초순수 플랜트의 전체 에너지 소모량 분석 및 에너지 저감 방법 모색

국문 초록 (Abstract)

본 연구는 반도체 산업에서 사용되는 초순수를 제조하는 초순수플랜트를 대상으로 전체 에너지 소모량을 분석하고, 에너지 저감 방안을 모색하였다. 초순수 플랜트의 에너지 사용량을 열에너지, 질소에너지, 전기에너지로 구분하여 공정별·설비별로 에너지소모량을 정량적으로 평가하였다. 본 연구는 초순수플랜트 전반의 에너지 소비 구조를 종합적으로 분석함으로써, 초순수플랜트의 효율적 운영과 에너지 절감을 위한 방안을 모색하고자 한다.

목차 (Table of Contents)

• 목 차 ⅰ
• 표 목 차 ⅱ
• 그림목차 ⅲ
• Ⅰ. 서 론 1
• 1. 연구 배경 및 목적 1
• Ⅱ. 이론적 배경 3
• 1. 초순수 정의 3
• 2. 국·내외 초순수 수질 기준 4
• 1) 국내 초순수 수질 기준 4
• 2) 국외 초순수 수질 기준 4
• 3. 초순수 수처리 공정 정의 6
• 1) 분리막(Membrane) 6
• 2) 정밀여과(Micro-Filtration, MF) 7
• 3) 한외여과(Ultra-Filter, UF) 8
• 4) 역삼투(Reverse Osmosis, RO) 10
• 5) 막탈기(Membrane Degasifier, MDG) 13
• 6) 이온교환(Ion Exchange, IX) 15
• 7) 전기탈이온(Electrodeionization, EDI) 17
• 8) 자외선 살균(UV Sterilization, UVst) 19
• 9) 자외선 산화(UV oxidation, UVox) 21
• 10) 열교환기(Heater Exchanger) 23
• 4. 초순수 플랜트 구성 공정도 24
• 5. 초순수 공정의 에너지 사용량 25
• 6. 에너지 변환계수 26
• 7. 초순수 플랜트의 에너지 절감 기술에 관한 선행연구 27
• 8. 국내 반도체 기업의 에너지 절감 기술에 관한 선행연구 28
• 9. 초순수 플랜트의 펌프 29
• 1) 펌프의 효율과 에너지 소모량의 관계 29
• Ⅲ. 연구 내용 및 방법 30
• 1. 초순수 플랜트 구성 공정 분석 30
• 1) 수처리설비 30
• 2) 펌프설비 31
• 3) 초순수 제조 공정 32
• 2. 초순수 플랜트의 에너지 소모량 계산 방법 34
• 1) 열에너지 소모량 계산 34
• 2) 질소에너지 소모량 계산 35
• 3) 전력량 계산 36
• Ⅳ. 연구 결과 및 고찰 37
• 1. 에너지 소모량 분석 37
• 1) 전체 에너지 소모량 37
• 2) 열에너지 소모량 39
• 3) 전기에너지 소모량 40
• (1) 수처리설비 41
• (2) 펌프설비 42
• (3) 공정별 에너지 소모량 43
• 4) 질소에너지 소모량 47
• Ⅴ. 결 론 48
• 참 고 문 헌 50
• 영 문 초 록 52