소하였고, 이에 따라 전도 방식이 지역적 결함 상태 간의 호핑 이동으로 전환되었다. 이 과정에서 가까운 결함을 통한 호핑이 우세한 최인접 호핑을 거쳐, 더 낮은 온도에서 에너지 차이가 작은 결함을 먼 거리에서 탐색하는 Mott 변수 범위 호핑이 나타났으며, 최저 온도에서는 국소화된 상태 사이의 Coulomb 상호작용으로 인해 Efros-Shklovskii 변수 범위 호핑(ES 변수 범위 호핑)이 지배적으로 관찰되었다.
      특히 ES 변수 범위 호핑이 나타나는 저온 영역에서는 외부 자기장에 대한 전기적 반응이 두드러지게 증가하였다. 높은 결함 밀도 및 보상비를 가진 시료에서는 호핑 경로가 지나치게 촘촘하여 자기장에 따른 변화가 거의 나타나지 않았으나, 결함 밀도가 낮고 보상비가 낮아 호핑 경로가 드문 저결함 시료에서는 자기장에 의해 전자 궤도가 제한되면서 다이오드 거동이 자기장에 따라 변하는 결과를 보여준다. 이는 결함 구조가 단순히 전도 경로의 개수에 영향을 주는 것에 그치지 않고, 자기장 하에서 전자의 국소화와 이동 가능 거리까지 규정한다는 점을 보여주며, 저결함 시료에서 호핑 전도와 자기장 효과가 민감하게 연결되어 있음을 의미한다.
      연구 결과를 종합하면 β-Ga2O3 내 결함 상태의 양과 비율은 고전계 파괴전압, 온도 의존 전도 메커니즘, 그리고 저온에서의 자기장 의존성까지 모두 결정하는 핵심 인자이다. 도너와 억셉터의 보상 정도를 적절히 제어함으로써 결함 네트워크의 밀도와 구조를 설계할 수 있으며, 이를 통해 고전계 신뢰성과 넓은 온도 범위 동작 범위, 그리고 자기장에 반응하는 전자 수송 특성을 모두 조절할 수 있음을 확인하였다. 본 연구는 결함 공학이 β-Ga2O3 기반 전력 소자의 성능 향상뿐 아니라 극저온 및 자기장 환경에서의 새로운 동작 모드 구현에도 중요한 역할을 한다는 점을 실험적으로 제시한다는 의미를 가진다.
      번역하기

      본 연구에서는 β-Ga2O3 단결정 내에서 형성되는 결함 상태가 전하 수송과 Schottky 다이오드 특성에 미치는 영향을 체계적으로 규명하였다. β-Ga2O3는 매우 큰 밴드갭을 갖는 재료로서 고온 및 저...

      본 연구에서는 β-Ga2O3 단결정 내에서 형성되는 결함 상태가 전하 수송과 Schottky 다이오드 특성에 미치는 영향을 체계적으로 규명하였다. β-Ga2O3는 매우 큰 밴드갭을 갖는 재료로서 고온 및 저온을 모두 포함하는 극한 환경에서의 응용 가능성이 높지만, 실제 소자 성능은 성장 과정에서 형성되는 결함의 양, 그리고 도너와 억셉터의 보상 정도에 따라 크게 달라진다. 따라서 결함의 분포가 전기적 동작에 미치는 영향을 이해하고 이를 바탕으로 결함을 정밀하게 제어하는 것이 필수적이다.
      본 연구에서는 도너와 억셉터의 비율을 조절한 두 종류의 단결정 시료에서 결함 구조가 다이오드의 고전계 특성과 온도 의존 전도 메커니즘에 미치는 영향을 분석하였다. 도너와 억셉터가 동시에 많고 보상 정도가 높은 시료에서는 국소화된 결함 상태가 매우 촘촘하게 분포하여 전도 경로가 풍부하게 형성되었다. 이 경우 저온에서도 전하 운반자의 농도가 완전히 고갈되지 않고 호핑 경로가 유지되어 넓은 온도 범위에서 안정적인 다이오드 동작이 나타났다. 그러나 높은 결함 밀도로 인해 전계가 특정 결함 부근에 집중되는 현상이 심해 고전계 조건에서는 파괴전압이 낮아지는 한계를 보였다.
      반면 도너와 억셉터의 양을 동시에 줄여 결함 밀도를 감소시키고 보상 정도가 낮은 시료에서는 전계 분포가 균일하게 형성되어 파괴전압이 향상되었다. 또한 이러한 저결함 시료에서는 온도가 낮아짐에 따라 도너 이온화가 억제되어 전도대 전자의 수가 급격히 감소하였고, 이에 따라 전도 방식이 지역적 결함 상태 간의 호핑 이동으로 전환되었다. 이 과정에서 가까운 결함을 통한 호핑이 우세한 최인접 호핑을 거쳐, 더 낮은 온도에서 에너지 차이가 작은 결함을 먼 거리에서 탐색하는 Mott 변수 범위 호핑이 나타났으며, 최저 온도에서는 국소화된 상태 사이의 Coulomb 상호작용으로 인해 Efros-Shklovskii 변수 범위 호핑(ES 변수 범위 호핑)이 지배적으로 관찰되었다.
      특히 ES 변수 범위 호핑이 나타나는 저온 영역에서는 외부 자기장에 대한 전기적 반응이 두드러지게 증가하였다. 높은 결함 밀도 및 보상비를 가진 시료에서는 호핑 경로가 지나치게 촘촘하여 자기장에 따른 변화가 거의 나타나지 않았으나, 결함 밀도가 낮고 보상비가 낮아 호핑 경로가 드문 저결함 시료에서는 자기장에 의해 전자 궤도가 제한되면서 다이오드 거동이 자기장에 따라 변하는 결과를 보여준다. 이는 결함 구조가 단순히 전도 경로의 개수에 영향을 주는 것에 그치지 않고, 자기장 하에서 전자의 국소화와 이동 가능 거리까지 규정한다는 점을 보여주며, 저결함 시료에서 호핑 전도와 자기장 효과가 민감하게 연결되어 있음을 의미한다.
      연구 결과를 종합하면 β-Ga2O3 내 결함 상태의 양과 비율은 고전계 파괴전압, 온도 의존 전도 메커니즘, 그리고 저온에서의 자기장 의존성까지 모두 결정하는 핵심 인자이다. 도너와 억셉터의 보상 정도를 적절히 제어함으로써 결함 네트워크의 밀도와 구조를 설계할 수 있으며, 이를 통해 고전계 신뢰성과 넓은 온도 범위 동작 범위, 그리고 자기장에 반응하는 전자 수송 특성을 모두 조절할 수 있음을 확인하였다. 본 연구는 결함 공학이 β-Ga2O3 기반 전력 소자의 성능 향상뿐 아니라 극저온 및 자기장 환경에서의 새로운 동작 모드 구현에도 중요한 역할을 한다는 점을 실험적으로 제시한다는 의미를 가진다.

      더보기

      목차 (Table of Contents)

      • 1. 서론 1
      • 2. 이론적 배경 7
      • 2.1. 반도체 내 보상 7
      • 2.2. 저온 전도 메커니즘 15
      • 2.2.1. 밴드 전도 17
      • 1. 서론 1
      • 2. 이론적 배경 7
      • 2.1. 반도체 내 보상 7
      • 2.2. 저온 전도 메커니즘 15
      • 2.2.1. 밴드 전도 17
      • 2.2.2. 최인접 호핑 18
      • 2.2.3. Mott 변수 범위 호핑 21
      • 2.2.4. Efros-Shklovskii 변수 범위 호핑 24
      • 2.3. Schottky 다이오드 27
      • 2.3.1. 정의 및 원리 27
      • 2.3.2. 특성 및 기능 30
      • 2.3.3. 눈사태 파괴전압 33
      • 2.4. Hall 효과 35
      • 3. 실험 방법 38
      • 3.1. 시료 준비 38
      • 3.1.1. 클리닝 38
      • 3.1.2. 마스크 로딩 40
      • 3.1.3. 전자빔 증착기 40
      • 3.1.4. 직류 스퍼터링 42
      • 3.1.5. 증착 후 열처리 44
      • 3.2. 물성 측정 46
      • 3.2.1. 저온 물성 측정 46
      • 3.2.2. 고온 물성 측정 49
      • 3.2.3. 파괴전압 측정 49
      • 4. 실험 결과 52
      • 4.1. 고농도 결함 시료 54
      • 4.1.1. 온도별 전하 수송 특성 측정 54
      • 4.1.2. 파괴전압 측정 63
      • 4.2. 저농도 결함 시료 66
      • 4.2.1. 온도별 전하 수송 특성 측정 66
      • 4.2.2. 파괴전압 측정 75
      • 4.2.3. 저 결함 시료 저온 자성 의존 특성 확인 79
      • 5. 요약 86
      • 6. 참고문헌 88
      • Abstract 94
      더보기

      분석정보

      View

      상세정보조회

      0

      Usage

      원문다운로드

      0

      대출신청

      0

      복사신청

      0

      EDDS신청

      0

      동일 주제 내 활용도 TOP

      더보기

      주제

      연도별 연구동향

      연도별 활용동향

      연관논문

      연구자 네트워크맵

      공동연구자 (7)

      유사연구자 (20) 활용도상위20명

      이 자료와 함께 이용한 RISS 자료

      나만을 위한 추천자료

      해외이동버튼